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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板保持装置-CN202110189050.9在审
发明人：阿部贵宏;对马拓也;平尾智则 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2021-02-19 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本发明提供能够适当地保持基板的基板保持装置。上述基板具有：被电镀部，暴露于电镀液；以及边缘部亦即上述被电镀部的外侧区域。上述基板保持装置具备：把持模块，用于通过与基板的上述边缘部接触来把持基板；吸引模块，用于吸引并保持基板的上述被电镀部；以及凸部，设置于基板中的与上述被电镀部对应的位置，比上述吸引模块向被上述基板保持装置保持的基板突出。
保持装置

[发明专利]基板干燥装置-CN202011482878.5在审
发明人：大桥弘尭;对马拓也;冈﨑郁弥 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种使基板确实地干燥的基板干燥装置。其中一实施例为基板干燥装置。此基板干燥装置包括：握持部，握持角型基板的外周部；基板用喷嘴，对由握持部所握持的基板喷附气体而使基板干燥；以及握持部用喷嘴，对握持部喷附气体而使基板干燥。基板用喷嘴能够相对于基板而向第一方向相对移动，且能够朝向基板而向第一方向喷出气体。握持部用喷嘴能够相对于基板而向第一方向相对移动，且向与第一方向相交的第二方向喷出气体。握持部用喷嘴相对于第一方向而配设于基板用喷嘴的后方。
干燥装置

[发明专利]基板处理装置、基板处理装置的控制方法、存储程序的存储介质-CN201710725706.8有效
发明人：山川纯逸;对马拓也 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2017-08-22 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种基板处理装置，用于对基板进行处理，具备：图像传感器，在基板被搬运到规定位置时，该图像传感器检测所述基板的至少一个对角线上的两个角部的位置；照明装置，该照明装置能够配置为：相对于处在所述规定位置的所述基板在所述图像传感器的相反侧，对所述基板的所述两个角部进行照射；控制装置，该控制装置基于由所述图像传感器检测出的所述两个角部的位置来判定所述基板的位置。
处理装置控制方法存储程序介质

[发明专利]基板处理装置、以及基板处理方法-CN202110007901.3在审
发明人：横山俊夫;平尾智则;对马拓也;大桥弘尭 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2021-01-05 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明提出能够使基板精度良好地定位并保持于基板支架的基板处理装置以及方法。控制配置调整机构，以便基于第一传感器的检测来调整基板的配置，控制第二传感器，以便检测在基于上述第一传感器的检测调整了配置的基板的板面预先形成的特征点，确认通过上述第二传感器检测出的特征点的位置是否处于允许范围，在通过上述第二传感器检测出的特征点的位置处于上述允许范围内的情况下，控制上述配置调整机构，以便基于上述第二传感器的检测来调整上述基板的配置，在基于上述第二传感器的检测调整了上述基板的配置之后，控制上述基板拆装机构，以便将基板安装于上述基板支架。
处理装置以及方法

[发明专利]基板装卸装置及其控制装置、镀覆装置、存储介质-CN201711332926.0有效
发明人：横山俊夫;向山佳孝;对马拓也 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本发明提供基板装卸装置及其控制装置、镀覆装置、存储介质。本发明的基板装卸装置是利用基板保持器的第一及第二保持部件对基板进行夹持来保持该基板的基板装卸装置，具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。
装卸装置及其控制镀覆存储介质

[发明专利]基板保持架及镀覆装置-CN201780019492.0有效
发明人：向山佳孝;横山俊夫;山川纯逸;对马拓也;平尾智则;田村翔;大桥弘尭 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2017-03-07 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C25D17/08 文献下载
摘要：本发明提供一种可容易进行基板定位的基板保持架及镀覆装置。基板保持架具有：保持基板的基板保持体；及夹着所述基板保持体而保持的第一保持部件及第二保持部件；所述第一保持部件具有：使所述基板的被镀覆面露出的开口部；及以与所述基板的被镀覆面接触的方式而构成的供电部件。
保持镀覆装置

[发明专利]用于保持基板和/或解除对基板的保持的装置及镀敷装置-CN201910898902.4在审
发明人： 对马拓也 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种能够适合于两面保持器的基板装卸装置及镀敷装置。本发明公开了一种装置，所述装置用于在基板保持器上保持基板和/或用于解除基板保持器对基板的保持，基板保持器包括第一框架及第二框架，第一框架及第二框架分别具有开口，装置包括用于在第一框架及第二框架之间夹持基板的基板支持单元，基板支持单元包括下部基板支持件与上部基板支持件，下部基板支持件构成为通过位于下方的框架的开口而与基板接触，上部基板支持件构成为通过位于上方的框架的开口而与基板接触。
用于保持解除装置

[发明专利]基板处理装置、基板处理装置的控制方法、保存有程序的存储介质-CN201811515896.1在审
发明人：山川纯逸;对马拓也 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2018-12-11 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供基板处理装置、基板处理装置的控制方法、保存有程序的存储介质，其课题为提高基板的定位。一种用于处理基板的基板处理装置，具备：图像传感器，其在基板被输送到规定位置时，检测上述基板的至少一个对角线上的两个角部的位置；照明装置，其相对于位于上述规定位置的上述基板而在与上述图像传感器相反的一侧，能够配置为对上述基板的上述两个角部进行照射；以及控制装置，其基于由上述图像传感器检测出的上述两个角部的位置来判定上述基板的位置，上述控制装置构成为能够变更上述照明装置的输出光的光量及波长中的至少一者。
基板处理装置基板图像传感器角部存储介质控制装置照明装置对角线处理基板输出光保存检测波长光量判定照射变更配置

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