[发明专利]一种抗冲击的摆式加速度计在审
| 申请号： | 201811407062.9 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109541256A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 张习文;梁璞;魏渊;马天明;李鹏飞;张志刚;王晓勇;孙继奕 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 |
| 主分类号： | G01P15/02 | 分类号： | G01P15/02 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 杜永保 |
| 地址： | 710076 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开一种摆式加速度计，包括硅整体摆，所述硅整体摆包括动片(3)、定片(1)和连接两部分的挠性支承梁(2)，还包括靠近摆质量处，沿输出轴方向设置的第一组限位结构(4)，和在所述硅整体摆之外，靠近摆质量的质心处，沿输入轴方向设置的第二组限位结构(6)。通过在硅整体摆上设置多组限制挠性支承梁(2)变形的限位结构，可使加速度计在受到输入轴、输出轴等方向的大冲击时，挠性支承梁(2)的最大变形均能受到限制，保护挠性支承梁(2)不会断裂失效，从而提升加速度计的抗冲击能力。且挠性支承梁(2)在限位结构的保护下，厚度可达到10微米以下，从而使加速度计在具有抗600g冲击能力的同时实现高精度。 | ||
| 搜索关键词： | 挠性支承 限位结构 加速度计 摆式加速度计 方向设置 输出轴 输入轴 抗冲击能力 最大变形 变形的 大冲击 抗冲击 定片 动片 质心 断裂 | ||
【主权项】：
1.一种抗冲击的摆式加速度计，包括硅整体摆，所述硅整体摆包括动片(3)、定片(1)和连接动片(3)与定片(1)的挠性支承梁(2)，所述摆式加速度计还包括靠近摆质量的质心处，沿输出轴方向设置的第一组限位结构(4)，和在所述硅整体摆之外，靠近摆质量的质心处，沿输入轴方向设置的第二组限位结构(6)。
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