[发明专利]半导体封装件及其制造方法有效
申请号: | 201710898783.3 | 申请日: | 2013-10-25 |
公开(公告)号: | CN107658284B | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 蔡崇宣;谢爵安;约翰·R·杭特 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 骆希聪 |
地址: | 中国台湾高雄市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种半导体封装件及其制造方法。半导体封装件包括芯片、导电层、负型介电层及电性接点。芯片具有主动面。导电层电性连接于主动面。负型介电层覆盖导电层且具有开孔,开孔露出导电层的一部分,开孔具有最小内径、顶部内径及底部内径,最小内径位于底部内径与顶部内径之间。电性接点形成于开孔内。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体封装件,包括:一芯片,具有一主动面;一导电层,电性连接于该主动面;一负型介电层,覆盖该导电层且具有一开孔,该开孔露出该导电层的一部分,该开孔具有一最小内径、一顶部内径及一底部内径,该最小内径位于该底部内径与该顶部内径之间;以及一电性接点,形成于该开孔内。
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