“崔成君”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果39个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一维标准器长度测量误差标定装置及长度测量方法-CN202210396042.6在审
发明人：王国名;朱志忠;崔成君;董登峰;王博;周维虎;石俊凯;程智;梅东滨 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一维标准器长度测量误差标定装置和长度测量方法，一维标准器长度测量误差标定装置包括激光测距光路和PSD探测光路；激光测距光路包括沿着光路方向依次设置的第一激光管、第一APD探测器、合束器、准直器、第一分光棱镜、分色镜以及设置于分色镜的反射端的第二APD探测器；PSD探测光路包括沿着光路方向依次设置的第二激光管，合束器、准直器、第一分光棱镜、分色镜和以及设置于分色镜的透射端的PSD；激光测距光路用于测量复合靶镜在第一指定方向的位移量；PSD探测光路用于测量复合靶镜在第二指定方向的位移量和/或者复合靶镜的偏转角度。本发明可以消除精密测量过程中激光器受热量影响带来的位置漂移与角度漂移。
标准长度测量误差标定装置测量方法

[发明专利]用于激光跟踪仪的跟踪恢复偏转角的标定装置及方法-CN202310850327.7在审
发明人：张佳;王博;董登峰;郝灿;崔成君;程智;王国名;邱启帆;纪荣祎;高豆豆;赵天元;王正;王颖 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-07-12 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于激光跟踪仪的跟踪恢复偏转角的标定装置，包括：基座，被构造成能够在水平面上移动；换向部，可拆卸地安装在基座上；以及标定部，安装在换向部上并具有多个在标定方向上依次布置的标定位置，标定部被构造成通过改变换向部与基座之间的安装位置关系而调整标定部与基座之间的相对位置，使得标定部的标定方向能够垂直于基座的直立方向或者平行于基座的直立方向，以分别标定激光跟踪仪的方位偏转角与像素偏差值之间的关系以及俯仰偏转角与像素偏差值之间的关系。
用于激光跟踪恢复偏转标定装置方法

[发明专利]精密转台误差测量装置-CN202210381695.7在审
发明人：王国名;王博;程智;石俊凯;崔成君;董登峰;朱志忠;周维虎;梅东滨 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明提供一种精密转台误差测量装置，包括：两个复合靶标，用于分别设置在待测转台的两个旋转轴上；每个所述复合靶标能对第一波长激光进行镜面反射和对第二波长激光进行角锥反射器反射；两个测量组件，用于分别对应两个复合靶标设置；所述测量组件能向对应的复合靶标发射具有第一波长激光和第二波长激光的测量光束，接收对应复合靶标反射的第一波长激光并标定对应旋转轴的角度，接收对应复合靶标反射的第二波长激光并标定对应旋转轴的位移。本发明提供的精密转台误差测量装置，采用双站基准，由两个测量组件搭建垂直度和相交度测量基准，能够实现待测二维转台垂直度和相交度误差的一站式高精度检测，解决垂直度和相交度分离测量时过程误差不可控难题。
精密转台误差测量装置

[发明专利]一种基于双二维位置敏感探测器的高精度姿态测量系统-CN202110285345.6有效
发明人：董登峰;高豆豆;崔成君;王国名;朱志忠;高兴华;程智;张滋黎;王颖;李洋;张佳;朱雅庆;周道德;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-03-17 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01C1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于双二维位置敏感探测器的高精度姿态测量系统，该高精度姿态测量系统结合位置敏感探测器实现被测物的姿态测量，与常用视觉测量方法相比，因为PSD位置敏感探测器体积小、响应快、精度高、无死区等优点，使本发明提供的高精度姿态测量系统不再受限于复杂环境的影响，结构简单，算法简单，可同时提高姿态测量的精度与速度。
一种基于二维位置敏感探测器高精度姿态测量系统

[发明专利]一种激光跟踪仪跟踪能力测试装置及方法-CN201710061546.1有效
发明人：董登峰;王岩庆;程智;崔成君;周维虎;张明玉;王博;张滋黎;劳达宝;纪荣祎;袁江;王国名;石俊凯 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2017-01-26 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：本发明涉及仪器检测技术领域，尤其涉及一种激光跟踪仪跟踪能力测试装置及方法，其装置包括一维跟踪能力测试模块，所述一维跟踪能力测试模块包括长直线电机平台和短直线电机平台，所述长直线电机平台上设有长直线导轨，所述长直线导轨上滑动连接所述短直线电机平台，所述短直线电机平台上设有与所述长直线导轨垂直的短直线导轨，所述短直线导轨上滑动连接设有靶球的固定座；所述长直线电机平台和所述短直线电机平台均与控制单元连接。本发明可以产生不同半径的标准圆弧，在进行一维跟踪能力测试过程中，实现合作目标可变半径的标准圆弧轨迹，为评价激光跟踪仪提供更加有效的决策数据。
一种激光跟踪能力测试装置方法

[发明专利]显微视觉入射光角度标定方法-CN202111617952.4在审
发明人：张滋黎;孟繁昌;纪荣祎;崔成君;王国名;石俊凯;潘映伶;王博;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明提供一种显微视觉入射光角度标定方法，包括固定线结构光光源与显微图像采集单元，二者相对位置固定；计算显微图像采集单元放大倍率；设置标定块使线结构光光源发射的线结构光经标定块反射后被显微图像采集单元采集；移动标定块使线结构光投射到第一平面，第一平面反射后被显微图像采集单元采集，在显微图像采集单元像平面上得到第一线结构光像；在同一水平面内移动标定块，使得线结构光投射到第二平面，第二平面反射后被显微图像采集单元采集，在显微图像采集单元像平面上得到第二线结构光像；计算第一线结构光像与第二线结构光像的像间距；计算显微视觉入射光角度。本发明装置制备简单，标定流程简单，可快速完成结构光入射角度的标定。
显微视觉入射角度标定方法

[发明专利]提升鉴相精度的欠采样频率选取方法-CN202110427489.0有效
发明人：潘映伶;纪荣祎;张滋黎;董登峰;孟繁昌;崔成君;张佳;袁江;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01S17/36 文献下载
摘要：本公开提供一种提升鉴相精度的欠采样频率选取方法，包括：设定待采信号参数；设定欠采样参数；根据欠采样的采样位置与待采信号的相对关系进行采样；以及确认最终欠采样频率，从而提升鉴相精度。所述设定待采信号参数包括设定待采信号频率f。所述设定欠采样参数包括设定欠采样频率为fs。所述欠采样频率fs满足能够满足欠采样的有效性，其中n为正整数，f为待采信号频率。通过上述方法能够缓解现有技术中因欠采样频率的选取导致的的鉴相精度较差等技术问题。
提升精度采样频率选取方法

[发明专利]激光跟踪位姿测量靶标装置及方法、隐藏点测量装置-CN202211495984.6在审
发明人： 崔成君;董登峰;王博;朱志忠;程智;高豆豆;李洋;王国名;张滋黎;周维虎;王宇 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G01S17/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光跟踪位姿测量靶标装置，应用于几何测量技术领域，包括：呈凸台状的靶标腔体，具有凸台上表面和凸台下表面，反射器支座，设置于所述靶标腔体的所述凸台的中心位置处，光学逆反射器，设置于所述反射器支座上，至少两对特征点光源，设置于所述凸台上表面和所述凸台下表面，且每对所述特征点光源均相对于所述光学逆反射器中心对称分布，至少一个漫反射片，每个所述漫反射片均安装于一所述特征点光源的出光口位置处。本发明还提供了一种六自由度激光跟踪位姿测量方法、隐藏点测量装置，可配合激光跟踪仪实现空间三维坐标、三维姿态角以及隐藏点位置测量。
激光跟踪测量靶标装置方法隐藏

[实用新型]激光跟踪位姿测量靶标及隐藏点测量装置-CN202223149326.X有效
发明人： 崔成君;董登峰;王博;朱志忠;程智;高豆豆;李洋;王国名;张滋黎;周维虎;王宇 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种激光跟踪位姿测量靶标装置，应用于几何测量技术领域，包括：呈凸台状的靶标腔体，具有凸台上表面和凸台下表面，反射器支座，设置于所述靶标腔体的所述凸台的中心位置处，光学逆反射器，设置于所述反射器支座上，至少两对特征点光源，设置于所述凸台上表面和所述凸台下表面，且每对所述特征点光源均相对于所述光学逆反射器中心对称分布，至少一个漫反射片，每个所述漫反射片均安装于一所述特征点光源的出光口位置处。可配合激光跟踪仪实现空间三维坐标、三维姿态角以及隐藏点位置测量。
激光跟踪测量靶标隐藏装置

[实用新型]激光跟踪仪姿态测量校准装置-CN202221782928.6有效
发明人：张刘港;高豆豆;董登峰;崔成君;周培松;蒋海涛;敖俊姣;甘晓旺;王国名;王博;朱志忠;程智;李洋;高超 -专利权人：海宁中科宏微科技有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种激光跟踪仪姿态测量校准装置。该装置包括姿态测量靶标和二维精密转台；所述二维精密转台包括转台主体、俯仰轴和横滚轴，所述俯仰轴转动连接于所述转台主体的上方，所述横滚轴的一端转动连接于所述俯仰轴，所述姿态测量靶标连接于所述横滚轴的另一端；所述横滚轴和所述俯仰轴沿轴向相互垂直。本实用新型有效地降低了精密转台的设计要求，降低了制造成本，减少了转台的误差传递链，并提高了二维精密转台的测量精度和稳定性。
激光跟踪姿态测量校准装置

[发明专利]激光跟踪仪姿态测量校准装置及方法-CN202210804178.6在审
发明人：张刘港;高豆豆;董登峰;崔成君;周培松;蒋海涛;敖俊姣;甘晓旺;王国名;王博;朱志忠;程智;李洋;高超 -专利权人：海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本申请提供一种激光跟踪仪姿态测量校准装置及方法。该装置包括姿态测量靶标和二维精密转台；所述二维精密转台包括转台主体、俯仰轴和横滚轴，所述俯仰轴转动连接于所述转台主体的上方，所述横滚轴的一端转动连接于所述俯仰轴，所述姿态测量靶标连接于所述横滚轴的另一端；所述横滚轴和所述俯仰轴沿轴向相互垂直。该方法通过二维精密转台的俯仰轴和横滚轴带动姿态测量靶标转动，将姿态测量靶标的俯仰和水平方向进行置换，实现了激光跟踪仪水平方向的姿态角测试，从而实现了激光跟踪仪的三维姿态测量校准。本申请有效地降低了精密转台的设计要求，降低了制造成本，减少了转台的误差传递链，并提高了二维精密转台的测量精度和稳定性。
激光跟踪姿态测量校准装置方法

[发明专利]激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统-CN202211044029.0在审
发明人：张滋黎;王珊;孟繁昌;王国名;崔成君;纪荣祎;潘映伶;王博;张佳;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提出一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统，方法包括：在俯仰轴两端分别设置第一检棒及第二检棒，其中，第一检棒及第二检棒为具有母线及轴的旋转体，母线为直线，轴与俯仰轴的中心轴线重合；旋转方位轴，分别获取第一检棒及第二检棒在平行光照射下得到的阴影图案，其中，平行光的照射方向与方位轴的轴线平行，阴影图案呈现在第一接收平面上；根据阴影图案确定第一检棒与第二检棒的轴线间距；根据第一检棒及第二检棒的轴线间距确定激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差。本发明方法测量流程简单，测量精度高，可以满足激光跟踪仪轴系相交度误差高精度检测的需求。
激光跟踪俯仰方位相交误差检测方法系统

[发明专利]一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置-CN202211029150.6在审
发明人：王珊;张滋黎;孟繁昌;纪荣祎;王国名;崔成君;潘映伶;张佳;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本公开提供了一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置，包括：第一圆柱体检棒、第二圆柱体检棒以及投影图像测量仪；第一圆柱体检棒及第二圆柱体检棒分别设置于激光跟踪仪两侧的俯仰轴上；投影图像测量仪包括：发射器和接收器，第一圆柱体检棒设置于发射器及接收器之间；发射器用于发射LED光照射至第一圆柱体检棒上，接收器用于显示LED光被第一圆柱体检棒或第二圆柱体检棒部分遮挡后形成的光影，以得到第一圆柱体检棒及第二圆柱体检棒的中心轴线位置；根据第一圆柱体检棒及第二圆柱体检棒的中心轴线位置偏差及检测端面距离，得到激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差。本公开还提供了一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测方法。
一种激光跟踪俯仰方位垂直误差检测装置

[发明专利]平顶微凸点高度测量装置及测量方法-CN202110477512.7在审
发明人：孟繁昌;张滋黎;王棚;纪荣祎;潘映伶;崔成君;程智;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01S17/48 文献下载
摘要：本公开提供了一种平顶微凸点高度测量装置及测量方法，平顶微凸点高度测量装置包括：平顶微凸点，设置在晶圆表面上；光源系统，光源系统输出端与晶圆表面相对；光源系统输出光条投射至晶圆表面上；驱动平台，晶圆设置在驱动平台上，驱动平台按照预定路线移动，晶圆随驱动平台移动；成像系统，接收光条投射到晶圆表面形成的反射光，根据反射光合成数字图像并输出；运算平台，接收成像系统输出的数字图像，通过对数字图像处理确定平顶微凸点的高度。本公开中的平顶微凸点高度测量装置具有结构简单、易操作，能够实现高度为100微米以下的平顶微凸点的测量，实现了平顶微凸点的高精度测量。
平顶微凸点高度测量装置测量方法

[发明专利]测量球形微凸点高度的装置、方法、电子设备和存储介质-CN202110477661.3在审
发明人：孟繁昌;张滋黎;王棚;纪荣祎;王国名;崔成君;张佳;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G06T7/60 文献下载
摘要：本公开提供了一种测量球形微凸点高度的装置和方法，该装置包括：运动平台、照明模块、成像模块、控制和运算中心。将衬底固定在运动平台上；打开照明模块并将平行光束投射到衬底表面；控制和运算中心控制运动平台按照预设轨迹运动；成像模块采集经球形微凸点反射后的平行光束并生成图像；控制和运算中心获取图像并根据图像计算球形微凸点的高度。本公开通过分析球形微凸点位于不同位置时的光照模型，总结出测量球形微凸点过程中相对不变特征，建立了球形微凸点高度视觉测量模型，能够实现高精度球形微凸点高度测量。并且本公开提出的球形微凸点高度测量模型适用于绝大部分芯片封装过程中微凸点类型，满足了芯片封装过程中微凸点检测需求。
测量球形微凸点高度装置方法电子设备存储介质

1
2
3
下一页»
尾页
共 39 条