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[发明专利]一种晶圆沟道的直写填充装备-CN202310468649.5在审
发明人： 尹周平;吴豪;徐洲龙;谢斌 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆沟道的直写填充装备，属于晶圆沟道填充设备技术领域，包括有工作台、机架、移动载物台、十字模组、激光检测系统、视觉实时监控系统、直写填充装置、填充视觉监测系统；所述十字模组安装在所述机架上；所述移动载物台位于所述工作台上，带动晶圆运动至直写填充位置；所述视觉实时监控系统用于对沟道的填充过程进行实时监控；所述直写填充装置用于对晶圆沟道进行直写填充；所述填充视觉监测系统用于监测所述直写填充装置的填充高度。本发明提供的晶圆沟道的直写填充装备，自动化程度高，减少了填充材料的使用量，减少了打磨面积，提高了生产效率，节约了生产成本。
一种沟道填充装备

[发明专利]一种基于气动直写工艺的晶圆浅沟道聚合物填充固化方法-CN202310255469.9有效
发明人：吴豪;王书典;尹周平;谢斌;徐洲龙 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：本发明属于半导体器件制造技术领域，公开了一种基于气动直写工艺的晶圆浅沟道聚合物填充固化方法，步骤包括：对晶圆浅沟道通过激光扫描测定其几何特征；基于几何特征，在晶圆浅沟道的各沟道交叉处先填充一层绝缘隔离聚合物并利用点阵热源加热定形；在各沟道交叉处之间的未填充区填充绝缘隔离聚合物，直至使晶圆浅沟道内先后填充的绝缘隔离聚合物的高度保持平齐，然后利用点阵热源对先后填充的绝缘隔离聚合物全部加热固化；重复前述步骤，直至将晶圆浅沟道完全填充平整。本发明能将快速高效地将绝缘隔离填充物质按照规划路径高速直写填充到晶圆浅沟道中，并且在填充过程中能精细控制填充量，节约填充成本。
一种基于气动工艺晶圆浅沟道聚合物填充固化方法

[发明专利]一种高灵敏平面式电容柔性传感器及其制备方法-CN202310374246.4在审
发明人：吴豪;毛江艳;尹周平 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01V3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高灵敏平面式电容柔性传感器及其制备方法，包括电极层、介电层和封装层，介电层布置于封装层上，电极层布置于封装层和介电层之间；电极层包括两个相互交错卷绕的电极，两个电极的外端均连接有外延结构。本发明提高了传感器的灵敏度，扩大了传感器的测量范围。
一种灵敏平面电容柔性传感器及其制备方法

[发明专利]一种基于数据驱动的喷墨打印墨滴体积控制方法和系统-CN202310577108.6在审
发明人：陈建魁;李昕;尹周平;岳晓 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B41J29/393 文献下载
摘要：本发明属于印刷显示技术领域，具体涉及一种基于数据驱动的喷墨打印墨滴体积控制方法和系统，包括：在不同波形参数下使用喷头喷射墨滴，并获取喷印墨滴体积大小，构建喷印墨滴体积与波形参数间的映射关系，同时构建喷印墨滴体积的模糊控制系统；根据映射关系获得目标墨滴体积所对应的波形参数，作为参考波形参数；利用参考波形参数进行试打印，若实际墨滴体积与目标墨滴体积的偏差超过设定阈值，则利用模糊控制系统调整波形参数，直至偏差小于设定阈值，再输出调整后的波形参数用于正式打印。本发明可以更加快速准确地获得合适的波形参数，并且具有一定的抗扰动能力，适用于利用喷墨印刷方式制造高分辨率显示器、电子元器件等应用场合。
一种基于数据驱动喷墨打印体积控制方法系统

[发明专利]一种高可靠非接触式芯片拾取装置与在线控制方法-CN202310553325.1在审
发明人：徐洲龙;尹周平;吴豪;谢斌 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本发明公开了一种高可靠非接触式芯片拾取装置与在线控制方法，属于芯片拾取控制相关技术领域，该装置包括有旋流拾取头，所述旋流拾取头上连接有气源接头，所述旋流拾取头上还设有用于实时监测和被拾取芯片之间间距的高精密光纤传感器。本发明提供的高可靠非接触式芯片拾取装置，结构简单，可对旋流拾取头和芯片之间的间距进行实时调整，使芯片的拾取过程更加稳定可靠，避免脱料。
一种可靠接触芯片拾取装置在线控制方法

[发明专利]一种纹理表面缺陷检测方法及系统-CN201911197092.6有效
发明人：杨华;尹周平;宋开友 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明属于图像处理领域，公开了一种纹理表面缺陷检测方法及系统。该方法包括离线训练阶段及在线检测阶段，其中：离线训练阶段先通过先验提取步骤提取输入纹理图像的多通道纹理先验；再通过纹理重构步骤在提取的先验的引导下，精确重构出输入图像的纹理背景，在纹理重构模块的隐空间中编码更精确的纹理特征、抑制缺陷被重构在纹理背景中；最后，通过像素级对抗学习，进一步提升纹理重构精度。进行检测时，只需将输入图像与重构的纹理背景图像进行作差操作，即可检测出缺陷。本发明对不同纹理表面上的不同大小、不同对比度的缺陷有较高的检测精度。
一种纹理表面缺陷检测方法系统

[发明专利]一种晶圆沟道的直写填充装置-CN202310468642.3在审
发明人：吴豪;徐洲龙;尹周平;谢斌 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆沟道的直写填充装置，属于晶圆沟道填充技术领域，包括有架体，所述架体侧壁垂直设有偏心旋转组件，所述架体下端竖直穿设有弹性流道控制杆，所述弹性流道控制杆和所述偏心旋转组件的轴线垂直，所述架体下方设有供料组件，所述供料组件内设有供料流道，所述供料组件侧壁设有和所述供料流道内部连通的加料组件，所述弹性流道控制杆下端位于所述供料流道内，上端和所述偏心旋转组件的输出端接触；所述偏心旋转组件工作时，按压所述弹性流道控制杆，控制所述供料流道的开闭进行供料。本发明提供的晶圆沟道的直写填充装置，减少了填充材料的使用量，减少了需要打磨的面积，降低了加工难度，提高了生产效率，节约了生产成本。
一种沟道填充装置

[发明专利]一种高分辨全彩显示器件及其制备方法-CN202310328406.1在审
发明人：段永青;余锐;尹周平 -专利权人：华中科技大学;湖北光谷实验室
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H10K71/13 文献下载
摘要：本发明属于发光显示器件相关技术领域，其公开了一种高分辨全彩显示器件及其制备方法。所述方法包括以下步骤：(1)在带有阳极的基板上依次沉积制备空穴注入层和空穴传输层；(2)在空穴传输层上沉积发光材料制备发光层；(3)在发光层上制备像素定义层；(4)在像素定义层上依次沉积制备电子传输层和电子注入层；(5)在电子注入层上制备金属电极作为阴极，得到全彩显示器件。本发明改变了制备顺序，先沉积发光层再制备像素定义层，改善了发光层的薄膜质量和发光效率，同时减小了漏电流，增强了器件的性能。同时结合高分辨率电流体喷印工艺所得到发光显示器件像素可以达到微米～亚微米级别，并且可以实现全彩显示，成本低且兼容柔性设备。
一种分辨全彩显示器件及其制备方法

[发明专利]一种用于喷墨打印的真空干燥系统及其压力控制方法-CN202310461469.4在审
发明人： 尹周平;陈建魁;吴文祥;吴綦龙 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B29C64/393 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于喷墨打印的真空干燥系统及其压力控制方法，属于喷墨打印技术领域。一方面，通过设置多级并联且管径各不相同的连接管路，利用各连接管路降压速率的不同精确控制腔体内压力的大小。另一方面，根据设定的腔体内的目标压力及目标抽气时间计算出每个阶段参与抽气的连接管路的开通时间初始值，并进一步寻优获得满足设定要求时各阶段的开通时间；通过第一阶段的快速降压和第二阶段的精确降压，可以获得一条快速、不超调的压力曲线。此外，在真空干燥系统还包括第三连接管路的情况下，还可以通过第三连接管路的通断精准调整腔体压力在允许的目标压力附近。如此，可以消除抽气过程中压力超调、不稳定等问题，实现墨滴均匀成膜。
一种用于喷墨打印真空干燥系统及其压力控制方法

[发明专利]一种基于各喷嘴独立加热调节的阵列化电流体喷头-CN202310212834.8在审
发明人：段永青;尹周平;王麒铭;杨唯笠;高吉鑫;孙朝阳 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B41J2/045 文献下载
摘要：本发明属于喷墨打印装置领域，具体涉及一种基于各喷嘴独立加热调节的阵列化电流体喷头，包括：喷孔板，设置在该喷孔板上的多个突出喷嘴，与多个突出喷嘴一一对应的多个加热电极，用于为每个加热电极独立供电的供电电路，以及与多个突出喷嘴连通的墨盒；每个加热电极用于对其所对应的突出喷嘴进行独立加热；在墨盒中的溶液所加的电压满足：在加热电极不工作时，墨盒中的墨液不会因墨盒与打印基板之间的电场力而喷射；且当供电电路为每个加热电极独立供电时，不同的供电电压产生不等的电阻热，使得该加热电极所对应的突出喷嘴内溶液的温度不等，以具有不同的喷射状态。本发明能避免现有通过调控电场进行喷头独立可控喷射时易于发生故障的问题。
一种基于喷嘴独立加热调节阵列流体喷头

[发明专利]一种非接触式拾取芯片的位姿调整设备及控制方法-CN202310468678.1在审
发明人： 尹周平;徐洲龙;吴豪;谢斌 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种非接触式拾取芯片的位姿调整设备及控制方法，芯片位姿控制相关技术领域，该设备包括有载物台、芯片旋流拾取机构、X轴平移组件、芯片吸附位姿调整机构、Y轴平移组件、视觉纠姿系统、激光纠姿系统；所述芯片旋流拾取机构位于所述载物台上，所述X轴平移组件横设在所述载物台上，其输出端和所述芯片吸附位姿调整机构连接；所述芯片吸附位姿调整机构垂直所述X轴平移组件的运动方向设置；所述Y轴平移组件纵向设置在所述载物台上，其可带动所述视觉纠姿系统、所述激光纠姿系统往复运动。本发明提供的非接触式拾取芯片的位姿调整设备及控制方法，提高超薄大芯片堆叠良品率，生产效率高。
一种接触拾取芯片调整设备控制方法

[发明专利]一种喷墨打印用阵列化喷孔的智能筛选方法及装置-CN202310251962.3在审
发明人： 尹周平;陈建魁;周文奇;孔德义;江文杰 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G06F18/2411 文献下载
摘要：本发明属于新型显示喷墨打印技术领域，具体涉及一种用于喷墨打印的阵列化喷孔筛选方法及装置，包括：基于每个喷孔每次喷射得到的沉积液滴特征集合，依次通过分类模型、回归模型，得到对应正常飞行液滴的状态参数集合；随机选取多个状态参数集合，通过标签标注，以训练得到初始分类器；将其余状态参数集合分别输入初始分类器，得到对应的分类概率，根据分类概率，选择多个候选的状态参数集合，进行聚类，获取每个聚类中心对应的喷孔正常与否的标签，进一步训练初始分类器；将每个喷孔对应的各状态参数集合分别输入最终分类器，确定该喷孔是否可用于正式喷墨打印。本发明在提高筛选效率的同时保证筛选精度。
一种喷墨打印阵列化喷孔智能筛选方法装置

[发明专利]一种喷印喷头阵列喷射墨滴检测方法及系统-CN202310324512.2在审
发明人：陈建魁;蔡佳成;尹周平;刘强强 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01P3/40 文献下载
摘要：本发明属于新型显示领域，具体涉及一种喷印喷头阵列喷射墨滴检测方法及系统，包括：控制多套视觉系统同步对多个喷头的喷孔进行喷射墨滴图像采集；基于每个喷孔对应的喷射墨滴图像，计算该喷孔的喷射墨滴飞行状态；结合各套视觉系统当前检测完的和下一次待检测的喷孔坐标，整体调整运动机架和/或喷头阵列的位置，并对经整体调整后未到达待检测喷孔的喷射墨滴图像采集位置的视觉系统进行位置微调；重复执行图像采集；其中，每个喷孔的坐标是通过其在对应喷头笛卡尔坐标系中的坐标位置与对应喷头的喷头偏移角度相乘并加上对应喷头笛卡尔坐标系的原点在全局坐标系中的坐标得到。本发明可对多个喷头进行同步扫描检测，有效提升检测效率。
一种喷头阵列喷射检测方法系统

[发明专利]一种基板气浮平台控制方法及系统-CN202310203108.X在审
发明人：陈建魁;孔德义;尹周平;陈伟 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B65G43/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板气浮平台控制方法及系统，属于新型显示技术领域。本发明考虑到了对于大面积基板气浮支撑系统，需要进行精度的检测、控制和监控，才能保证基板气浮连续运行的精度。因此考虑到了利用激光位移传感器和力锤进行激励和信号采集，通过数据处理的方式得到基板的固有频率和基板底面与气浮支撑表面的垂直高度，以对气浮平台的正压、负压进行调整，对基板气浮平台的精度进行检测和控制，在连续运行过程中通过激光位移传感器对气浮平台的运行状态实时判定。如此能够保证大面积、高精度显示面板气浮连续输运的精度稳定和可测、可控、可调，尤其适用于利用喷墨打印制造高分辨率、大幅面显示器、电子元器件等。
一种基板气浮平台控制方法系统

[发明专利]一种利用实验小车模拟实际车辆行驶状态的方法及系统-CN202310205020.1在审
发明人：曾祥瑞;奉嘉明;尹周平 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G05D1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用实验小车模拟实际车辆行驶状态的方法及系统，属于智能车辆模拟仿真实验技术领域。本发明从车辆仿真模拟的真实性与安全性出发，通过在一个危险系数不高的自动驾驶实验小车外部加装轻薄外壳，使其外观与实际车辆一致，但质量远小于实际车辆；在此基础上，本发明提出基于车辆几何特征的模拟方法与基于虚拟点跟踪的模拟方法。本发明实验小车的车辆参数固定，实际车辆的车辆参数可以任意选择，由于实验小车在低速情况下不会伤害到行人，因此可以保证实验的安全。通过本发明的模拟方式基本可以实现自动驾驶车辆与环境进行交互的实验需求，有助于提升实验的可靠性与安全性；同时可以节约实验成本。
一种利用实验小车模拟实际车辆行驶状态方法系统

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