[发明专利]一种大尺寸原子层厚六方氮化硼单晶的制备方法在审

专利信息
申请号: 201410246280.4 申请日: 2014-06-05
公开(公告)号: CN104060322A 公开(公告)日: 2014-09-24
发明(设计)人: 郭万林;殷俊;李雪梅 申请(专利权)人: 南京航空航天大学
主分类号: C30B25/00 分类号: C30B25/00;C30B29/60;C30B29/40
代理公司: 江苏圣典律师事务所 32237 代理人: 贺翔
地址: 210016 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种大尺寸原子层厚六方氮化硼单晶的制备方法,选用单晶Ge或单晶Si为基底,将基底清洗后升温,单晶Ge升温至800~930℃,单晶Si升温至1000~1400℃,使用化学气相沉积法在基底表面生长大尺寸原子层厚六方氮化硼单晶。本发明利用Ge、Si等单晶表面生长的六方氮化硼的晶粒取向对基底晶向的依赖关系,使得不同晶粒长大后边界拼接相匹配,形成大面积高质量六方氮化硼单晶。
搜索关键词: 一种 尺寸 原子 层厚六方 氮化 硼单晶 制备 方法
【主权项】:
一种大尺寸原子层厚六方氮化硼单晶的制备方法,其特征在于:选用单晶Ge或单晶Si为基底,将基底清洗后升温,单晶Ge基底升温至800~930℃,单晶Si基底升温至1000~1400℃,使用化学气相沉积法在基底表面生长大尺寸原子层厚六方氮化硼单晶。
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  • 刘津欣;王凌翔 - 武汉大学
  • 2015-04-10 - 2017-03-15 - C30B25/00
  • 本发明公开了一种二维过渡金属二硫族化合物单晶及其制备方法和应用。在惰性气氛中,借助常见的可与硫族单质(S,Se)反应的金属和氢气辅助控制体系中S或Se的浓度,以达到控制过渡金属层硫化或硒化程度的目的,利用化学气相沉积方法可控地生长TMDs单晶;将沉积时的温度控制为750℃至850℃,并且沉积时间控制为5至15分钟,完成TMDs单晶的制备;其中通过对基底溅射处理方法、硫族单质粉末用量、吸S/Se金属面积和种类、氢气浓度、生长温度、生长时间等制备参数的优化,实现对高质量二维过渡金属二硫族化合物单晶结构的严格控制。
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