[发明专利]一种图形衬底及其制作方法以及LED结构及其制作方法

权利要求书

1.一种图形衬底，其特征在于，所述图形衬底包括：

衬底；

形成在所述衬底上方的网状图形结构，所述网状图形结构包括若干个周期性排布的图形结构组成，相邻的图形结构之间形成磊晶区，所述磊晶区相互间隔分布，所述磊晶区的宽度小于或等于0.1μm，且所述磊晶区的面积占所述衬底表面积的比例小于7％；除了形成相互间隔分布的所述磊晶区之外，若干个所述图形结构紧密相连，形成连续的网状结构；

所述图形结构包括形成于所述衬底表面的第一部分以及形成在所述第一部分上方的第二部分。

2.根据权利要求1所述的图形衬底，其特征在于，所述磊晶区形成在相邻的图形结构的边与边之间，并且在每一个图形结构中，所述磊晶区位于所述图形结构的不相邻的边处。

3.根据权利要求1所述的图形衬底，其特征在于，所述磊晶区形成在相邻的图形结构的角与角之间。

4.根据权利要求2所述的图形衬底，其特征在于，所述磊晶区形成为长条状。

5.根据权利要求3所述的图形衬底，其特征在于，所述磊晶区形成为三角形或“Y”型结构。

6.根据权利要求5所述的图形衬底，其特征在于，所述图形结构第一部分的横截面积大于等于所述图形结构第二部分的底部的横截面积。

7.根据权利要求5所述的图形衬底，其特征在于，所述图形结构第一部分形成为多边台面，所述图形结构第二部分形成为横截面积自底部向顶部逐渐减小的结构。

8.据权利要求5所述的图形衬底，其特征在于，所述图形结构第二部分为多棱锥或多棱台。

9.根据权利要求5所述的图形衬底，其特征在于，所述图形结构第一部分的高度占整个所述图形结构高度的范围介于0％～100％。

10.根据权利要求5所述的图形衬底，其特征在于，形成所述图形结构的第一部分和第二部分的材料不同，其中形成所述图形结构的第一部分的材料与所述衬底的材料相同。

11.根据权利要求10所述的图形衬底，其特征在于，形成所述图形结构第二部分的材料为形核抑制材料，形成的所述形核抑制材料为透明不吸光材料，所述透明不吸光材料材料选自SiO₂、SiN、Si₂N、Si₂N₃、Si₃N₄、MgF₂、CaF₂、Al₂O₃、SiO、TiO₂、Ti₃O₅、Ti₂O₃、TiO、Ta₂O₅、HfO₂、ZrO₂、Nb₂O₅、MgO、ZnO、Y₂O₃、CeO₂、CeF₃、LaF₃、YF₃、BaF₂、AlF₃、Na₃AlF₆、Na₅Al₃F₁₄、ZnS、ZnSe中的一种或多种。

12.一种LED结构，其特征在于，所述LED结构包括外延衬底以及形成在所述外延衬底表面的外延层，所述外延衬底为权利要求1～11中任一项所述的图形衬底，所述外延层形成在所述图形衬底具有所述图形结构的一面上。