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[发明专利]在线改良晶圆表面平坦度的方法-CN201710312284.1有效
发明人：王佩佩;李弘恺;金军;路新春;沈攀 -专利权人：清华大学;天津华海清科机电科技有限公司
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： H01L21/321 文献下载
摘要：本发明公开了一种在线改良晶圆表面平坦度的方法。其中方法应用于旋转型CMP设备上，CMP设备包括抛光头及其压力在线调节控制系统，抛光头包括多个压力分区，方法包括：确定晶圆表面材料层上的基准区；获取多个压力分区对应的晶圆表面分区的材料层厚度值；根据基准区的材料层厚度值与其余各分区的材料层厚度值，获取各压力分区新的压力值；根据各压力分区新的压力值，控制抛光头对晶圆表面进行材料去除。由此，通过改变抛光头各压力分区所施加的压力大小，可以实时调节晶圆表面相应分区的材料去除率，从而实现可控平坦化，进而实现在线改良晶圆表面平坦度的目的。
在线改良表面平坦方法

[发明专利]晶圆表面铜层厚度多点测量系统-CN201610875764.4有效
发明人：李弘恺;刘乐;路新春;雒建斌;沈攀;王同庆;李昆 -专利权人：清华大学;天津华海清科机电科技有限公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆表面铜层厚度多点测量系统，包括：机械臂；晶圆转盘，用于吸附晶圆并带动晶圆旋转；电涡流传感器，传感器探头设置于机械臂上，以随机械臂直线运动；控制模块，用于根据XY模式或全局模式控制晶圆的旋转运动与传感器探头的直线运动相互配合，以完成晶圆表面铜层的多点测量。该测量系统可以通过电涡流检测方法多点测量晶圆铜层厚度，从而对晶圆表面铜层厚度进行准确有效的测量，进而为后续的工艺参数优化提供可靠依据，提高了测量的准确度。
表面厚度多点测量系统

[发明专利]确定区域中对象的分布的传感器、系统、方法和介质-CN201910772284.9在审
发明人：陈紫杰;单文波;李永韬;李玉;潘崇;刘海波;孙继东;许钧发;何俊池;李震;孙裕;刘轶斌;马侠霖;陈剑锋;梁湘武;陈诗杨;章效培;冯腾霄;胡长鸿;刘太平;沈攀;李超;周巍;尹兴伟;何煦;林志达;姚专 -专利权人：腾讯科技(深圳)有限公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：公开了一种用于确定区域中对象的分布的传感器、传感器系统、用于传感器的方法以及存储介质。所述方法包括：获取所述区域中的子区域的图像；对所述子区域的图像执行针对所述对象的目标检测以确定所述子区域中的对象的数量；发送指示所述子区域中的对象的数量的消息。
子区域传感器图像传感器系统存储介质发送指示目标检测

[发明专利]多点测量晶圆表面铜层厚度的在线计算方法-CN201610860560.3有效
发明人：李弘恺;王佩佩;路新春;雒建斌;沈攀;王同庆;李昆 -专利权人：清华大学;天津华海清科机电科技有限公司
申请日： 2016-09-28 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种多点测量晶圆表面铜层厚度的在线计算方法，其中，方法包括以下步骤：根据XY模式和全局模式定义两组二维变量；将每个测量点所在局部测量区间内的所有采样点的平均值作为该测量点的输出值，并补偿每段测量半径或者测量圆的第1测量点和最后1测量点的采样点数；通过多点标定算法利用预设的标定表进行厚度值计算；在厚度值计算结束后，将全部计算结果顺次与各测量坐标一一匹配，并将测量结果输出到指定文件中。该方法可以多点测量晶圆铜层厚度，从而对晶圆表面铜层厚度进行准确有效的计算，进而为后续的工艺参数优化提供可靠依据，提高了测量的准确度，简单便捷。
多点测量表面厚度在线计算方法

[发明专利]在线改良晶圆表面平坦度的方法-CN201710311999.5有效
发明人：李弘恺;王佩佩;金军;路新春;沈攀 -专利权人：清华大学;天津华海清科机电科技有限公司
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明公开了一种在线改良晶圆表面平坦度的方法。其中方法应用于旋转型CMP设备上，CMP设备包括抛光头及其压力在线调节控制系统，抛光头包括多个压力分区，所述方法包括：确定晶圆表面材料层上的基准区；获取多个压力分区对应的晶圆表面分区的材料层厚度值；根据基准区的材料层厚度值与其余各分区的材料层厚度值，对各压力分区的压力值进行调整；根据各压力分区调整后的压力值，控制抛光头对晶圆表面进行材料去除。由此，通过改变抛光头各压力分区所施加的压力大小，可以实时调节晶圆表面相应分区的材料去除率，从而实现可控平坦化，进而实现在线改良晶圆表面平坦度的目的。
在线改良表面平坦方法

[发明专利]用于晶圆铜层厚度多点测量的标定系统-CN201610872138.X有效
发明人：李弘恺;田芳馨;路新春;雒建斌;沈攀;王同庆;李昆 -专利权人：清华大学;天津华海清科机电科技有限公司
申请日： 2016-09-30 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本发明提出一种用于晶圆铜层厚度多点测量的标定系统，包括：电涡流传感器；数据采集装置，采集电涡流传感器输出的采样信号；数据库模块，用于存储计算铜层厚度所需的多点标定表；上层控制系统，用于存储标定数据库，并接收数据采集装置传输的采样信号，并对采样信号进行数据处理后，根据选定的多点标定表计算晶圆表面铜层多点的厚度测量值，并对在计算完成后，上层控制系统根据测量点序，进行测量值与测量点坐标的一一匹配，并将匹配结果按照预设格式进行保存。本发明可以很好地消除测量过程中提离高度波动所造成的测量误差，从而保证测量准确度，同时具有简单可靠的优点。
采样信号标定铜层电涡流传感器上层控制系统测量测量点存储数据采集装置数据库模块准确度标定系统采集装置测量过程多点测量厚度测量接收数据晶圆表面匹配结果预设格式数据处理晶圆提离匹配数据库采集传输输出保存保证

[实用新型]一种毫米波雷达测距的线树测距系统-CN201920012793.7有效
发明人：梁华贵;孙建明;许义;路健;朱先启;沈攀;程斌;刘良柱 -专利权人：国网安徽省电力有限公司合肥供电公司
申请日： 2019-01-04 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G01S13/08 文献下载
摘要：一种毫米波雷达测距的线树测距系统，可解决现有线树距离测量过程繁琐、成本较高的技术问题。包括无人机，线距测量安装平台，树距测量安装平台，线距测量系统，树距测量系统和地面遥控系统；线距测量系统包括线距毫米波雷达，第一摄像头，线距控制器，第一无线信号收发器，第一角度传感器和线距锂电池；树距测量系统包括树距毫米波雷达，第二摄像头，树距控制器，第二无线信号收发器，第二角度传感器和树距锂电池；地面遥控系统包括地面控制器、地面无线信号收发器、地面锂电池、地面液晶显示屏和地面液晶操控屏。本实用新型可通过地面液晶操控屏与地面控制器进行人机交互，操控简单方便灵活，测量线树距离高效准确并且测量设备价格低廉。
线距毫米波雷达测量系统锂电池无线信号收发器地面遥控系统测距地面控制器角度传感器摄像头安装平台测距系统控制器操控屏液晶测量地面无线信号本实用新型液晶显示屏测量设备距离测量人机交互测量线收发器操控灵活

[发明专利]用于抛光设备中的供液装置-CN201710093550.6有效
发明人：赵慧佳;路新春;沈攀 -专利权人：天津华海清科机电科技有限公司;清华大学
申请日： 2017-02-21 - 公布日： 2019-09-03 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于抛光设备中的供液装置，包括：供液管路，用于在抛光设备进行抛光操作时，为抛光设备的抛光盘进行供液；第一支撑部，第一支撑部的一端指向抛光盘方向，第一支撑部用于支撑供液管路；第二支撑部，第二支撑部的一端与第一支撑部的另一端相连，第二支撑部具有可移动组件，第二支撑部通过可移动组件在抛光设备中的挡板上可移动。由此，第二支撑部通过可移动组件在挡板上进行移动，可以带动第一支撑部沿着挡板进行移动，从而可以带动供液管路沿着挡板进行移动，进而使得抛光液落点可以调节到抛光盘的任意位置，扩大了供液位置的可调节范围。
用于抛光设备中的装置

[发明专利]用于安装抛光垫的装置-CN201710363911.4有效
发明人：马海港;张敬业;李海涛;肖月朝;路新春;沈攀 -专利权人：天津华海清科机电科技有限公司;清华大学
申请日： 2017-05-22 - 公布日： 2019-09-03 - 主分类号： B24B45/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于安装抛光垫的装置，包括：底盘；至少两个调节定位装置，所述调节定位装置安装于所述底盘的侧壁上且位于同一圆周面，所述调节定位装置包括：滑台组件，所述滑台组件相对所述底盘径向方向可移动，通过调节所述滑台组件相对所述底盘的位置从而限定出所述抛光垫的安装区域，使得所述抛光垫同心设置于所述底盘的安装面上。根据本发明实施例的用于安装抛光垫的装置，在底盘的侧壁上设置至少两个调节定位装置，通过调节滑台组件相对底盘的位置从而限定出抛光垫的安装区域，使得抛光垫同心设置于底盘的安装面上，提高对晶圆抛光的工艺效果。
用于安装抛光装置

[发明专利]一种城市综合公园避震减灾功能评价方法-CN201910308024.6在审
发明人：林广思;任家仪;沈攀 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种城市综合公园避震减灾功能评价方法，步骤包括：以对国内外城市防灾系统规划、城市防灾绿地规划与建设现状的整理、分析与研究为基础，选取若干评价因子，建立城市综合公园避震防灾功能评价体系以及城市综合公园避震减灾功能评价标准；通过层次分析法，确定城市综合公园避震防灾功能评价体系中每个指标的权重，在通过一致性检验后，从而构建城市综合公园避震减灾功能评价体系；对需要评价的城市综合公园展开实地调研，依据评价标准对公园进行打分，最后，结合城市综合公园避震减灾功能评价体系，对公园的避震减灾功能进行分析和评价。本发明构建了一套城市综合公园避震减灾功能评价体系，能对城市综合公园的避震减灾能力进行评估。
避震减灾功能公园评价体系防灾功能评价标准构建层次分析法一致性检验防灾系统绿地规划减灾权重防灾分析评估规划研究建设

[实用新型]一种输电线路防钓卡口装置-CN201821649154.3有效
发明人：孙建明;梁华贵;许义;路健;朱先启;张承习;程斌;沈攀;陈成;鲍冰;徐东;邵宏浩;曹晓方 -专利权人：国网安徽省电力有限公司合肥供电公司
申请日： 2018-10-11 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： G08B13/19 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种输电线路防钓卡口装置，包括电线杆、遮风罩和报警装置，所述遮风罩通过固定机构安装在所述电线杆的外壁上，所述遮风罩由顶板和两个侧挡板组成，所述顶板和所述侧挡板的表面均铺设光伏太阳能板，所述遮风罩的内部安装所述报警装置和蓄电池。通过在报警装置的外围安装遮风罩，遮风罩用来保护报警装置不被风雨侵蚀，而且遮风罩两侧的侧挡板和顶端的顶板均安装光伏太阳能板，可以充分的接触到太阳光，提高太阳能转换成电能的效率，转换好的电能被存储进蓄电池为报警装置供电，解决野外供电问题，该装置通过固定机构方便安装在电线杆上，也方便拆卸维修。本实用新型具有保护报警装置不易损坏的特点。
遮风罩报警装置侧挡板电线杆保护报警装置蓄电池本实用新型光伏太阳能固定机构卡口装置输电线路太阳能转换方便拆卸供电问题内部安装太阳光外壁存储野外铺设外围供电侵蚀风雨维修转换

[实用新型]化学机械抛光系统及晶圆的后处理单元-CN201821705643.6有效
发明人：许振杰;王剑;王同庆;赵德文;沈攀;路新春 -专利权人：清华大学;天津华海清科机电科技有限公司
申请日： 2018-10-19 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种化学机械抛光系统及晶圆的后处理单元。晶圆的后处理单元，包括：清洗模块，所述清洗模块包括驱动组件以及清洗组件，所述驱动组件带动所述晶圆旋转的同时所述清洗组件绕垂直于所述晶圆表面的轴线摆动以向所述晶圆表面喷射流体；干燥模块，所述干燥模块用于对所述晶圆进行干燥，所述干燥模块与所述清洗模块并排布置且位于所述清洗模块的下游。根据本实用新型实施例的晶圆的后处理单元可以防止清洗晶圆的过程中损坏晶圆，而且清洗效果好。
晶圆后处理单元清洗模块干燥模块化学机械抛光系统本实用新型晶圆表面清洗组件驱动组件并排布置喷射流体清洗效果轴线摆动清洗垂直

[发明专利]一种基于无人机的线路异物清除装置-CN201710642780.3有效
发明人：孙建明;梁华贵;黄长杰;许义;沈攀;朱先启;程斌;耿祥;路健;鲍冰;许家豪;张承习;陈成;徐东;陈曦泽 -专利权人：国网安徽省电力公司合肥供电公司;国家电网公司
申请日： 2017-07-31 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： H02G1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于无人机的线路异物清除装置，包括无人机投送机构以及异物清除机构；所述无人机投送机构包括无人机以及设置在所述无人机上的夹子和用于控制所述夹子张开和闭合的控制单元；所述异物清除机构的两端分别连接有绝缘绳。本发明操作简单、安全可靠、效率高且成本低，可在带电情况下有效去除输电线上的异物，具有广阔的市场空间，适于大力推广应用。
一种基于无人机线路异物清除装置

[发明专利]调整CMP后晶圆膜厚均匀性的方法-CN201710548155.2有效
发明人：陈蕊;金军;王浩;曹阳;沈攀;路新春 -专利权人：天津华海清科机电科技有限公司;清华大学
申请日： 2017-07-06 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明公开了一种调整CMP(化学机械抛光)后晶圆膜厚均匀性的方法，调整CMP后晶圆膜厚均匀性的方法包括：提供一待抛光晶圆；对晶圆进行CMP制程；在晶圆上取多个测量点，多个测量点在晶圆上阵列排布；测量每个测量点处晶圆的膜厚值；在晶圆上以晶圆的圆心为原点建立坐标系，其中每个测量点在坐标系内的横坐标为X，纵坐标为Y；根据横纵坐标绘制统计图，每个测量点在统计图中的纵坐标为对应测量点的膜厚值，每个测量点在统计图中的横坐标为观察分析统计图中曲线轮廓，并调整对晶圆的各区的抛光压力。根据本发明实施例的调整CMP后晶圆膜厚均匀性的方法，具有便于控制抛光压力、晶圆表面厚度均匀性好等优点。
晶圆测量点膜厚均匀性统计图抛光压力膜厚化学机械抛光厚度均匀性分析统计晶圆表面抛光晶圆曲线轮廓原点圆心排布制程测量绘制观察

[发明专利]化学机械抛光设备及其操作方法-CN201710911999.9有效
发明人：姜博成;赵德文;赵慧佳;郑家旺;路新春;沈攀 -专利权人：清华大学;天津华海清科机电科技有限公司
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学机械抛光设备及其操作方法，化学机械抛光设备包括夹片组件，夹片组件上安装有抛光件；保持环，保持环设在夹片组件上，抛光件位于保持环内；抛光盘，抛光盘设在保持环和抛光件的下方；其特征在于，还包括：保持环调节装置，保持环调整装置包括：调节装置，调节装置包括向上调节保持环的拉杆和向下调节保持环的压杆；压力分布检测装置，压力分布检测装置设在抛光盘上以用于检测保持环与抛光盘以及抛光件与抛光盘之间的压力分布，调节装置根据压力分布检测装置的检测信息调节保持环。根据本发明的化学机械抛光设备，能够保证抛光件抛光后的面形精度，提高抛光效果。
抛光件抛光盘化学机械抛光设备压力分布检测装置调节装置夹片组件检测信息抛光效果压力分布抛光环调节环调整拉杆面形压杆检测保证