[实用新型]半导体产品的封装键合治具有效
申请号: | 201921858592.5 | 申请日: | 2019-10-31 |
公开(公告)号: | CN210296302U | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 周正勇;陈明;原江伟;郑忠庆;陈兴阳;张雪龙;王毅 | 申请(专利权)人: | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/603 | 分类号: | H01L21/603;H01L21/67 |
代理公司: | 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 32283 | 代理人: | 郭翔 |
地址: | 225008 江苏省扬*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 产品 封装 键合治具 | ||
半导体产品的封装键合治具。本实用新型涉及半导体封装打线工艺,尤其涉及半导体产品的封装键合治具。提供了结构紧凑合理,加工简便,压合效果好,降低键合不良的半导体产品的封装键合治具。本实用新型中包括引线框底座和压板;压板上设有若干与封装产品适配的压孔;压孔内位于封装产品的连筋的上方设有若干与压孔的内侧壁固定连接的触角,触角位于封装产品的连筋的上方;在键合治具的压板设计上增加若干压合触角,产品在封装键合时,使上压板能有效的压合到引线框底座上,保证压合牢固。本实用新型具有结构紧凑合理,加工简便,压合效果好,降低键合不良等特点。
技术领域
本实用新型涉及半导体封装打线工艺,尤其涉及半导体产品的封装键合治具。
背景技术
传统的半导体封装打线产品,封装键合被称为最重要也是最难的一道环节。究其原因:一方面是打线工艺复杂,对原辅材料的要求高;另一方面是其因为由于不同产品的结构,打线方式,使有些封装键合产品在使用普通键合治具时,如图5所示,会有压合不好的问题,导致大量键合不良的产生;所以针对该问题,需要有专用的键合治具进行配合。
图5为普通键合治具的结构示意图,图6是图5键合治具下布设产品时,键合治具其中一个压孔压合产品的结构示意图,图7是该产品的封装键合打线图,从打线图中可以看出,该模块有A,B,C,3颗芯片组成,承载3颗芯片的引线框底座通常有一个连筋,如果使用普通的键合治具(如图6为压合时的效果图)压合,在封装键合压合时,极易出现引线框底座远离压板的一边翘曲的现象,从而导致出现键合不良(线打不上或连接线的粘合强度不够)的问题。
实用新型内容
本实用新型针对以上问题,提供了结构紧凑合理,加工简便,压合效果好,降低键合不良的半导体产品的封装键合治具。
本实用新型的技术方案是:包括引线框底座和与所述引线框底座适配的压板;所述压板上设有若干与封装产品适配的压孔;所述压孔内位于封装产品的连筋的上方设有若干与所述压孔的内侧壁固定连接的触角;所述触角的底部与压孔的底部齐平。
所述触角为三个,分别为触角一、触角二和触角三;
所述触角一位于封装产品的A芯片的连筋一的上方;
所述触角二位于封装产品的C芯片的连筋二的上方;
所述触角三位于封装产品的B芯片的连筋三的上方。
所述触角一与所述压孔的圆弧角一固定连接。
所述触角二与所述压孔的圆弧角二固定连接。
所述触角三与所述压孔的圆弧角三固定连接。
本实用新型中包括引线框底座和压板;压板上设有若干与封装产品适配的压孔;压孔内位于封装产品的连筋的上方设有若干与压孔的内侧壁固定连接的触角,触角位于封装产品的连筋的上方;在键合治具的压板设计上增加若干压合触角,产品在封装键合时,使上压板能有效的压合到引线框底座上,保证压合牢固。本实用新型具有结构紧凑合理,加工简便,压合效果好,降低键合不良等特点。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图,
图2是图1的俯视结构示意图,
图3是压合状态时压孔的结构示意图,
图4是键合压板的压孔的结构示意图,
图5是现有技术中键合压板的结构示意图,
图6是采用现有技术中的键合压板压合状态时的结构示意图,
图7是产品封装键合打线的结构示意图,
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造