[发明专利]一种PVDF阵列式柔性压电传感器的图形化刻蚀方法有效
| 申请号： | 201810944474.X | 申请日： | 2018-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN109166961B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 黄文;何宇豪;郭俊雄;毛琳娜;李尚栋;龚天巡;刘志伟;林媛;俞滨 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L41/29 | 分类号： | H01L41/29;B81C1/00 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明技术领域,具体涉及一种PVDF阵列式柔性压电传感器的图形化刻蚀方法。本发明采用雕刻图形化的加工工艺,无需掩模版，可以同时进行大规模可控化制备，通过串并联结构设计，拓展器件工作能力与应用范围。现有的制备工艺中，由于多次溶液刻蚀会对PVDF上的铝膜造成不可逆的损害，使图形化成品率差；而使用离子刻蚀的机器成本高昂，本发明通过改进PCB蓝膜工艺，最终解决了成本和成品品质兼得的工艺方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvdf 阵列 柔性 压电 传感器 图形 刻蚀 方法 | ||
【主权项】：
1.一种PVDF阵列式柔性压电传感器的图形化刻蚀方法，具体步骤如下：步骤一、图案绘制：对目标压电传感器的图案进行绘制；步骤二、制备保护膜：对面积大于所需图案的PCB蓝膜进行雕刻,得到与步骤1绘制的图案相对应的蓝膜保护膜；步骤三、定位粘贴，以及后续处理：将步骤二得到的PCB蓝膜保护膜的下层透明保护膜去除，然后将其粘贴在镀铝的PVDF上，粘贴后压紧避免气泡产生，以避免刻蚀液浸入保护膜内；再于40～50℃的热板上进行加热至完全贴合；步骤四、曝光：压紧并曝光镀铝PVDF上的蓝膜保护膜至其完全曝光，完全曝光的蓝膜应呈现深紫色，并紧密贴合在镀铝PVDF上；步骤五、刻蚀：在配置的铝刻蚀液中完全浸泡刻蚀，直至步骤四所得镀铝PVDF的未被蓝膜保护膜保护的无图案部分前后透明即可取出，然后在清水或去离子水中浸泡洗去多余酸液；步骤六、去蓝膜：揭下蓝膜的上层保护膜，在乙醇溶液中进行浸泡，直至溶解所有蓝膜，再用清水清洗并晾干；步骤七、电极、引线制备；在步骤六制备的镀铝PVDF上进行电极和引线的制备。
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- 本实用新型涉及压电陶瓷的制造领域，公开了一种压电陶瓷试样电极制作装置，包括恒温加热台(1)，以及自下而上设置在恒温加热台(1)上的载样板(3)和掩模板(6)；其中，载样板(3)上均匀开设有若干直径为D的柱状凹槽(5)，掩模板(6)上开设有若干与柱状凹槽(5)相对应的圆孔(9)，工作时，陶瓷试样放置在柱状凹槽(5)中。采用本实用新型提供的压电陶瓷试样电极制作装置，可以同时对若干个陶瓷试样进行电极浆料的涂覆和烘干，由此减少实验耗时，避免实验的反复进行，降低成本，提高效率，同时保证同一批陶瓷试样涂覆层厚度的均匀性；且实验结束后方便拆分。
- 一种压电复合材料表面电极及其制备方法-201510600940.9
- 朱振业 - 朱振业
- 2015-09-10 - 2016-02-03 - H01L41/29
- 本发明提供了一种压电复合材料表面电极的制备方法，该制备方法包括如下步骤：步骤一、对压电复合材料表面进行研磨；步骤二、对研磨后的压电复合材料表面进行清洗，然后烘干；步骤三、在常温状态下，采用直流磁控溅射工艺在压电复合材料表面先制备出厚度较薄的第一层NiCr合金薄膜材料；步骤四、采用直流磁控溅射工艺在第一层薄膜材料上直接制备第二层Ag薄膜材料。本发明还提供了一种根据以上制备方法制备出来的压电复合材料表面电极。经过显微分析及电学、力学测试表明，压电复合材料表面电极表面光滑、均匀，导电性能好、电阻率较低，附着力能够满足应用需求。
- 一种陶瓷片侧面及正面连续印银方法-201310586689.6
- 余方云;李红元;邹东平;龙阳;马国阳 - 常州波速传感器有限公司
- 2013-11-20 - 2014-03-12 - H01L41/29
- 发明涉及一种对传感器陶瓷片连续印银方法，如下步骤：将若干个陶瓷片依次竖直放置于一水平放置工装板的限位槽中；采用涂布机针筒将银浆喷到陶瓷片侧面上，并采用红外激光器对喷到陶瓷片侧面上的银浆进行烘干；在银浆烘干后，将水平放置的工装板竖直放置，通过吸笔将限位槽中的陶瓷片一片一片的吸附到工装平板上；印银设备在工装平板上陶瓷片的表面进行印刷；将陶瓷片从工装平板上取下。本发明结构简单、便于操作，能够实现一次性对多个陶瓷片进行自动侧面印银、烘干，及表面的印银，且被印陶瓷片上的银层厚度及图案均匀、一致性好，陶瓷片正面图案与侧面银层能够精确结合，能实现连续生产，印银效率高，降低成本，易于实现工业化生产。
- 用于制造压电执行器的方法和压电执行器-201180028214.4
- K.本克特;H.贝丁格;S.德内勒;H.J.卡斯特尔;A.伦克;C.舒 - 欧陆汽车有限责任公司
- 2011-06-06 - 2013-02-06 - H01L41/29
- 本发明涉及一种用于制造具有压电堆叠（1）和布置在压电堆叠（1）的外侧处的两个外电极（2、3）的压电执行器（100）的方法。本发明的方法包括以下步骤：提供由多个交替地相继的未烧结膜（4’、5’）和连续的内电极层（6、7）构成的全活性的未烧结堆叠（1’），所述内电极层被设置用于交替地与要布置在要由未烧结堆叠（1’）制造的压电堆叠（1）的外侧处的两个外电极（2、3）电连接并且与相应的另外的外电极（2、3）电绝缘；使所述全活性的未烧结堆叠（1’）的外侧在如下区域中配备沟槽（8、9），在所述区域中内电极层（6、7）应与相应的外电极（2、3）电绝缘，从而沟槽（8、9）使内电极层（6、7）在所述区域中从未烧结堆叠（1’）的外侧向内缩短；用电绝缘的膏泥（10、11）填充沟槽（8、9）；继续处理其沟槽（8、9）用膏泥（10、11）填充的未烧结堆叠（1’），使得由未烧结膜（4’、5’）形成压电层（4、5）并且由未烧结堆叠（1’）形成压电堆叠（1）；将两个外电极（2、3）施加到压电堆叠（1）的外侧上，使得两个外电极（2、3）交替地与内电极层（6、7）电连接。本发明方法的特征在于，沟槽（8、9）通过如下方法之一用膏泥（10、11）填充：丝网印刷、浸渍、喷涂或者真空渗透。
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