[发明专利]一种镀膜的烟用固体香料球及其真空沉积镀膜法有效
| 申请号： | 201510219029.3 | 申请日： | 2015-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN104928627B | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 刘祥浩;刘冰;李冉;岳海波;魏敏 | 申请（专利权）人： | 湖北中烟工业有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 武汉楚天专利事务所42113 | 代理人： | 雷速 |
| 地址： | 430040 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种烟用固体香料球及其真空沉积镀膜方法，将固态聚合物裂解为活性小分子在固体香料球表面生长出完全敷形的聚合物薄膜涂层，起到隔绝外界腐蚀，包裹香料物质，防止挥发的作用。本发明淀积温度低，经济清洁，工序简单，速度快，镀膜均匀，批量处理能力强，具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 固体 香料 及其 真空 沉积 | ||
【主权项】：
一种镀膜的烟用固体香料球的真空沉积镀膜方法，其特征在于，步骤为：a.将固态镀膜材料置于真空镀膜机蒸发室中，烟用固体香料球放入真空镀膜机球形沉积室中；b.真空镀膜机抽真空，将蒸发室升温至100‑220℃，固态镀膜材料被蒸发呈气态；与蒸发室相连接的裂解室升温至400‑800℃，气态的镀膜材料进入裂解室裂解成活性单体；活性单体进入转动的球形沉积室后沉积于烟用固体香料球表面形成均匀的聚合物薄膜，沉积过程中球形沉积室连接冷阱进行降温。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖北中烟工业有限责任公司，未经湖北中烟工业有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510219029.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种埋地管道阴极保护数据采集系统
- 下一篇：气体渗氮工艺改进方法
- 同类专利
- 坩埚内原料剩余量的预警装置及预警方法-201910574225.0
- 李强;岳志远;王雅静;徐义 - 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
- 2019-06-28 - 2019-11-12 - C23C14/24
- 本发明公开了一种坩埚内原料剩余量的预警装置，包括坩埚、外壳、检测机构、永磁体、电磁铁、可调电源和控制器，所述坩埚设于所述外壳内，所述电磁铁和所述永磁体相对设置形成方向相反的磁场，且所述永磁体或所述电磁铁中的一个设置于所述外壳内与所述坩埚的底部连接，所述永磁体或所述电磁铁中的另一个设于所述外壳的下方；所述可调电源与所述电磁铁电连接，用于向所述电磁铁通电；所述检测机构设于所述密封外壳内，用于检测所述坩埚的位置变化，所述控制器与所述检测机构及所述可调电源连接，所述控制器用于根据所述坩埚位置发生变化时所述电磁铁的通电电流值确定所述坩埚内的原料剩余量是否达到第一预设阈值。当达到第一预设阈值时进行预警。
- 一种具有加热装置的蒸镀坩埚-201910718627.3
- 张麒麟;卢玄龙;崔洪新;余玲玲 - 福建华佳彩有限公司
- 2019-08-05 - 2019-11-12 - C23C14/24
- 本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种具有加热装置的蒸镀坩埚，包括设有喷嘴的坩埚本体、蒸发源遮挡板和控制器，蒸发源遮挡板位于喷嘴上方，蒸发源遮挡板远离喷嘴的一侧面上设有加热装置，通过设置加热装置为提供将蒸发源遮挡板上附着的蒸镀物加热至汽态所需的热量，起到自动清理蒸发源遮挡板上附着的材料的作用，避免在每次切换蒸发源遮挡板时材料脱落造成蒸镀源内材料交差污染，且能够避免了定期打开蒸镀腔体更换蒸发源遮挡板而造成的制程时间延长，从而提升了生产效率。
- 蒸镀坩埚提取装置-201710539065.7
- 金鑫;刘暾;闫华杰;战泓升 - 京东方科技集团股份有限公司
- 2017-07-04 - 2019-11-12 - C23C14/24
- 本发明公开了一种蒸镀坩埚提取装置，属于蒸镀技术领域。所述蒸镀坩埚提取装置包括：长杆、控制单元和提取单元；提取单元设置在长杆的一端，控制单元设置在长杆的另一端且与提取单元连接，提取单元能够在控制单元的控制下由第一状态切换至第二状态；当提取单元处于第一状态时，提取单元能够通过蒸镀坩埚的盖子上的通孔，当提取单元处于第二状态时，提取单元不能够通过通孔。使用该装置进行蒸镀坩埚提取时，由于作业人员不需要到蒸镀坩埚跟前取坩埚，减少了作业人员在蒸镀腔滞留的时间，从而减少了作业人员进入蒸镀腔对蒸镀腔造成的污染，同时降低了蒸镀腔内的残留气体或粉尘也会对作业人员的人身健康产生的不良影响。
- 一种具有防刮伤效果的手机壳材料-201820403905.7
- 陈珂珩 - 苏州瑞康真空科技有限公司
- 2018-03-23 - 2019-11-12 - C23C14/24
- 为了解决手机壳的金属表面易刮伤的问题，本实用新型提出一种具有防刮伤效果的手机壳材料，其在金属膜层的表面增加一层防刮伤膜，可以有效得降低金属膜层表面的摩擦系数，使得其表面极其光滑，使得手机壳不易刮伤。一种具有防刮伤效果的手机壳材料，其包括：手机壳基材（1），粘附在手机壳基材（1）上表面的金属膜（2），其特征在于：金属膜（2）的上表面上还有一层防刮伤膜（3）。
- 一种蒸发源挡板-201910670150.6
- 黄逸臻;孙玉俊 - 福建华佳彩有限公司
- 2019-07-24 - 2019-11-08 - C23C14/24
- 本发明涉及高真空设备技术领域，特别涉及一种蒸发源挡板。所述一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、磁场检测器、磁感应开关和金属片；挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；第一挡板部与载台相向设置，第三挡板部与载台相向设置；金属片分别设置于第一挡板部与载台相对应的下端、及第三挡板部与载台相对应的下端；磁感应开关设置于载台上；金属片与磁感应开关相向设置；磁场检测器分别设置于金属片两侧，磁场检测器与磁感应开关相向设置。通过该装置，磁场检测器可通过检测每次传送的磁场是否相同，若不同，则说明挡板发生形变而偏移，则会发出警报，告知工作人员发生异常。
- 真空镀膜设备与单质薄膜的镀制方法-201610027688.1
- 于甄;解金库;高建聪 - 张家港康得新光电材料有限公司
- 2016-01-15 - 2019-11-08 - C23C14/24
- 本申请提供了一种真空镀膜设备与单质薄膜的镀制方法。该真空镀膜设备包括：蒸发源、保护盖板与挡板，其中，蒸发源用于放置膜料；保护盖板置于蒸发源上，具有开口；以及挡板可移动地设置在蒸发源上，用于遮挡开口。真空镀膜设备中包括可转动的挡板，通过调整该挡板的位置，使其遮挡蒸发源，将杂质等物质镀制在挡板上，避免将这些物质镀制在基片上，进而影响其器件的性能。
- 线性蒸镀设备用晶振控制系统-201822181251.0
- 武启飞;徐飞;廖良生;赵鹏鹏;闫洪刚 - 苏州方昇光电股份有限公司
- 2018-12-25 - 2019-11-08 - C23C14/24
- 本实用新型提供了一种线性蒸镀设备用晶振控制系统，包括设置在蒸镀室内的支架、固定设置于支架上的至少两个晶振探头组件、固定设置于蒸镀室内的挡板、及用于驱动所述支架移动的驱动机构，挡板上开设有对应所述晶振探头组件的开口，晶振探头组件包括有至少两个呈直线排布的晶振探头，其中一个所述晶振探头与所述开口对应设置；驱动机构驱动所述支架沿平行于所述晶振探头排布方向的方向移动。本实用新型采用多个晶振探头，通过驱动组件进行移动切换，有效的对晶振探头进行更替，保证了蒸镀的连续性，提高了蒸镀效率。
- 一种镀膜装置-201822274134.9
- 王先玉 - 浙江星星科技股份有限公司
- 2018-12-30 - 2019-11-08 - C23C14/24
- 本实用新型提供了一种镀膜装置，属于真空蒸发镀膜技术领域。它解决了现有镀膜装置工件安放不便的问题。本镀膜装置包括内部具有空腔的壳体，壳体内的顶部设有可旋转的旋转盘，旋转盘中具有若干个贯穿旋转盘的安装框，安装框中嵌入且可拆卸的固连有定位夹具，定位夹具中具有若干个用于定位工件的放置孔，定位夹具的侧部具有凸出设置的挡块，挡块能抵靠在旋转盘上且抵靠的位置位于安装框的边沿处。本镀膜装置具有使工件安放方便的优点。
- 一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构-201920051079.9
- 陈清胜;赵锐 - 四川海格锐特科技有限公司
- 2019-01-11 - 2019-11-08 - C23C14/24
- 本实用新型公开了一种一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构，包括真空室及设置于真空室的镀膜部件，所述镀膜部件包括带材传递系统及蒸发源，所述带材传递系统包括两个绕卷轮、两个主辊及两个蒸发源；在本设备工作时，两个绕卷轮中，其中一个作为收卷轮，另一个作为放卷轮；在带材传递路径上，两个主辊位于两个绕卷轮之间，且两个主辊中，其中一个主辊与带材的其中一侧作用，另一个主辊与带材的另一侧作用；两个蒸发源均用于汽化待镀材料，且一个蒸发源与一个主辊组成一个镀膜工位；在任意镀膜工位上，通过蒸发源加热所得的气相作用于与主辊贴合的带材段上。本设备可实现材料双面镀膜，同时便于获得更厚的镀膜厚度。
- 一种镀膜机展平辊布局结构及使用该结构的镀膜机-201920051682.7
- 陈清胜;赵锐 - 四川海格锐特科技有限公司
- 2019-01-11 - 2019-11-08 - C23C14/24
- 本实用新型公开了一种镀膜机展平辊布局结构，包括真空室及设置于真空室的镀膜部件，所述镀膜部件包括传递组件及蒸发源，所述传递组件包括两个绕卷轮、两个主辊及两个蒸发源；在本设备工作时，两个绕卷轮中，其中一个作为收卷轮，另一个作为放卷轮；在带材传递路径上，两个主辊位于两个绕卷轮之间，且两个主辊中，其中一个主辊与带材的其中一侧作用，另一个主辊与带材的另一侧作用；两个蒸发源均用于汽化待镀材料，且一个蒸发源与一个主辊组成一个镀膜工位；在任意镀膜工位上，通过蒸发源加热所得的气相作用于与主辊贴合的带材段上。本设备可实现材料双面镀膜，同时便于获得更厚的镀膜厚度。
- 用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构-201920277721.5
- 陈清胜;赵锐 - 四川海格锐特科技有限公司
- 2019-03-04 - 2019-11-08 - C23C14/24
- 本实用新型公开了用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构，包括固定块、压紧臂、送丝轮、压紧轮和旋转式驱动机构，在固定块的一侧设置有安装孔，在固定块的顶部设置有安装槽，安装槽的槽底与安装孔连通，压紧臂的一侧与安装槽的一端铰接，压紧臂的另一端与安装槽的另一端拆卸连接，在压紧臂上设置有通孔，在通孔中设置有支撑轴，压紧轮套设在支撑轴上，送丝轮设置在安装孔中，并与驱动机构连接；在安装孔的两侧均设置有送丝孔。本实用新型不仅能通过滚轮结构的滚动来带动丝材前行，还能控制送丝的速度，并使送丝机构中与丝材接触的部位具有预紧力，能连续不断地对镀膜设备补充蒸发材料，以保证镀膜过程的连续性。
- 一种多功能光致阻变薄膜的制备方法-201910720337.2
- 蓝碧健 - 太仓碧奇新材料研发有限公司
- 2019-08-06 - 2019-11-05 - C23C14/24
- 本发明属于电子技术领域，具体为一种多功能光致阻变薄膜的制备方法。本发明提出的方法是在ITO玻璃板上依次真空蒸镀6‑氯‑2‑甲基‑3‑(2‑羟基苯亚甲氨基)‑4(3H)‑喹唑啉酮、2‑(4‑氯‑3‑磺胺苯基)‑N‑异丙基酰肼硫代酰胺、3‑(5‑羟戊基)‑6‑联苯基‑7H‑1,2,4‑三唑并[3,4‑b][1,3,4]噻二嗪、3,4,5‑三乙酰氧基苯甲酸小檗碱酯，得多功能光致阻变薄膜，该薄膜的透光率为87~91%，雾度为88~94%；用白光、波长为365nm的紫外光以及波长为254nm的紫外光分别照射多功能光致阻变薄膜5分钟，光照后多功能光致阻变薄膜的方块电阻分别为18.7万~23.1万Ω/□、36.1~42.3Ω/□及1.2~1.9Ω/□。
- 一种线性蒸发源装置及蒸镀设备-201710883034.3
- 郑子明;赵军;吕海超;彭勃 - 上海升翕光电科技有限公司
- 2017-09-26 - 2019-11-05 - C23C14/24
- 本发明涉及一种线性蒸发源装置及蒸镀设备，属于有机器件制造技术领域。所述线性蒸发源装置包括：坩埚，所述坩埚上设有坩埚出气口；本体，所述本体的底部中央位置设有本体进气口；及置于本体的顶部且呈线性均匀排布的多个喷嘴；还包括置于坩埚和本体之间的连通管；所述连通管上设有引入通道、压缩通道及释放通道；所述引入通道与所述坩埚出气口相连，所述释放通道与所述本体进气口相连；所述压缩通道设置于所述引入通道和所述释放通道之间。该线性蒸发源装置经加热坩埚产生的蒸镀气体通过所述连通管的均匀混合、压缩及释放后，进入所述本体的腔体内作进一步的气压平衡混合，再通过所述喷嘴喷射到蒸镀基板上，能提高有机材料镀膜的厚度均匀性。
- 一种光学镀膜红外膜厚监控仪-201821953583.X
- 王琦;丁淑丽 - 南京明瑞光电技术有限公司
- 2018-11-25 - 2019-11-05 - C23C14/24
- 本实用新型公开了一种光学镀膜红外膜厚监控仪，涉及监控仪装置技术领域。本实用新型包括监控仪，监控仪上设有显示屏，监控仪上设有凹槽，凹槽内的背面壁上设有电动直线滑轨，电动直线滑轨的滑块上固定安装有清扫刷板，凹槽的侧壁上设有滑轨槽，滑轨槽内均滑动连接有滑块，滑块之间转动连接有设有操作面板盘。本实用新型通过设置凹槽、操作面板盘、清扫刷板和滑块，操作面板盘转动连接在滑块上的轴杆上，通过转动操作面板盘朝向凹槽内部，通过清扫刷板上的刷毛对操作面板盘进行污渍清理，解决了现在操作面板盘上污渍多，且在工作过程中容易被碰到的问题。
- 一种防飞溅型钼舟-201822096965.1
- 王琦;王海军;王阜平 - 南京明瑞光电技术有限公司
- 2018-12-13 - 2019-11-05 - C23C14/24
- 本实用新型公开了一种防飞溅型钼舟，涉及钼舟技术领域。本实用新型包括舟体，舟体的舟舱内的一端设有倾斜向下的下料板，舟体的舟舱的底部整列有多个分隔板，舟体的舟舱的内壁上设有环形的安装板，安装板上卡合连接有盖板，盖板上设有投料口和蒸发口，投料口处于下料板的正上方，蒸发口处于分隔板的正上方，蒸发口的边缘处设有固定柱，固定柱的下端处于盖板的下方且固定连接有挡板，挡板完全覆盖蒸发口。本实用新型通过设置安装板、盖板和挡板，当钼舟工作过程中，蒸发后的气相物料经由盖板上的蒸发口和挡板之间的缝隙蒸发出，同时挡板和盖板均起到防飞溅的功能，解决了金属原料在加热过程中容易溅出舟舱外，浪费原料的问题。
- 一种新型卷绕式真空内纠偏装置-201920077764.9
- 陈刚;郭江涛 - 威海斡兹真空科技有限公司
- 2019-01-17 - 2019-11-05 - C23C14/24
- 本申请公开了一种新型卷绕式真空内纠偏装置，包括真空腔、真空泵、供气机构、放料辊、收料辊、纠偏辊和靶材，所述真空泵和所述供气机构均与所述真空腔连通，所述放料辊、所述收料辊、所述纠偏辊和所述靶材均放置在所述真空腔内，还包括滑轨、调整架，所述调整架包括竖直调整板和水平调整板，所述调整架上设有滑轮、通孔、旋转底座和凹槽，所述调整架通过所述滑轮与所述滑轨连接，所述通孔、所述旋转底座和所述凹槽位于所述调整架的上端面上，所述旋转底座上固定连接一凸轮。本申请通过在纠偏辊的缠绕基材的部位设置调整架，调整架的前后运动，能实时纠正基材的运输线路，进而在一定程度上达到防止基材在卷绕过程中的位置偏移。
- 一种真空蒸镀设备的蒸发源-201920142801.X
- 陈卫民;王捷 - 广州先艺电子科技有限公司
- 2019-01-28 - 2019-11-05 - C23C14/24
- 本实用新型公开了一种真空蒸镀设备的蒸发源，一种真空蒸镀设备的蒸发源，包括坩埚和加热部，所述加热部均匀设置在所述坩埚的外周；所述蒸发源的侧上方设置有坩埚，坩埚底部设置有小孔；所述坩埚底部的小孔与所述蒸发部之间设置有引流束；所述引流束的一端设置在所述蒸发部，所述引流束的另一端穿过坩埚底部的小孔伸入至坩埚内。本实用新型由于蒸发原料以液体状态沿着引流束逐步输运，在到达蒸发部时迅速蒸发，减少了同时加热蒸发全部原料导致的成分偏差。同时,该蒸发源对蒸发原料的形状要求低，不需要制备成粉末、丝状等特殊形状，降低了原料成本。
- 一种连续性卷对卷真空镀膜机-201920192213.7
- 李正平;李成林 - 浙江德佑新材料科技有限公司
- 2019-02-12 - 2019-11-05 - C23C14/24
- 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种连续性卷对卷真空镀膜机。该真空镀膜机，包括第一镀膜腔室、第二镀膜腔室和输送腔室，第一镀膜腔室中包含蒸发舟和蒸发挡板，所述第二镀膜腔室内包含阴极电弧蒸发源、阴极管和第二遮阴网，输送腔室内包含推送装置、卷绕装置和第一遮阴网，所述推送装置包括第一推送装置、第二推送装置、推送杆和圆柱形钢腹板，所述第一镀膜腔室与所述输送腔室之间设置有隔板，其中所述隔板与所述输送腔室密闭连接。本实用新型将有机气相沉积以及真空蒸发镀两种工艺相结合，且加入了卷绕装置，镀膜效率大大提高，解决了柔性光电薄膜生产效率不足的问题。
- 一种蒸镀装置-201920246509.2
- 林进志 - 陕西坤同半导体科技有限公司
- 2019-02-26 - 2019-11-05 - C23C14/24
- 本实用新型提供一种蒸镀装置。该装置包括蒸镀腔体，设于蒸镀腔体内的N个蒸镀源、N组镀率监控装置，每组镀率监控装置包括一主镀率监控装置及一备用镀率监控装置，且每组镀率监控装置对应一个蒸镀源以及控制电路，所述控制电路与所述N个蒸镀源、各主镀率监控装置及备用镀率监控装置电性连接；其中，所述控制电路，用于在每组的所述主要镀率监控装置使用时间结束时，控制切换到相对应的备用镀率监控装置进行监控。该装置一方面，延长了镀率监控装置的使用时间，减少了停机更换晶振片的次数，提升了蒸镀机的稼动率；另一方面，当其中一组镀率监控系统发生不可预期的问题可切换到另一组镀率监控装置进行作业，增加了作业的弹性。
- 材料沉积系统和用于在材料沉积系统中沉积材料的方法-201480083861.9
- 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;斯蒂芬·班格特;奥利弗·海默尔;迪特尔·哈斯 - 应用材料公司
- 2014-12-05 - 2019-11-05 - C23C14/24
- 描述一种用于将材料沉积在基板(121)上的真空沉积系统(300；400；500)。真空沉积系统(300；400；500)包括：真空腔室(110)，真空腔室(110)具有腔室容积；以及材料沉积布置(100)，材料沉积布置(100)用于提供将沉积的材料，材料沉积布置(100)在沉积期间位于真空腔室(110)中。真空沉积系统进一步包括基板支撑件(126；600)，基板支撑件(126；600)用于在真空腔室(110)中支撑基板(121)，基板具有基板尺寸。腔室容积对基板尺寸比是15m或更少。另外，描述一种用于在真空沉积系统(300；400；500)中将材料沉积在基板(121)上的方法。
- 一种多功能湿敏薄膜的制备方法-201910720398.9
- 蓝碧健 - 太仓碧奇新材料研发有限公司
- 2019-08-06 - 2019-11-01 - C23C14/24
- 本发明属于传感器技术领域，具体为一种多功能湿敏薄膜的制备方法。本发明提出的方法是在碳纤维纸上依次真空蒸镀2‑(5‑氯‑2‑金刚烷‑1H‑吲哚‑3‑基)‑2‑氧代乙酰、3,4‑二乙氧基苯甲酸小檗碱酯、2‑氯‑5‑(5‑(异丙氨基)‑1,3,4‑噻二唑‑2‑基)苯磺酰胺、(R)‑1‑(6‑氨基‑9H‑嘌呤‑9‑基)丙基‑2‑醇，得多功能湿敏薄膜；用白光、波长为365nm的紫外光以及波长为254nm的紫外光分别照射多功能湿敏薄膜1分钟，光照后多功能湿敏薄膜的颜色分别为橙色、绿色、蓝色，方块电阻分别为11.1万~12.8万Ω/□、9803~9927Ω/□及896~919Ω/□，湿度传感灵敏度分别为1.4~1.7%、98.1~99.8%、397.3~406.8%。
- 磨砂面上的高漫反射铝膜及其制备方法-201810008587.9
- 范皓洋 - 苏州市唯嘉光学有限公司
- 2018-01-04 - 2019-11-01 - C23C14/24
- 本发明公开了一种磨砂面上的高漫反射铝膜及其制备方法，通过超声波清洁喷砂铝板的磨砂面，得到符合要求的磨砂面；然后采用真空蒸发法镀制铝膜，接着继续在高真空镀膜机内立即镀制多层介质膜，即得。该方法制备的磨砂面上的高漫反射铝膜反射率高，可见区范围内可达95％以上，解决了磨砂面上镀制高反射膜的反射率低的问题。
- 一种蒸发源挡板装置以及蒸镀设备-201920211876.9
- 李奂钦;江李 - 宁波卢米蓝新材料有限公司;宁波激智创新材料研究院有限公司
- 2019-02-19 - 2019-11-01 - C23C14/24
- 本实用新型提供了一种蒸发源挡板装置以及蒸镀设备，所述挡板装置自上至下依次连接的上挡板、延伸挡板以及底座；所述延伸挡板和底座的夹角为β，0°<β≤90°；所述上挡板和延伸挡板的夹角为θ，90°＜θ＜180°；蒸发源挡板装置结构简单，易于实现，一方面能有效防止蒸发源蒸发过程中材料沉积到蒸发源外部，防止蒸发源表面被污染，另一方面便于蒸发源材料的回收提纯以及重复利用；该蒸镀设备能够有效降低生产成本，其中蒸发源材料的重复利用率可达55％。
- 处理体收纳装置、处理体收纳方法及蒸镀方法-201811558926.7
- 佐藤功康 - 佳能特机株式会社
- 2018-12-20 - 2019-10-29 - C23C14/24
- 本发明涉及处理体收纳方法、处理体送出方法、处理体送入方法、处理体送出送入方法、蒸镀方法、电子器件的制造方法、显示面板的制造方法、处理体收纳盒以及处理体收纳装置。在收纳进行处理的多个处理体的处理体收纳方法中，其特征在于，第一处理体收纳盒和第二处理体收纳盒能分别多层式地收纳所述多个处理体，将所述第一处理体收纳盒和第二处理体收纳盒分别上下配置地设置成，所述第一处理体收纳盒在上部而所述第二处理体收纳盒比所述第一处理体收纳盒靠下部，在所述第一处理体收纳盒中收纳所述多个处理体中的所述处理前的所述处理体，在所述第二处理体收纳盒中收纳所述多个处理体中的所述处理后的所述处理体。
- 蒸镀装置和托盘保持件-201510184179.5
- 樋口俊郎;上野博;木村仁 - 纳卢克斯株式会社
- 2015-04-17 - 2019-10-29 - C23C14/24
- 提供蒸镀装置和托盘保持件，对工件均匀进行蒸镀、并且进一步提高了生产效率。本发明的托盘保持件具有：框架，其具有第1旋转部件(1101)；以及旋转部(1200)，其具有第2旋转部件(1211)，并被安装成能够与所述第2旋转部件一起绕被所述框架支承的轴(1213)旋转。所述旋转部具有绕所述轴配置的多个工件保持用托盘(1251A、1251B、1251C)，所述第2旋转部件构成为，通过所述第1旋转部件与所述旋转部一起旋转。
- 塑料镀膜生产设备及其生产方法-201610942226.2
- 潘振强 - 广东振华科技股份有限公司
- 2016-10-25 - 2019-10-29 - C23C14/24
- 本发明涉及一种塑料镀膜生产设备及生产方法，所述生成设备包括输送底座和工件架，所述输送底座上依次设有底漆涂布固化室、真空镀膜室和面漆涂布固化室，所述工件架用于放置工件，所述工件架设在所述输送底座上，所述工件架在所述输送底座的带动下，依次通过所述底漆涂布固化室、真空镀膜室和面漆涂布固化室；所述生成方法在该生成设备中进行；本发明中的塑料镀膜生产设备，建立了UV底油‑固化——镀膜——UV面漆‑固化多工艺的全自动组合生产线，提供了一种降低生产成本、且多功能化镀膜的生产线；此外，通过工件架在输送底座上移动，可以在喷涂生产线与蒸发镀膜设备之间共用结构简单，使用更为方便，易于操作，节约成本。
- 一种蒸镀方法以及蒸镀系统-201710841989.2
- 石均 - 联想（北京）有限公司
- 2017-09-18 - 2019-10-29 - C23C14/24
- 本发明公开了一种蒸镀方法以及蒸镀系统，该蒸镀方法包括：提供一待蒸镀基板，所述待蒸镀基板具有第一表面，所述第一表面用于蒸镀像素图形，所述像素图形具有多个子像素；在所述待蒸镀基板朝向所述第一表面的一侧设置蒸镀模具，所述蒸镀模具包括相对设置的第一掩膜版以及第二掩膜版，所述第一掩膜版的掩膜图形与所述第二掩膜版的掩膜图形错位相对，以形成与所述子像素匹配的掩膜通孔；基于所述掩膜通孔，对所述待蒸镀基板进行蒸镀，在所述第一表面形成所述子像素。本发明技术方案可以采用具有大开口尺寸的掩膜版制备小尺寸的子像素，降低了掩膜版的加工难度以及蒸镀前掩掩膜版与待蒸镀基板的对位精度，提高了子像素的蒸镀质量。
- 一种镀膜设备沉积腔室和一种镀膜设备-201821808921.0
- 田保峡;闻益;曲士座 - 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
- 2018-11-02 - 2019-10-29 - C23C14/24
- 本实用新型公开一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备，沿第一预设方向，在底板上设置的每排非金属蒸发源的个数为M个；在底板上设置非金属蒸发源的排数为Q排；位于Q排的首端的P个非金属蒸发源构成第一组非金属蒸发源，位于Q排的末端的M‑P个非金属蒸发源构成第二组非金属蒸发源；第一组非金属蒸发源中各排首端非金属蒸发源中心点的连线与末端非金属蒸发源的中心店的连线平行；第二组非金属蒸发源中至少有一排非金属蒸发源的首端、末端相对于首排非金属蒸发源的首端、末端沿第一预设方向错位预设距离。本方案，可形成的大小合适、厚度均匀且性能良好的CIGS膜，从而使得形成的太阳能电池具有较高的发电效率，有效满足用电需求。
- 一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备-201821809037.9
- 田保峡;闻益;曲士座 - 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
- 2018-11-02 - 2019-10-29 - C23C14/24
- 本实用新型公开了一种镀膜设备沉积腔室，在所述底板上设置有N排非金属蒸发源，每排非金属蒸发源包括M个沿第一预设方向设置的非金属蒸发源；在第一预设方向上，所述N排非金属中至少包括一排非金属蒸发源的首端、末端的非金属蒸发源较其他排的首端、末端错位预设距离；其中，M为大于等于8小于等于15的整数，N为大于等于2的整数；每排中的相邻两个非金属蒸发源之间的间距为一定值。本方案，使得通过镀膜设备沉积腔室在衬底表面形成的CIGS膜厚度均匀，性能良好，从而使得形成的包括CIGS膜的太阳能电池具有较高的发电效率，有效满足用电需求。
- 一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备-201821809204.X
- 田保峡;闻益;曲士座 - 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
- 2018-11-02 - 2019-10-29 - C23C14/24
- 本实用新型公开了一种镀膜设备沉积腔室，在所述沉积腔室的底板上设置有金属蒸发源和非金属蒸发源，其中，在所述底板上设置的每排非金属蒸发源的个数为M个；并且，该M个非金属蒸发源分散布置在所述底板的长度方向；M为大于等于8小于等于15的整数；其中，在非金属蒸发源的两侧沿所述底板的长度方向分别设置有一排金属蒸发源，设置在非金属蒸发源一侧的一排金属蒸发源与设置在非金属蒸发源另一侧的金属蒸发源对称设置。本方案，使得通过镀膜设备沉积腔室在玻璃衬底表面形成的CIGS膜厚度均匀，性能良好，从而使得形成的包括CIGS膜的太阳能电池具有较高的发电效率，有效满足用电需求。
- 专利分类
