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[发明专利]一种双层布线平坦化加工工艺-CN201810300484.X有效
发明人：阚志国;张晓新;赵铝虎;余庆;张敏森;周卫宏;潘国刚 -专利权人：华越微电子有限公司
申请日： 2018-04-04 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明公开了一种双层布线平坦化加工工艺，包括如下步骤：1）第一层金属淀积；2）一次金属光刻；3）一次金属湿刻；4）一次金属干刻；5）一次LPCVDSiO2淀积；6）平坦化介质涂布；7）固化；8）进行通孔光刻和刻蚀后再进行第二层金属淀积。本发明明显优化简化了工艺，显著缩短了工艺周期、大幅减少原材料使用、降低了对设备的性能要求。
一种双层布线平坦加工工艺

[实用新型]一种肖特基二极管划片区氧化层-CN201820475621.9有效
发明人：何火军;张晓新;鄢细根;赵铝虎;阚志国;潘国刚;周卫宏;张敏森;傅劲松 -专利权人：华越微电子有限公司
申请日： 2018-04-04 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种肖特基二极管划片区氧化层，所述的肖特基二极管划片区包括背面金属层，所述的背面金属层上依次设有N⁺衬底层、N^_外延层、势垒层、氧化层和正面金属层，且所述的势垒层两侧光刻有P⁺保护环；所述的氧化层包括11000埃的场氧区氧化层，且11000埃的场氧区氧化层上开设有20微米宽4000埃的标记区氧化层，且所述的20微米宽4000埃的标记区氧化层位于P⁺保护环之上；使所述的11000埃的场氧区氧化层和4000埃的标记区氧化层形成氧化层台阶。本实用新型既产生一种清晰可靠的切割基准线，又避免划片切割时硅过度裸露出来引起短路现象，解决了封装良率低下的问题。
氧化层肖特基二极管标记区场氧区划片区背面金属层本实用新型势垒层切割正面金属层短路现象衬底层基准线外延层光刻划片良率封装裸露清晰

[实用新型]一种肖特基接触二极管中的钛金属层-CN201820476741.0有效
发明人：潘国刚;周卫宏;张晓新;余庆;赵铝虎;鄢细根;周桂丽;秦永星;傅劲松;何火军 -专利权人：华越微电子有限公司
申请日： 2018-04-04 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： H01L29/872 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种肖特基接触二极管中的钛金属层，所述的肖特基接触二极管包括硅衬底层、所述硅衬底层两侧有二氧化硅层，所述的两侧二氧化硅层之间的硅衬底层上溅射有钛金属层；所述的两侧二氧化硅层、钛金属层之上溅射有铝层。本实用新型通过在溅射铝前，增加一层很薄的钛金属层，通过后续钛和硅发生反应形成钛硅化物层，从而改变肖特基势垒电压。通过调整不同的钛层厚度，产生不同的势垒电压，从而实现电压的可调性。
钛金属层二氧化硅层肖特基接触二极管硅衬底层溅射本实用新型肖特基势垒钛硅化物层势垒电压可调性铝层钛层

[发明专利]一种用半导体集成电路或者分立器件的溅射前处理方法-CN201810300435.6在审
发明人：潘国刚;张晓新;余庆;赵铝虎;周卫宏;何火军;傅劲松;鄢细根;张敏森 -专利权人：华越微电子有限公司
申请日： 2018-04-04 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于半导体集成电路或者分立器件上的溅射前处理方法，其特征在于，包括如下步骤：1）当半导体器件在完成引线孔刻蚀后，通过稀释为浓度为49wt%的HF酸漂洗去除引线孔内自然氧化层及沾污物；2)冲水处理；3）接着利用浓度为60.8%的纯硝酸浸泡处理，利用硝酸的氧化性，使硅表面产生一层很薄的氧化层；4）再进行冲水、甩干完成前处理工艺。本发明通过增加硝酸前处理，改善了半导体集成电路或者分立器件的铝硅接触电阻的稳定性，特别对于设计规则小于2um的产品的应用上有明显的改善效果。
前处理半导体集成电路分立器件硝酸引线孔冲水溅射半导体器件自然氧化层接触电阻设计规则纯硝酸硅表面酸漂洗氧化层氧化性沾污物稀释刻蚀铝硅去除甩干浸泡应用

[发明专利]一种能降低肖特基二极管正向压降值的加工工艺-CN201810298724.7在审
发明人：鄢细根;张晓新;余庆;何火军;潘国刚;周卫宏;赵铝虎;张敏森;陈晓静;阚志国 -专利权人：华越微电子有限公司
申请日： 2018-04-04 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： H01L21/329 文献下载
摘要：本发明公开了一种能降低肖特基二极管正向压降值的加工工艺，其特征在于，包括如下步骤：1）外延材料高温炉管进行反推作业，温度1200—1250度，时间为60分钟；2）漂尽反推形成的厚氧，重新生长厚场氧，保护环光刻、刻蚀、环杂质注入、退火；3）在步骤2）的基础上对有源区进行光刻、刻蚀、势垒层金属溅射、势垒层合金、漂尽势垒层金属，然后进行正面Ti/Ni/Ag多层金属蒸发；4）在步骤3）的基础上，对Ti/Ni/Ag多层金属光刻、腐蚀；5）在步骤4）基础上对衬底进行减薄，背面进行Ti/Ni/Ag多层金属蒸发。本发明通过重掺杂衬底反推技术，在不影响Vz，Ir电参数前提下，显著降低Vf值。
多层金属势垒层反推光刻肖特基二极管正向压降衬底刻蚀蒸发退火高温炉管金属溅射外延材料杂质注入电参数重掺杂厚场厚氧减薄源区合金背面腐蚀金属生长

[实用新型]一种计算机硬盘冷却装置-CN201721789059.9有效
发明人： 周卫宏;汪思淳;牛长佳 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： G06F1/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种计算机硬盘冷却装置，所述机箱首端的顶部安装有所述启动开关，且所述机箱的横截面为长方形，所述启动开关的横截面为圆形，所述USB接口安装在所述机箱的首端，且所述USB接口的横截面为长方形，所述USB接口有两个，所述USB接口的下端设置有所述耳机孔，且所述耳机孔为圆形，所述机箱首端的底部设置有所述进风口，且所述进风口为长方形，所述机箱的内部设置有所述固定架，且所述固定架的横截面为长方形，所述主板安装在所述固定架上，且所述主板的横截面为长方形，所述主板上安装有所述安装盒，且所述安装盒为长方体，所述安装盒的内部设置有所述硬盘，且所述硬盘的横截面为长方形，本实用新型操作简单，使用方便。
机箱安装盒固定架本实用新型计算机硬盘冷却装置内部设置启动开关耳机孔进风口硬盘主板顶部安装主板安装首端下端

[实用新型]一种智能仪器仪表-CN201720667165.3有效
发明人： 周卫宏;陈才;单薏 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种智能仪器仪表，其结构包括开关按钮、智能单片机、数据显示屏、电路主板、主板外圆框、操作按钮、支撑柱杆、嵌套杆、固定螺帽、连接螺纹柱，开关按钮与操作按钮设于电路主板上，开关按钮和操作按钮与电路主板电连接，数据显示屏紧贴在电路主板上，数据显示屏与电路主板电连接，电路主板与主板外圆框的轴心共线，电路主板嵌于主板外圆框内部，支撑柱杆垂直焊接在主板外圆框下，智能单片机设于数据显示屏上并且与数据显示屏和电路主板电连接，本实用新型智能单片机设有单片机主板、焊接侧板、单片机引脚、引脚传输线，实现了智能自动控制电路，可编程匹配控制，数据感应精准，单片机分析数据透彻自动检测运行，高效便捷。
一种智能仪器仪表

[实用新型]一种半导体管芯基板-CN201720251386.2有效
发明人：陈昂;刘炜;张晓新;余庆;赵铝虎;陆辉;葛亚英;周卫宏;张洪波 -专利权人：华越微电子有限公司
申请日： 2017-03-15 - 公布日： 2017-10-10 - 主分类号： H01L23/13 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体管芯基板，芯管基片上下两侧的划片槽内均开设有第一对位标记，芯管基片左右两侧的划片槽内均开设有第二对位标记，第一对位标记包括以3行7列形式设置的第一对位因子，第二对位标记包括以3列8行形式设置的第二对位因子，以小型对位因子组成的对位标记代替现有技术中的大型对位标记，能够不但能够提高对位精度，而且能够缩减划片槽的宽度，使同样的硅片基板能够制造更多的管芯，提高硅片基板的利用率；第一对位标记和第二对位标记不同，能够进一步提高对位精度，减少出错几率。
一种半导体管芯

[实用新型]一种新型高压双极单管结构-CN201720250902.X有效
发明人：陆辉;张晓新;余庆;赵铝虎;陈昂;周卫宏;潘国刚;张洪波;张敏森 -专利权人：华越微电子有限公司
申请日： 2017-03-15 - 公布日： 2017-10-10 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型高压双极单管结构，包括基板和氧化层，所述基板的埋层上方靠近氧化层的一侧上设置有磷桥和P‑基区，P‑基区上设置有P基区，P基区上设置有N+发射区，磷桥与埋层相连；所述P‑基区外环绕设置有第一N+环，第一N+环外环绕设置有第一P‑环，磷桥外环绕设置有第二P‑环，所述第一P‑环和第二P‑环外环绕设置有第二N+环，所述基板和氧化层之间填充设置有外延层。本实用新型的一种新型高压双极单管结构，与现有技术相比，增加了一层副基区层即P‑基区，在P‑基区上设置P基区和N+发射区，P‑基区、N+环和P‑环的结构使电场分布平缓，电场分布较平缓，同时基区的宽度变宽，提高了器件各项耐压参数。
一种新型高压双极单管结构

[实用新型]一种电子戒烟器-CN201620035673.5有效
发明人： 周卫宏 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2016-01-14 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： A24F47/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电子戒烟器，烟嘴和烟管之间活动连接，烟嘴顶部设有吸烟计数器，烟管靠近烟嘴一端设有控制器、存储器和微处理器，滚珠设置在烟管内，烟管内壁设有滚动计数器，吸烟计数器和滚动计数器电连接控制器和存储器，控制器信号连接微处理器，吸烟计数器一侧设有储料箱，储料箱面对吸烟计数器一侧设有出烟孔，储料箱靠近烟嘴壁一侧设有放料口，烟管底部设有usb插口，usb插口连接电源，储料箱内设有传感器，传感器信号连接控制器，储料箱内为非尼古丁化合物经过了表面处理的粉体，存储器可以自由拆卸，吸烟计数器、控制器、存储器、微处理器和滚动计数器均与内部电路连接，内部自备电源可维持72小时，自备电源电连接usb插口。
一种电子戒烟

[实用新型]一种自动化矿泉水灌装生产线-CN201521131515.1有效
发明人： 周卫宏 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2015-12-30 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： B65B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动化矿泉水灌装生产线，包括电机机柜，电机机柜的一侧设置有吹瓶机，吹瓶机的另一侧设置有贴标机，贴标机的另一侧设置有插瓶机，插瓶机的另一侧设置有臭氧消毒机，臭氧消毒机的另一侧有灌装机，灌装机的另一侧设置有喷码机，喷码机的另一侧设置有切膜机，切膜机的一侧设置有装膜机，装膜机的另一侧设置有第一塑膜机，第一塑膜机的另一侧设置有第二塑膜机，第二塑膜机的一侧设置有出料架。本实用新型通过设置有灌装机和装膜机，将灌装的过程中实现了自动化，减少人工进行操作，降低了工人了工作强度，提高了工人的工作的效率，在灌装的工程中，降低了工人的安全系数，整个生产线设计合理。
一种自动化矿泉水灌装生产线

[实用新型]一种多功能的计算机防盗键盘-CN201620035679.2有效
发明人： 周卫宏;汤利蒙 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2016-01-14 - 公布日： 2016-06-29 - 主分类号： G06F3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多功能的计算机防盗键盘，包括键盘本体、加热板、温度调节器、触屏写字板、语音播放器、显示屏、工作指示灯和密码锁，所述键盘本体外侧设有所述加热板，所述加热板外侧设有所述温度调节器，所述加热板与所述触屏写字板相连，所述键盘本体内部设有所述密码锁，所述键盘本体外侧设有所述工作指示灯，所述键盘本体设有所述工作指示灯的一侧设有所述显示屏，所述加热板外侧设有所述语音播放器，该种计算机键盘，能够键盘被盗取，能够调节加热板的温度，能够让使用者在寒冷的季节里使用键盘，能够使键盘的输入多样化，设有的语音播放器，能够弥补现在大部分计算机不自带语音播放功能，让使用者使用时感到更加的人性化。
一种多功能计算机防盗键盘

[实用新型]一种电气汗蒸房使用的加热器-CN201620035687.7有效
发明人： 周卫宏 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2016-01-14 - 公布日： 2016-06-22 - 主分类号： F22B1/28 文献下载
摘要：本实用新型提供一种电气汗蒸房使用的加热器，包括外壳,所述外壳安装于支板表面，且所述支板侧壁设置有卡接的防护板，所述支板一端设置有两个悬挂孔，所述支板的一端设置有连接头，且所述连接头一端连接于所述外壳一端设置的接线孔，所述接线孔设置于所述接线区内部，所述外壳内部设置有加热器，所述加热器内部设置有若干个均匀分布的蒸汽管，所述外壳表面设置有若干个均匀分布的出气孔。本实用新型加热速度快，传热效率高，不易结垢；可对室内定量加热，需要多少注入多少水量，对水量进行加热；加热过程不会出现局部高温，保证了水加热器传热效率；多余的水量可以存储到存水箱内部，在需要用水的时候，加热存水箱内部的水量即可。
一种电气汗蒸房使用加热器

[实用新型]一种防变形便于检查维修的电气柜-CN201521131553.7有效
发明人： 周卫宏 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2015-12-30 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： H02B1/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防变形便于检查维修的电气柜，包括电气架，所述电气架外设有内保护框，所述内保护框外设有外保护框，所述电气架边侧设有旋转把手，所述电气架底部设有旋转盘，所述旋转盘顶部设有工作指示灯、总电源指示灯和总电源开关，所述工作指示灯顶部设有元器件。该种防变形便于检查维修的电气柜，通过设置的双重保护框，能够大大减小因撞击等意外事故给元器件带来的损坏，通过工作指示灯与元器件的串联，当元器件损坏时，可以马上找到损坏的元器件，节约了检查的时间，通过旋转盘，大大方便了维修人员的维修按难度，方便了维修。
一种变形便于检查维修电气

[实用新型]一种帮助预防颈椎疾病的智能设备-CN201520760980.5有效
发明人： 周卫宏;陈才;单薏 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2015-09-29 - 公布日： 2016-03-30 - 主分类号： G08B21/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及智能化技术领域，具体涉及一种帮助预防颈椎疾病的智能设备，包括外壳和硬件系统，所述硬件系统安装于外壳内部，所述硬件系统包括加速度计、微处理单元、无线通讯单元、电池模块和人体红外感应模块，所述人体红外感应模块设有若干，分别安装于外壳的外表面，所述微处理单元与无线通讯单元、电池模块、加速度计、人体红外感应模块相连，所述加速度计与红外感应模块相连，本实用新型集成到工牌/胸卡吊绳挨着颈部的搭扣处，或做成独立的小设备粘到胸卡吊绳或领带或衣领上，通过感知用户脖颈的姿态，对一段时间的历史数据做出分析，给用户做出合理的建议和提醒，帮助用户更好的了解自己的不好习惯和潜在风险，并做出相应的调整。
一种帮助预防颈椎疾病智能设备

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