专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]精密转台误差测量装置-CN202210381695.7在审
  • 王国名;王博;程智;石俊凯;崔成君;董登峰;朱志忠;周维虎;梅东滨 - 中国科学院微电子研究所
  • 2022-04-12 - 2023-10-24 - G01C25/00
  • 本发明提供一种精密转台误差测量装置,包括:两个复合靶标,用于分别设置在待测转台的两个旋转轴上;每个所述复合靶标能对第一波长激光进行镜面反射和对第二波长激光进行角锥反射器反射;两个测量组件,用于分别对应两个复合靶标设置;所述测量组件能向对应的复合靶标发射具有第一波长激光和第二波长激光的测量光束,接收对应复合靶标反射的第一波长激光并标定对应旋转轴的角度,接收对应复合靶标反射的第二波长激光并标定对应旋转轴的位移。本发明提供的精密转台误差测量装置,采用双站基准,由两个测量组件搭建垂直度和相交度测量基准,能够实现待测二维转台垂直度和相交度误差的一站式高精度检测,解决垂直度和相交度分离测量时过程误差不可控难题。
  • 精密转台误差测量装置
  • [发明专利]一种激光干涉仪调整座-CN201510354160.0有效
  • 梅东滨;齐威;齐月静;杨光华;李兵 - 中国科学院光电研究院
  • 2015-06-24 - 2018-09-14 - G01J9/02
  • 本发明公开了本一种激光干涉仪调整座,用于固定激光干涉仪的探头并调节该探头的位置,调整座包括导向底板、下层弧形构件、上层弧形构件及压紧件;其中,导向底板上自下而上依次叠置下层弧形构件和上层弧形构件;导向底板为平板结构,下层弧形构件的底面为平面,下层弧形构件的上表面为下凹的圆柱面,上层弧形构件的下表面为下凸的圆柱面,且上层弧形构件的下表面与下层弧形构件的上表面相配合;紧压件包括压板及拉簧,用于将下层弧形构件和上层弧形构件向导向底板压紧,压板位于上层弧形构件的上方,拉簧的两端分别连接压板及导向底板。本发明提供的激光干涉仪调整座无需移动干涉仪探头,就可以调整激光干涉仪俯仰和平移。
  • 一种激光干涉仪调整
  • [发明专利]一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法-CN201510264841.8有效
  • 卢增雄;梅东滨;齐月静;孟庆宾;刘广义;齐威;苏佳妮;周翊;王宇 - 中国科学院光电研究院
  • 2015-05-22 - 2017-06-20 - G01J1/00
  • 本发明是关于一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法,是采用夏克‑哈特曼波前传感器法进行微孔衍射波前质量的测量。其通过高精度平面参考波前实现夏克‑哈特曼波前传感器的高精度标定,再根据高精度系统误差的标定结果进行微孔衍射波前形状的精确测量,将微孔衍射波前形状与最佳参考球比较便可求得微孔衍射波前的偏差,只需要在标定装置的基础上直接加入聚焦物镜和微孔,便可实现微孔衍射波前质量的测量,操作简便,引入的系统误差较小且容易实现系统误差的高精度标定。其中微孔板引入的球差可通过聚焦物镜进行补偿,并且通过调整夏克‑哈特曼波前传感器到微孔的距离便可实现不同数值孔径大小的衍射波前质量的快速高精度的测量。
  • 一种微孔衍射质量测量装置方法
  • [实用新型]一种激光干涉仪调整装置-CN201520438989.4有效
  • 梅东滨;齐威;齐月静;杨光华;李兵 - 中国科学院光电研究院
  • 2015-06-24 - 2015-11-25 - G02B7/00
  • 本实用新型公开了本一种激光干涉仪调整装置,用于固定激光干涉仪的探头并调节该探头的位置,调整装置包括导向底板、下层弧形构件及上层弧形构件;其中,导向底板上自下而上依次叠置下层弧形构件和上层弧形构件;导向底板为平板结构,下层弧形构件的底面为平面,下层弧形构件的上表面为下凹的圆柱面,上层弧形构件的下表面为下凸的圆柱面,并与下层弧形构件的上表面相配合。本实用新型提供的激光干涉仪调整装置无需移动干涉仪探头,就可以调整激光干涉仪俯仰和平移。
  • 一种激光干涉仪调整装置
  • [实用新型]一种微孔衍射波前质量的测量装置-CN201520337327.8有效
  • 卢增雄;梅东滨;齐月静;孟庆宾;刘广义;齐威;苏佳妮;周翊;王宇 - 中国科学院光电研究院
  • 2015-05-22 - 2015-11-18 - G01J1/00
  • 本实用新型是关于一种微孔衍射波前质量的测量装置,是采用夏克-哈特曼波前传感器法进行微孔衍射波前质量的测量。其通过高精度平面参考波前实现夏克-哈特曼波前传感器的高精度标定,再根据高精度系统误差的标定结果进行微孔衍射波前形状的精确测量,将微孔衍射波前形状与最佳参考球比较便可求得微孔衍射波前的偏差,只需要在标定装置的基础上直接加入聚焦物镜和微孔,便可实现微孔衍射波前质量的测量,操作简便,引入的系统误差较小且容易实现系统误差的高精度标定。其中微孔板引入的球差可通过聚焦物镜进行补偿,并且通过调整夏克-哈特曼波前传感器到微孔的距离便可实现不同数值孔径大小的衍射波前质量的快速高精度的测量。
  • 一种微孔衍射质量测量装置

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