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[发明专利]一维标准器长度测量误差标定装置及长度测量方法-CN202210396042.6在审
发明人：王国名;朱志忠;崔成君;董登峰;王博;周维虎;石俊凯;程智;梅东滨 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一维标准器长度测量误差标定装置和长度测量方法，一维标准器长度测量误差标定装置包括激光测距光路和PSD探测光路；激光测距光路包括沿着光路方向依次设置的第一激光管、第一APD探测器、合束器、准直器、第一分光棱镜、分色镜以及设置于分色镜的反射端的第二APD探测器；PSD探测光路包括沿着光路方向依次设置的第二激光管，合束器、准直器、第一分光棱镜、分色镜和以及设置于分色镜的透射端的PSD；激光测距光路用于测量复合靶镜在第一指定方向的位移量；PSD探测光路用于测量复合靶镜在第二指定方向的位移量和/或者复合靶镜的偏转角度。本发明可以消除精密测量过程中激光器受热量影响带来的位置漂移与角度漂移。
标准长度测量误差标定装置测量方法

[发明专利]精密转台误差测量装置-CN202210381695.7在审
发明人：王国名;王博;程智;石俊凯;崔成君;董登峰;朱志忠;周维虎;梅东滨 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明提供一种精密转台误差测量装置，包括：两个复合靶标，用于分别设置在待测转台的两个旋转轴上；每个所述复合靶标能对第一波长激光进行镜面反射和对第二波长激光进行角锥反射器反射；两个测量组件，用于分别对应两个复合靶标设置；所述测量组件能向对应的复合靶标发射具有第一波长激光和第二波长激光的测量光束，接收对应复合靶标反射的第一波长激光并标定对应旋转轴的角度，接收对应复合靶标反射的第二波长激光并标定对应旋转轴的位移。本发明提供的精密转台误差测量装置，采用双站基准，由两个测量组件搭建垂直度和相交度测量基准，能够实现待测二维转台垂直度和相交度误差的一站式高精度检测，解决垂直度和相交度分离测量时过程误差不可控难题。
精密转台误差测量装置

[发明专利]一种基于双二维位置敏感探测器的高精度姿态测量系统-CN202110285345.6有效
发明人：董登峰;高豆豆;崔成君;王国名;朱志忠;高兴华;程智;张滋黎;王颖;李洋;张佳;朱雅庆;周道德;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-03-17 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01C1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于双二维位置敏感探测器的高精度姿态测量系统，该高精度姿态测量系统结合位置敏感探测器实现被测物的姿态测量，与常用视觉测量方法相比，因为PSD位置敏感探测器体积小、响应快、精度高、无死区等优点，使本发明提供的高精度姿态测量系统不再受限于复杂环境的影响，结构简单，算法简单，可同时提高姿态测量的精度与速度。
一种基于二维位置敏感探测器高精度姿态测量系统

[发明专利]目标物体的姿态测量方法-CN202310866222.0在审
发明人：邱启帆;周维虎 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01C23/00 文献下载
摘要：本公开提供一种目标物体的姿态测量方法，其包括：在初始状态下，开孔角锥棱镜的中心孔接近PSD探测器的一端与PSD探测器的距离为h，激光束正入射时在PSD探测器上形成光斑的标定坐标，并记录二维运动平台的标定坐标；当目标物体的姿态发生变化后，激光束的部分激光通过中心孔照射至PSD探测器，形成新的光斑；以及判断新的光斑是否在PSD探测器的中心位置或者附近，如果新的光斑未在PSD探测器的中心位置或者附近，驱动二维运动平台动作，使得新的光斑趋近于PSD探测器的中心位置或附近，记录光斑的当前坐标，以及二维运动平台的当前坐标；并获得目标物体的姿态。
目标物体姿态测量方法

[发明专利]一种动态过焦扫描成像的方法及系统-CN202310759975.1在审
发明人：刘立拓;宋晓娇;王娜;王盛阳;王驾驭;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明涉及一种动态过焦扫描成像的方法，属于光学显微成像技术领域，解决了现有过焦扫描成像方法当沿Z轴进行扫描时，X轴/Y轴是静止的，检测效率低的问题。该方法包括：设置扫描成像的离焦范围；使样品沿Z轴在离焦范围内连续周期性移动的同时使样品相对于面阵相机沿X轴/Y轴连续移动；Z轴、X轴/Y轴的移动速度大小满足当Z轴移动距离SZ时X轴/Y轴恰好移动一个像素，每当Z轴移动距离SZ时面阵相机拍照记录该位置的物面信息；直至扫描完样品的X轴/Y轴，完成一次扫描；使样品沿Y轴/X轴移动到下一相机视场范围，并沿X轴/Y轴继续进行扫描，直至扫描完整个样品；对获取的扫描成像数据进行处理，获得每一个X轴/Y轴位置处沿Z轴的最终扫描成像数据。
一种动态扫描成像方法系统

[发明专利]一种激光跟踪仪跟踪能力测试装置及方法-CN201710061546.1有效
发明人：董登峰;王岩庆;程智;崔成君;周维虎;张明玉;王博;张滋黎;劳达宝;纪荣祎;袁江;王国名;石俊凯 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2017-01-26 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：本发明涉及仪器检测技术领域，尤其涉及一种激光跟踪仪跟踪能力测试装置及方法，其装置包括一维跟踪能力测试模块，所述一维跟踪能力测试模块包括长直线电机平台和短直线电机平台，所述长直线电机平台上设有长直线导轨，所述长直线导轨上滑动连接所述短直线电机平台，所述短直线电机平台上设有与所述长直线导轨垂直的短直线导轨，所述短直线导轨上滑动连接设有靶球的固定座；所述长直线电机平台和所述短直线电机平台均与控制单元连接。本发明可以产生不同半径的标准圆弧，在进行一维跟踪能力测试过程中，实现合作目标可变半径的标准圆弧轨迹，为评价激光跟踪仪提供更加有效的决策数据。
一种激光跟踪能力测试装置方法

[发明专利]用于位移测量系统的电光相位调制器及位移测量系统-CN202310304061.6在审
发明人：高超;董登峰;周维虎;纪荣祎;石俊凯;潘映伶 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G02F1/03 文献下载
摘要：本公开提出了一种用于位移测量系统的电光相位调制器及位移测量系统。该电光相位调制器，包括：壳体，内置有容纳空间，壳体上开设有入射口和出射口，偏振测量光由入射口射入容纳空间；调制晶体，设置在容纳空间内，被配置为调制来自入射口的偏振测量光，偏振测量光的偏振方向与调制晶体的调制电场方向成45°；以及四分之一波片，位于调制晶体和出射口之间，四分之一波片的光轴与调制晶体的调制电场方向成45°，偏振测量光经四分之一波片后由出射口射出至待测物上，待测物将偏振测量光经由四分之一波片反射回调制晶体，使得反射回调制晶体的偏振测量光与由入射口射入调制晶体的偏振测量光的偏振分量方向变化90°。
用于位移测量系统电光相位调制器

[发明专利]显微视觉入射光角度标定方法-CN202111617952.4在审
发明人：张滋黎;孟繁昌;纪荣祎;崔成君;王国名;石俊凯;潘映伶;王博;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明提供一种显微视觉入射光角度标定方法，包括固定线结构光光源与显微图像采集单元，二者相对位置固定；计算显微图像采集单元放大倍率；设置标定块使线结构光光源发射的线结构光经标定块反射后被显微图像采集单元采集；移动标定块使线结构光投射到第一平面，第一平面反射后被显微图像采集单元采集，在显微图像采集单元像平面上得到第一线结构光像；在同一水平面内移动标定块，使得线结构光投射到第二平面，第二平面反射后被显微图像采集单元采集，在显微图像采集单元像平面上得到第二线结构光像；计算第一线结构光像与第二线结构光像的像间距；计算显微视觉入射光角度。本发明装置制备简单，标定流程简单，可快速完成结构光入射角度的标定。
显微视觉入射角度标定方法

[发明专利]基于显著性基元和拓扑关系不变性的遮挡目标定位方法-CN202310118388.4在审
发明人：郝灿;刘彤;王颖;王博;钟正阳;周维虎;董登峰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-02-03 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G06V10/22 文献下载
摘要：本发明提供一种基于显著性基元和拓扑关系不变性的遮挡目标定位方法，涉及机器视觉和目标定位技术领域。该方法包括：步骤S1，对原始的三维点云数据进行预处理，得到待测三维点云；步骤S2，基于多次RANSAC算法检测所述待测三维点云数据中多个同一类型的基本几何基元；步骤S3，对于所述多个同一类型的基本几何基元，利用显著性计算方法确定显著性最大几何基元；步骤S4，根据所述显著性最大几何基元与遮挡目标之间的空间拓扑关系不变性，定位被遮挡目标。本发明简单高效，不易误识别；可以实现遮挡目标的准确定位，定位速度更快。
基于显著性基元拓扑关系不变性遮挡目标定位方法

[发明专利]基于声光调制器的过焦扫描显微系统及测量方法-CN202111327686.1在审
发明人：霍树春;石俊凯;陈晓梅;李冠楠;姜行健;高超;刘立拓;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-11-10 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种基于声光调制器的过焦扫描显微系统及测量方法。该扫描显微系统包括：光源模块、分光模块、样品台、采集模块和测量模块。光源模块包括声光调制器，用于产生一系列波长可调的单色准直照明光束；分光模块用于将所述单色准直照明光束分为第一照明光束和第二照明光束；样品台用于固定待测样品并实现待测样品的显微对焦；采集模块用于采集光束从正面和背面照射至所述待测样品后形成的显微图像；测量模块，用于测量所述第一照明光束的波长值，并传送给外部上位机，由外部上位机反馈调控所述光源模块中声光调制器的控制参数，使所述光源模块输出设定波长的单色准直照明光束。
基于声光调制器扫描显微系统测量方法

[发明专利]定位装置及方法-CN202111297141.0在审
发明人：霍树春;石俊凯;高超;陈晓梅;李冠楠;姜行健;刘立拓;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本公开提供一种定位装置及方法，装置包括：采集模块(A)，用于产生照明光；调光模块(B)，用于对照明光进行分束，产生基准光和测量光；传感模块(C)，包括参考反射器(4)和测量反射器(5)，参考反射器(4)被配置成设于待测装置的固定基座上，以用于反射基准光，得到基准反射光，测量反射器(5)被配置成设于待测装置的移动部件上，以用于反射测量光，得到测量反射光；其中，调光模块(B)还用于对基准反射光与测量反射光进行合束，得到合束光；采集模块(A)还用于测量合束光的光谱数据，并输出光谱数据来定位移动部件。本公开的定位装置，测量分辨力可达埃米，系统结构简单，组装、操作方便，适用于多种测量场景。
定位装置方法

[发明专利]凸点高度测量装置及测量方法-CN202211703732.8在审
发明人：张滋黎;孟繁昌;石俊凯;程智;王博;张佳;朱志忠;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种凸点高度测量装置及测量方法，涉及光学测量技术领域。该装置包括：光源模块，用于输出光条并将光条从‑45°方向倾斜照射至球形微凸点和相邻基底面，照射至球形微凸点和相邻基底面上的光条被球形微凸点顶部部分区域和相邻基底面反射；接收器，用于接收被相邻基底面反射后的第一光束，以及由球形微凸点顶部部分区域反射后的第二光束；设置于接收器的成像平面上的图像探测器，用于对第一光束和第二光束进行成像，第一光束和第二光束在图像探测器上分别形成长条形亮斑和圆形光斑。本发明可以计算出凸点顶部距离基底面的高度值，实现凸点高度的精确测量。
高度测量装置测量方法

[发明专利]提升鉴相精度的欠采样频率选取方法-CN202110427489.0有效
发明人：潘映伶;纪荣祎;张滋黎;董登峰;孟繁昌;崔成君;张佳;袁江;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01S17/36 文献下载
摘要：本公开提供一种提升鉴相精度的欠采样频率选取方法，包括：设定待采信号参数；设定欠采样参数；根据欠采样的采样位置与待采信号的相对关系进行采样；以及确认最终欠采样频率，从而提升鉴相精度。所述设定待采信号参数包括设定待采信号频率f。所述设定欠采样参数包括设定欠采样频率为fs。所述欠采样频率fs满足能够满足欠采样的有效性，其中n为正整数，f为待采信号频率。通过上述方法能够缓解现有技术中因欠采样频率的选取导致的的鉴相精度较差等技术问题。
提升精度采样频率选取方法

[发明专利]激光跟踪位姿测量靶标装置及方法、隐藏点测量装置-CN202211495984.6在审
发明人：崔成君;董登峰;王博;朱志忠;程智;高豆豆;李洋;王国名;张滋黎;周维虎;王宇 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G01S17/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光跟踪位姿测量靶标装置，应用于几何测量技术领域，包括：呈凸台状的靶标腔体，具有凸台上表面和凸台下表面，反射器支座，设置于所述靶标腔体的所述凸台的中心位置处，光学逆反射器，设置于所述反射器支座上，至少两对特征点光源，设置于所述凸台上表面和所述凸台下表面，且每对所述特征点光源均相对于所述光学逆反射器中心对称分布，至少一个漫反射片，每个所述漫反射片均安装于一所述特征点光源的出光口位置处。本发明还提供了一种六自由度激光跟踪位姿测量方法、隐藏点测量装置，可配合激光跟踪仪实现空间三维坐标、三维姿态角以及隐藏点位置测量。
激光跟踪测量靶标装置方法隐藏

[发明专利]测量硅通孔三维轮廓的方法、装置、电子设备和存储介质-CN202111155704.2在审
发明人：石俊凯;李冠楠;陈晓梅;姜行健;高超;霍树春;刘立拓;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本公开提出了一种测量硅通孔的三维轮廓的方法，该方法包括：将预设光谱范围内的激光分为第一激光束和第二激光束；将第一激光束照射到硅通孔上得到漫反射光；将第二激光束照射到反射装置上得到反射光；将漫反射光和反射光合为干涉光；将干涉光分为第三激光束和第四激光束；探测第三激光束得到干涉光的光强信号；探测第四激光束得到干涉光的光谱信号；记录光强信号和光谱信号；调整待测样品或反射装置的位置，重复执行将第一激光束照射到硅通孔上的步骤，直至硅通孔的每一待测层的光强信号和光谱信号均被记录；将硅通孔的每一待测层的光强信号和光谱信号输入预先训练完成的机器学习模型，利用机器学习模型计算硅通孔的三维轮廓。
测量硅通孔三维轮廓方法装置电子设备存储介质

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