[实用新型]传感器微系统有效

专利信息
申请号: 201721806246.3 申请日: 2017-12-21
公开(公告)号: CN207637798U 公开(公告)日: 2018-07-20
发明(设计)人: 黄玲玲 申请(专利权)人: 北京万应科技有限公司
主分类号: H01L25/18 分类号: H01L25/18;H01L23/535;B81B7/02;B81C3/00
代理公司: 北京邦信阳专利商标代理有限公司 11012 代理人: 黄姝
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种传感器微系统,包括:采用晶圆级封装的晶圆级封装功能芯片晶圆、以及设置在所述晶圆级封装功能芯片晶圆的正面的传感器芯片,所述晶圆级封装功能芯片晶圆上设有功能芯片晶圆,所述功能芯片晶圆包括处理器芯片或者控制器芯片,所述传感器芯片与所述功能芯片晶圆电连接,所述晶圆级封装功能芯片晶圆的正面设有覆盖所述晶圆级封装功能芯片晶圆的筑坝框,所述筑坝框上设有与所述传感器芯片对应的通孔,所述通孔内设有覆盖所述传感器芯片的软胶或硅胶。实施本实用新型,实现传感器微系统级封装,缩短传感器芯片与功能芯片晶圆之间的互连线,提高工作性能,降低封装引起的应力。
搜索关键词: 功能芯片 晶圆 晶圆级封装 传感器芯片 传感器微系统 本实用新型 筑坝 通孔 封装 处理器芯片 控制器芯片 工作性能 电连接 互连线 覆盖 硅胶 软胶
【主权项】:
1.一种传感器微系统,其特征在于,包括:采用晶圆级封装的晶圆级封装功能芯片晶圆、以及设置在所述晶圆级封装功能芯片晶圆的正面的传感器芯片,所述晶圆级封装功能芯片晶圆上设有功能芯片晶圆,所述功能芯片晶圆包括处理器芯片或者控制器芯片,所述传感器芯片与所述功能芯片晶圆电连接,所述晶圆级封装功能芯片晶圆的正面设有覆盖所述晶圆级封装功能芯片晶圆的筑坝框,所述筑坝框上设有与所述传感器芯片对应的通孔,所述通孔内设有覆盖所述传感器芯片的软胶或硅胶。
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  • 柯俊吉;蔡雨萌;孙鹏;赵志斌;崔翔 - 华北电力大学
  • 2019-03-14 - 2019-08-27 - H01L25/18
  • 本实用新型公开了一种改善焊接型碳化硅功率模块电热性能的封装结构,该封装结构包括铜底板,DBC板,碳化硅芯片,驱动信号端子和功率回路端子;所述碳化硅芯片,以每两个为一个单元进行并联,长边沿着所述铜底板的长边平行排列放置,每两个单元共用一块DBC板,所述两个单元为串联结构,所述DBC板固定在所述铜底板上;所述驱动信号端子采用顶针方式直接引出;所述功率回路端子采用带有螺纹的铜块引出。本实用新型通过优化碳化硅芯片放置方式、DBC分布方式和端子的引出方式,减小了电流路径长度,增大了电流路径宽度,提高了DBC板的底板面积利用率,增大了散热面积,减小了散热热阻,从而提高封装的电热性能。
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