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[发明专利]MEMS器件及封装结构制作方法-CN201710283570.X有效
发明人：李江龙;李俊;周宗燐;蔡孟锦 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2017-04-26 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种MEMS器件及封装结构制作方法。其中，MEMS器件，包括：MEMS封装结构；以及内设于MEMS封装结构且与MEMS封装结构电连接的MEMS部件；其中，MEMS封装结构设有供MEMS部件与外界通信的信号通道，以及卡设于信号通道内的可动阀门。本申请实施例提供的MEMS器件解决了现有技术中，高压气流以及空气中的微粒会对MEMS部件造成冲击损坏的缺陷。
mems 器件封装结构制作方法

[发明专利]MEMS麦克风与环境传感器的集成装置及其制造方法-CN201611040031.5有效
发明人：周宗燐;蔡孟锦 -专利权人：歌尔微电子有限公司
申请日： 2016-11-21 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS麦克风与环境传感器的集成装置及其制造方法，在衬底上依次设置有麦克风的第一下电极、振膜、第一上电极，在所述衬底上还设置有第二下电极以及通过绝缘部支撑在第二下电极上方且对环境敏感的第二上电极，所述第二下电极与第二上电极构成了环境传感器电容器结构。本发明的集成装置，将MEMS麦克风的电容结构、环境传感器的电容结构集成在同一个衬底上，这就将麦克风和环境传感器集成在同一个芯片上，提高了MEMS麦克风和环境传感器的集成度，可以大大降低整个封装结构的尺寸；而且可以在衬底上同时制作出MEMS麦克风和环境传感器，提高了生产的效率。
mems 麦克风环境传感器集成装置及其制造方法

[发明专利]一种光栅片的制造方法、光栅片及显示设备-CN201810770248.4有效
发明人： 蔡孟锦 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种光栅片的制造方法、光栅片及显示设备，在衬底的表面上形成凹凸的光栅图案；在衬底上设置液态的光栅材质，所述液态的光栅材质延伸并填充至凹凸的光栅图案中；液态的光栅材质固化后与衬底脱离，得到具有相应光栅图案的光栅片。本发明的制造方法，光栅片的分辨率和图形只由衬底决定，使得可以通过控制衬底图案的精度即可达到控制光栅片精度的目的。另外，本发明的衬底作为母版可以重复使用，降低了制造的成本，提高了生产的效率。
一种光栅制造方法显示设备

[发明专利]一种微通道加工方法、微通道-CN201810771392.X有效
发明人： 蔡孟锦;詹竣凱;邱冠勳 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微通道加工方法及微通道，在衬底上形成微沟道，所述微沟道贯通衬底的两侧；在微沟道中沉积牺牲层，所述牺牲层的上端将微沟道的开口封闭住，牺牲层的内部形成空隙；在衬底上沉积覆盖层，所述覆盖层覆盖在衬底以及微沟道、牺牲层的上方；通过空隙将牺牲层腐蚀掉。本发明微通道的加工方法，可以使覆盖层与衬底上除微沟道以外的位置良好地结合在一起，避免了传统键合带来的泄露问题，以及传统贴合带来的微沟道阻塞问题，保证了微沟道的小型化发展。
一种通道加工方法

[实用新型]一种附加自充电闹钟的鞋子-CN201920126180.6有效
发明人： 蔡孟锦;唐瑛 -专利权人： 蔡孟锦
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： A43B3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种附加自充电闹钟的鞋子，包括鞋面、鞋底和气垫块，所述鞋面缝合于鞋底之上，位于脚踝下方的鞋底内部开有底腔，底腔内部设置有气垫块，气垫块为内部填充气体的中空结构，气垫块内部空间的底面上粘接有块芯，块芯包括外轮廓呈管状结构的滑动管，滑动管内部开有左腔、中腔和右腔，中腔和左腔内部设置有活动柱，活动柱包括塞柱和滑柱，滑柱内部开有柱腔，滑柱的端面上开有端面孔，柱腔内部设置有磁铁，封盖位于端面孔内部，塞柱位于左腔内部，滑柱位于中腔内部，滑柱外部套有弹簧。该附加自充电闹钟的鞋子，具有定时提醒功能，无外接供电，吸收行走时的震动，适合普遍推广使用。
一种附加充电闹钟鞋子

[实用新型]传感器组件和可穿戴设备-CN201921436163.9有效
发明人： 蔡孟锦 -专利权人：青岛歌尔微电子研究院有限公司
申请日： 2019-08-30 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种传感器组件和可穿戴设备，该传感器组件包括：双面电路板；控制器，所述控制器设于所述双面电路板的一表面；惯性传感器和心电图传感器，所述惯性传感器和所述心电图传感器均与所述双面电路板电性连接，所述心电图传感器具有与所述双面电路板电性连接的传感芯片，所述惯性传感器与所述传感芯片的至少一个，设于所述双面电路板背离所述控制器的表面。本实用新型技术方案旨在提高智能穿戴设备对用户运动状态的测量准确度，且面积更小。
传感器组件穿戴设备

[实用新型]传感器组件和可穿戴设备-CN201921436162.4有效
发明人： 蔡孟锦 -专利权人：青岛歌尔微电子研究院有限公司
申请日： 2019-08-30 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种传感器组件和可穿戴设备，该传感器组件包括：双面电路板；控制器，所述控制器设于所述双面电路板的一表面；脉搏传感器和心电图传感器，所述脉搏传感器和所述心电图传感器均与所述双面电路板电性连接，所述心电图传感器具有与所述双面电路板电性连接的传感芯片，所述传感芯片与所述脉搏传感器的至少一个，设于所述双面电路板背离所述控制器的表面。本实用新型技术方案旨在提高对用户的生理状态的测量准确度，且降低安装面积。
传感器组件穿戴设备

[实用新型]传感器组件和可穿戴设备-CN201921436065.5有效
发明人： 蔡孟锦 -专利权人：青岛歌尔微电子研究院有限公司
申请日： 2019-08-30 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种传感器组件和可穿戴设备，该传感器组件包括双面电路板；控制器，所述控制器设于所述双面电路板的一表面；惯性传感器和脉搏传感器，所述惯性传感器和所述脉搏传感器均与所述双面电路板电性连接，所述惯性传感器与所述脉搏传感器的至少一个，设于所述双面电路板背离所述控制器的表面。本实用新型技术方案旨在提高智能穿戴设备的功能，且不会占用智能穿戴设备较多面积。
传感器组件穿戴设备

[发明专利]一种MEMS麦克风中的振膜及MEMS麦克风-CN201610784827.5有效
发明人：詹竣凯;蔡孟锦 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： H04R7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS麦克风中的振膜及MEMS麦克风，包括振膜本体以及在振膜本体上由缝隙限制成的至少一个泄压装置，所述缝隙包括依次承接在一起的至少两段圆弧状缝隙，其中，相邻两段圆弧状缝隙整体呈S形，且相对于其连接的位置呈中心对称，所述泄压装置包括由至少两段相邻的圆弧状缝隙形成的至少两个阀瓣，以及连接阀瓣与振膜本体且呈束缚状的颈部。本发明的振膜，当受到例如机械冲击、吹气、跌落所带来的较大声压时，结构对称的至少两个阀瓣可以以各自的颈部为支点向上或向下翘起，从而形成了有效的泄压路径，以达到泄压的目的。
一种 mems 麦克风中的

[发明专利]防尘结构及其制作方法-CN201911034114.7在审
发明人： 蔡孟锦 -专利权人：青岛歌尔微电子研究院有限公司
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： G01D11/24 文献下载
摘要：本发明公开一种防尘结构及其制作方法，所述防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：提供基板，在基板的一表面设置离型膜；在离型膜的表面沉积形成金属层；通过激光打孔以使金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。本发明技术方案旨在使防尘结构具有较好的防尘功能，并且能使被防尘的传感器与外部环境连通，保证传感器检测灵敏度和测量的准确度。
防尘结构防尘部金属层离型膜连通孔传感器外部环境防尘防尘网基板壳体传感器检测准确度表面沉积表面设置防尘功能感测单元激光打孔灵敏度盖合制作连通测量体内保证

[实用新型]一种嵌入式基板和电子设备-CN201920614945.0有效
发明人： 蔡孟锦;端木鲁玉 -专利权人：青岛歌尔微电子研究院有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： H05K1/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种嵌入式基板和电子设备。其中，嵌入式基板包括具有多个结构层的基板主体、以及多个埋设在所述基板主体内部的内嵌器件；所述内嵌器件至少包括电阻、电容或电感中的一种，所述内嵌器件具有能够减薄的衬底，多个所述内嵌器件设置在所述基板主体内部的同一层且多个所述内嵌器件厚度相同。本实用新型在嵌入式基板在生产制作时更加易于生产。
内嵌基板主体嵌入式基板本实用新型电感电子设备器件设置结构层同一层衬底电阻减薄生产制作

[发明专利]防尘结构及其制作方法-CN201911034115.1在审
发明人： 蔡孟锦 -专利权人：青岛歌尔微电子研究院有限公司
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： G01D11/24 文献下载
摘要：本发明公开一种防尘结构及其制作方法、防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：提供基板，在基板的一表面设置离型膜；在离型膜的表面沉积形成金属层；通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。本发明技术方案旨在使防尘结构具有较好的防尘功能，并且能使被防尘的传感器与外部环境连通，保证传感器检测灵敏度和测量的准确度。
防尘结构防尘部金属层离型膜连通孔传感器外部环境防尘防尘网基板壳体传感器检测准确度表面沉积表面设置防尘功能感测单元光刻工艺灵敏度盖合制作连通测量体内保证

[发明专利]一种晶圆的加工方法-CN201611104653.X有效
发明人：詹竣凯;周宗燐;邱冠勋;蔡孟锦 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2016-12-05 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆的加工方法，在第一衬底的第一端面上进行图形化处理，形成结构层、光刻胶涂层，并在所述光刻胶涂层上定义出对准标识孔；在对准标识孔的区域对结构层、第一衬底进行蚀刻，使得对准标识孔一直延伸至第一衬底上；将第一衬底设置有结构层的一面与第二衬底粘接在一起；对第一衬底的第二端面进行减薄处理，且对准标识孔从第一衬底的第二端面露出；e)通过该对准标识孔进行定位。在两个晶圆粘接前，预先在其中一个晶圆上嵌埋预定深度的对准标识孔，待两个晶圆粘接后，通过研磨制程将晶圆加工至预定的厚度，并通过露出的对准标识孔进行第二次定位，使得可以采用原有的设备对晶圆的表面进行高精度的加工。
一种加工方法

[实用新型]一种光学传感器和电子设备-CN201920627792.3有效
发明人： 蔡孟锦 -专利权人：青岛歌尔微电子研究院有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： H01L25/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光学传感器和电子设备。其中，光学传感器包括基板以及设置在所述基板上的发光芯片、处理芯片和感光芯片，所述发光芯片和所述感光芯片分别与所述处理芯片电连接；还包括金属壳体，所述金属壳体设置在所述基板上与所述基板围合成一个腔体；所述发光芯片、处理芯片和感光芯片位于所述腔体内；在所述金属壳体与所述发光芯片对应的位置处开设有使得所述发光芯片发出的光线能够穿过的第一通孔，在所述金属壳体与所述感光芯片对应的位置处开设有使得所述感光芯片能够接收外界光线的第二通孔。本实用新型的壳体既能够提供机械防护，也能够提供电磁屏蔽。
发光芯片感光芯片金属壳体基板处理芯片本实用新型光学传感器位置处通孔电磁屏蔽电子设备机械防护外界光线电连接围合成壳体腔体穿过体内

[发明专利]传感器组件和可穿戴设备-CN201910812229.8在审
发明人： 蔡孟锦 -专利权人：青岛歌尔微电子研究院有限公司
申请日： 2019-08-30 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本发明公开一种传感器组件和可穿戴设备，该传感器组件包括双面电路板；控制器，所述控制器设于所述双面电路板的一表面；脉搏传感器、心电图传感器和惯性传感器，所述惯性传感器、所述脉搏传感器和所述心电图传感器均与所述双面电路板电性连接，所述心电图传感器具有与所述双面电路板电性连接的传感芯片，所述传感芯片、所述脉搏传感器和所述惯性传感器的至少一个，设于所述双面电路板背离所述控制器的表面。本发明技术方案旨在提高智能穿戴设备的功能。
双面电路板心电图传感器惯性传感器脉搏传感器控制器传感器组件传感芯片电性连接可穿戴设备穿戴设备背离智能

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