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[发明专利]一种具有安全互锁逻辑的控制模块及碳化硅外延设备-CN202210045392.8在审
发明人：蒲勇;田保峡;向阳;张勇;施建新 -专利权人：芯三代半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-01-15 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： C30B25/14 文献下载
摘要：本申请公开一种具有安全互锁逻辑的控制模块及碳化硅外延设备。该控制模块包括：数据采集模块，其实时的采集与其连接的子系统的信息；数据处理模块，其接收并响应数据采集模块的采样的信息，与预设的检查表中的参数比较，并输出与子系统对应的处理结果；这样子系统匹配的执行模块，接收并响应处理结果进行动作。通过安全互锁逻辑控制模块建立设备与各子系统或零部件间严密的逻辑关系，并基于预设的规则动作，设备处于安全状态。
一种具有安全互锁逻辑控制模块碳化硅外延设备

[发明专利]沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法-CN201811303297.3在审
发明人： 田保峡;闻益;曲士座 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明提供一种沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法，沉积腔室包括至少两组金属蒸发源和至少一组非金属蒸发源；每组金属蒸发源包括至少两种金属蒸发源；沿着沉积腔室的幅长方向，至少两组金属蒸发源分别设置于沉积腔室的两侧，且每组金属蒸发源包括至少一排金属蒸发源，每组金属蒸发源呈直线或水平交错的方式排布；每组金属蒸发源的总数量为13个。镀膜设备包括上述的沉积腔室。本发明改善了薄膜的性能，提高了太阳能薄膜电池的发电效率和成品率。
沉积镀膜设备方法

[发明专利]沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法-CN201811303303.5在审
发明人： 田保峡;闻益;曲士座 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明提供一种沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法，沉积腔室包括至少两排金属蒸发源和至少一排非金属蒸发源；每排金属蒸发源包括至少两种金属蒸发源；沿着沉积腔室的幅长方向，至少两排金属蒸发源分别设置于沉积腔室的两侧，且每排金属蒸发源成直线排布；每排所述金属蒸发源的总数量为11个。镀膜设备包括上述的沉积腔室。本发明改善了薄膜的性能，提高了太阳能薄膜电池的发电效率和成品率。
沉积镀膜设备方法

[发明专利]沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法-CN201811303302.0在审
发明人： 田保峡;闻益;曲士座 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明提供一种沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法，沉积腔室包括至少两组金属蒸发源和至少一组非金属蒸发源；每组金属蒸发源包括至少两种金属蒸发源；沿着沉积腔室的幅长方向，至少两组金属蒸发源分别设置于沉积腔室的两侧，且每组金属蒸发源包括至少一排金属蒸发源，每组金属蒸发源呈直线或水平交错的方式排布；每组金属蒸发源的总数量为12个。镀膜设备包括上述的沉积腔室。本发明改善了薄膜的性能，提高了太阳能薄膜电池的发电效率和成品率。
沉积镀膜设备方法

[发明专利]沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法-CN201811303760.4在审
发明人： 田保峡;闻益;曲士座 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法，沉积腔室包括至少两排金属蒸发源和至少一排非金属蒸发源；每排金属蒸发源包括至少两种金属蒸发源；沿着沉积腔室的幅长方向，至少两排金属蒸发源分别设置于沉积腔室的两侧，且每排金属蒸发源成直线排布；每排金属蒸发源的总数量为9个。镀膜设备包括上述的沉积腔室。本发明改善了薄膜的性能，提高了太阳能薄膜电池的发电效率和成品率。
沉积镀膜设备方法

[发明专利]沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法-CN201811303034.2在审
发明人： 田保峡;闻益;曲士座 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法，沉积腔室包括至少两排金属蒸发源和至少一排非金属蒸发源；每排金属蒸发源包括至少两种金属蒸发源；沿着沉积腔室的幅长方向，至少两排金属蒸发源分别设置于沉积腔室的两侧，且每排金属蒸发源成直线排布；每排所述金属蒸发源的总数量为10个。镀膜设备包括上述的沉积腔室。本发明改善了薄膜的性能，提高了太阳能薄膜电池的发电效率和成品率。
沉积镀膜设备方法

[发明专利]沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法-CN201811303246.0在审
发明人： 田保峡;闻益;曲士座 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明提供一种沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法，沉积腔室包括至少两排金属蒸发源和至少一排非金属蒸发源；每排金属蒸发源包括至少两种金属蒸发源；沿着沉积腔室的幅长方向，至少两排金属蒸发源分别设置于沉积腔室的两侧，且每排金属蒸发源成直线排布；每排所述金属蒸发源的总数量为8个。镀膜设备包括上述的沉积腔室。本发明改善了薄膜的性能，提高了太阳能薄膜电池的发电效率和成品率。
沉积镀膜设备方法

[发明专利]一种排气系统及防止尘粒回流的装置及方法-CN201610812779.6有效
发明人： 田保峡;朱班;李天笑 -专利权人：中微半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2016-09-09 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：本发明提供一种排气系统及防止尘粒回流的装置及方法，通过实时监测真空泵的马达转速信号及过滤器上游及下游的气体压力，当测得的马达转速等于或低于设定的第一转速，并且测得的上下游压力的差值达到为当前工艺所设定的阈值时，控制阀门在马达转速下降到第二转速之前关闭。因此，本发明可以在故障导致真空泵马达转速降低或停转之前，先行关闭连通反应腔的排气管路，对尘粒回流进行阻断，有效避免反应腔内核心硬件因回流污染造成的损失。
一种排气系统防止尘粒回流装置方法

[实用新型]一种镀膜设备沉积腔室-CN201821809055.7有效
发明人： 田保峡;闻益;曲士座 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜设备沉积腔室，在在所述底板上沿第一预设方向设置的每排非金属蒸发源的个数为M个；在所述沉积腔室的底板上设置的非金属蒸发源的排数为Q排；位于所述Q排的首端的的P个非金属蒸发源构成第一组非金属蒸发源，位于所述Q排的末端的M‑P个非金属蒸发源构成第二组非金属蒸发源；所述第一组蒸发源和/或第二组非金属蒸发源，至少有一排非金属蒸发源的首端、末端相对于首排非金属蒸发源的首端、末端沿第一预设方向错位预设距离。本方案，使得通过镀膜设备沉积腔室在衬底表面形成的大小合适、厚度均匀且性能良好的CIGS膜，从而使得形成的包括CIGS膜的太阳能电池具有较高的发电效率，有效满足用电需求。
蒸发源沉积腔室底板镀膜设备首端预设本实用新型太阳能电池衬底表面发电效率方向设置厚度均匀用电需求预设距离排数错位

[外观设计]镀膜机装置-CN201830619262.5有效
发明人： 田保峡;闻益 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1、本外观设计产品的名称：镀膜机装置。;2、本外观设计产品的用途：本产品可用于镀膜机设备中的冷却腔、加热腔、反应腔等。;3、本外观设计产品的设计要点：产品的形状。;4、最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体分解图。
镀膜机装置

[外观设计]镀膜机装置-CN201830619407.1有效
发明人： 田保峡;闻益 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1、本外观设计产品的名称：镀膜机装置。;2、本外观设计产品的用途：本产品可用于镀膜机设备中的冷却腔、加热腔、反应腔等。;3、本外观设计产品的设计要点：产品的形状。;4、最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体分解图。
镀膜机装置

[外观设计]镀膜机装置-CN201830619411.8有效
发明人： 田保峡;闻益 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：镀膜机装置。;2.本外观设计产品的用途：镀膜机设备中的冷却腔、加热腔、反应腔等。;3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。;4.最能表明设计要点的图片或照片：分解状态图。
镀膜机装置

[外观设计]镀膜机盖体-CN201830619229.2有效
发明人： 田保峡;闻益 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： 09-01 文献下载
摘要：1、本外观设计产品的名称：镀膜机盖体。2、本外观设计产品的用途：用于覆盖镀膜机之类设备的腔室（如冷却腔、加热腔、反应腔等）。3、本外观设计产品的设计要点：产品的形状。4、最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1立体图。5、指定基本设计：设计1。
外观设计镀膜机盖体反应腔加热腔冷却腔腔室覆盖图片

[实用新型]一种镀膜设备沉积腔室和一种镀膜设备-CN201821808921.0有效
发明人： 田保峡;闻益;曲士座 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备，沿第一预设方向，在底板上设置的每排非金属蒸发源的个数为M个；在底板上设置非金属蒸发源的排数为Q排；位于Q排的首端的P个非金属蒸发源构成第一组非金属蒸发源，位于Q排的末端的M‑P个非金属蒸发源构成第二组非金属蒸发源；第一组非金属蒸发源中各排首端非金属蒸发源中心点的连线与末端非金属蒸发源的中心店的连线平行；第二组非金属蒸发源中至少有一排非金属蒸发源的首端、末端相对于首排非金属蒸发源的首端、末端沿第一预设方向错位预设距离。本方案，可形成的大小合适、厚度均匀且性能良好的CIGS膜，从而使得形成的太阳能电池具有较高的发电效率，有效满足用电需求。
蒸发源镀膜设备首端底板沉积腔室连线预设本实用新型太阳能电池发电效率厚度均匀用电需求预设距离中心点排数平行错位

[实用新型]一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备-CN201821809037.9有效
发明人： 田保峡;闻益;曲士座 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜设备沉积腔室，在所述底板上设置有N排非金属蒸发源，每排非金属蒸发源包括M个沿第一预设方向设置的非金属蒸发源；在第一预设方向上，所述N排非金属中至少包括一排非金属蒸发源的首端、末端的非金属蒸发源较其他排的首端、末端错位预设距离；其中，M为大于等于8小于等于15的整数，N为大于等于2的整数；每排中的相邻两个非金属蒸发源之间的间距为一定值。本方案，使得通过镀膜设备沉积腔室在衬底表面形成的CIGS膜厚度均匀，性能良好，从而使得形成的包括CIGS膜的太阳能电池具有较高的发电效率，有效满足用电需求。
蒸发源镀膜设备沉积腔室首端预设底板本实用新型太阳能电池衬底表面发电效率方向设置厚度均匀用电需求预设距离错位

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