[发明专利]电源网络及其布线方法有效

专利信息
申请号: 202110176213.X 申请日: 2018-09-07
公开(公告)号: CN112928096B 公开(公告)日: 2023-05-09
发明(设计)人: 林哲民;孙磊;李冰 申请(专利权)人: 上海兆芯集成电路有限公司
主分类号: H01L23/528 分类号: H01L23/528;H01L23/50;G06F30/392;G06F30/394;H02M1/088
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 201203 上海市张*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 电源 网络 及其 布线 方法
【说明书】:

本发明公开一种电源网络及其布线方法,该电源网络包括多个电源开关单元,设置于第一半导体层,该多个电源开关单元沿第一方向排成列,沿第二方向排成行。偶数行的该电源开关单元在该第一方向对齐于奇数行的该电源开关单元中相邻两个的水平间隔的中心点。偶数列的该电源开关单元在该第二方向对齐于奇数列的该电源开关单元中相邻两个的垂直间隔的中心点。该种电源网络还包括多条第二连接线,设置于第四半导体层,沿该第二方向延伸,该第二连接线以该电源开关单元中一个的宽度为间隔排布,其中该电源开关单元中一个的上下边缘分别与所述第二连接线中的相邻两条相连,以及该第一半导体层与该第四半导体层相交。

本申请是中国发明专利申请(申请号:201811041795.5,申请日:2018年09月07日,发明名称:电源网络及其布线方法)的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种电源网络,特别是涉及可以减少电阻压降(IR-Drop)的电源网络。

背景技术

半导体集成电路产业已经经历了快速的成长。在集成电路发展过程中,当几何尺寸(例如:用制作工艺可作出的最小部件(或线路))下降时,功能密度(例如:每一芯片区域的相连元件数量)通常都会增加。此微缩过程通过增加生产效率及降低相关成本提供了优势。

随着功能密度增加,集成电路的功率消耗也增加。为了降低功率消耗,集成电路的低功率电路布线成为关键。在现有的低功率电路布线中,通过在集成电路中加入电源开关单元,以控制集成电路的电源域(power domain)的电源。通过电源开关单元关闭闲置电源域的电源,以减少集成电路的漏电流所引起的功率消耗。然而,在集成电路中加入电源开关单元时,通常并没有考虑到电路的电阻压降。

发明内容

本发明实施例提供一种电源网络,包括多个电源开关单元,设置于第一半导体层,沿第一方向排成多列,沿第二方向排成多行。其中偶数行的上述电源开关单元在上述第一方向对齐于奇数行的上述电源开关单元中相邻两个的水平间隔的中心点,偶数列的上述电源开关单元在上述第二方向对齐于奇数列的上述电源开关单元中相邻两个的垂直间隔的中心点。该种电源网络还包括多条第二连接线,设置于第四半导体层,沿上述第二方向延伸,该第二连接线以上述电源开关单元中每一个的宽度为间隔排布,其中上述电源开关单元中的每一个的上下边缘分别与所述第二连接线中的相邻两条相连。其中上述第一半导体层与上述第四半导体层相交。

本发明实施例还提供一种电源网络的布线方法,包括通过一处理器读取在一存储装置中的一第一集成电路布局;通过一处理器读取在一存储装置中的一第一集成电路布局;通过上述处理器分析上述第一集成电路布局,以定义出电源域;通过上述处理器配置多个电源开关单元到上述电源域中一个的第一半导体层,该电源开关单元沿第一方向排成多列,沿第二方向排成多行;其中偶数行的上述电源开关单元在上述第一方向对齐于奇数行的上述电源开关单元中相邻两个的水平间隔的中心点;其中偶数列的上述电源开关单元在上述第二方向对齐于奇数列的上述电源开关单元中相邻两个的垂直间隔的中心点;通过上述处理器根据上述电源开关单元配置多条第二连接线至上述多个电源域中该个的第四半导体层,该第二连接线沿上述第二方向延伸,并以上述电源开关单元中每一个的宽度为间隔排布;其中上述电源开关单元中的每一个的上下边缘分别与所述第二连接线中的相邻两条相连;以及其中上述第一半导体层与上述第四半导体层相交。

附图说明

本发明从后续实施例以及附图可以更佳理解。需知示意图为范例,并且不同特征并无示意于此。不同特征的尺寸可能任意增加或减少以清楚论述。

图1A为本发明实施例的一集成电路布局的示意图;

图1B为本发明实施例的在一个电源域中的至少一层半导体以及对应的电源开关单元的示意图;

图1C及图1D为本发明实施例的一电源网络的示意图;

图2为本发明实施例的关于制造具有电源网络的集成电路装置的集成电路制造系统及相关制造流程示意图;

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