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[发明专利]镀覆装置-CN201811109882.X有效
发明人：山崎岳;平尾智则;横山俊夫 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2018-09-21 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：镀覆装置具有：镀覆槽；基板保持架，该基板保持架配置于所述镀覆槽，用于保持基板；阳极，该阳极用于在与所述基板之间产生电场；以及至少一个电场遮蔽体，该至少一个电场遮蔽体用于遮蔽所述基板保持架和所述电场的一部分或者全部，所述电场遮蔽体具有使所述基板与所述阳极之间的电场穿过的开口部，并且，所述电场遮蔽体构成为能够独立地调整所述开口部的第一方向上的开口尺寸以及第二方向上的开口尺寸。
镀覆装置

[发明专利]镀覆装置以及镀覆方法-CN201811183566.7有效
发明人：张绍华;平尾智则 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2018-10-11 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： C25D21/10 文献下载
摘要：提供一种对基板进行镀覆的镀覆装置，降低由叶片的动作产生的镀覆液的液面的摆动。该镀覆装置具有：镀覆槽，该镀覆槽构成为收容镀覆液；叶片，该叶片配置于所述镀覆槽内，且构成为对所述镀覆液进行搅拌；以及液面摆动降低部件，该液面摆动降低部件配置于所述镀覆槽内，且具有供所述镀覆液通过的流路，该液面摆动降低部件使通过所述流路的所述镀覆液的流速上升而使所述镀覆液所形成的波的能量衰减。
镀覆装置以及方法

[发明专利]基板保持装置-CN202110189050.9在审
发明人：阿部贵宏;对马拓也;平尾智则 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2021-02-19 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本发明提供能够适当地保持基板的基板保持装置。上述基板具有：被电镀部，暴露于电镀液；以及边缘部亦即上述被电镀部的外侧区域。上述基板保持装置具备：把持模块，用于通过与基板的上述边缘部接触来把持基板；吸引模块，用于吸引并保持基板的上述被电镀部；以及凸部，设置于基板中的与上述被电镀部对应的位置，比上述吸引模块向被上述基板保持装置保持的基板突出。
保持装置

[发明专利]基板处理装置、以及基板处理方法-CN202110007901.3在审
发明人：横山俊夫;平尾智则;对马拓也;大桥弘尭 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2021-01-05 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明提出能够使基板精度良好地定位并保持于基板支架的基板处理装置以及方法。控制配置调整机构，以便基于第一传感器的检测来调整基板的配置，控制第二传感器，以便检测在基于上述第一传感器的检测调整了配置的基板的板面预先形成的特征点，确认通过上述第二传感器检测出的特征点的位置是否处于允许范围，在通过上述第二传感器检测出的特征点的位置处于上述允许范围内的情况下，控制上述配置调整机构，以便基于上述第二传感器的检测来调整上述基板的配置，在基于上述第二传感器的检测调整了上述基板的配置之后，控制上述基板拆装机构，以便将基板安装于上述基板支架。
处理装置以及方法

[发明专利]镀覆装置-CN202010533757.2在审
发明人： 平尾智则 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2020-06-12 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： C25D17/02 文献下载
摘要：本发明提供一种在基板的附近处调节基板上的电位分布的遮蔽板。根据一实施方式，提供一种用于对基板进行镀覆处理的镀覆装置，该镀覆装置具有：基板保持架，该基板保持架用于保持基板；遮蔽板，该遮蔽板与所述基板保持架相邻配置；以及移动机构，该移动机构用于使所述遮蔽板向靠近所述基板保持架的方向以及远离所述基板保持架的方向移动，所述遮蔽板构成为，能够通过所述移动机构来向所述基板保持架侧移动，从而与所述基板保持架接触。
镀覆装置

[发明专利]镀覆装置-CN202010122398.1在审
发明人： 平尾智则;山崎岳;阿部贵宏;横山俊夫 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2020-02-27 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：提供一种阻止或缓解电场绕行的镀覆装置。根据本发明的一个实施方式，提供一种用于对基板保持件所保持的基板进行镀覆处理的镀覆装置，该镀覆装置包括：镀覆槽，该镀覆槽能够接受保持有基板的基板保持件；挡块部件，该挡块部件从所述镀覆槽内侧的壁面向镀覆槽的内侧延伸，并且可以在镀覆槽内移动；以及移动机构，该移动机构使所述挡块部件向配置在所述镀覆槽内的基板保持件移动。
镀覆装置

[发明专利]基板保持架及镀覆装置-CN201780019492.0有效
发明人：向山佳孝;横山俊夫;山川纯逸;对马拓也;平尾智则;田村翔;大桥弘尭 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2017-03-07 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C25D17/08 文献下载
摘要：本发明提供一种可容易进行基板定位的基板保持架及镀覆装置。基板保持架具有：保持基板的基板保持体；及夹着所述基板保持体而保持的第一保持部件及第二保持部件；所述第一保持部件具有：使所述基板的被镀覆面露出的开口部；及以与所述基板的被镀覆面接触的方式而构成的供电部件。
保持镀覆装置

[发明专利]电镀装置、与电镀装置一同使用的基板保持架、电镀方法、计算机程序及存储介质-CN201810122732.6在审
发明人：横山俊夫;平尾智则;田村翔 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2018-02-07 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本发明提供电镀装置、与电镀装置一同使用的基板保持架、电镀方法、计算机程序及存储介质。电镀装置能够在基板的表面和背面上单独地控制电镀工艺，基板保持架能够在这样的电镀装置中使用。提供用于在电镀处理中保持作为电镀对象物的基板的基板保持架，该基板保持架具有用于保持基板的主体部，该主体部具有第一开口部和第二开口部，主体部构成为当在主体部上保持基板时，通过第一开口部将基板的表面的被电镀区域露出，通过第二开口部将基板的背面的被电镀区域露出，在主体部的外周部的至少一部分具有从外周部突出的密封部。
电镀装置基板基板保持架主体部电镀计算机程序存储介质电镀区域开口部外周部开口电镀处理电镀工艺单独地对象物密封部背面