[发明专利]芯片封装结构及其制造方法有效
申请号: | 201710982289.5 | 申请日: | 2017-10-20 |
公开(公告)号: | CN107978584B | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 王启安;徐宏欣 | 申请(专利权)人: | 力成科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/495;H01L25/065;H01L21/60 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马雯雯;臧建明 |
地址: | 中国台湾新竹县*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 封装 结构 及其 制造 方法 | ||
本发明提供一种芯片封装结构及其制造方法,其包括线路载板、第一芯片、支线架、多个第一导电连接件、第一密封体以及封装件。第一芯片设置于线路载板上。第一芯片具有主动面以及相对于主动面的晶背,且主动面面向线路载板。支线架位于第一芯片的晶背上,且支线架具有多个开口。第一导电连接件位于线路载板上,且第一导电连接件对应于开口设置。第一密封体位于线路载板与支线架之间且包封第一芯片。封装件设置于支线架上且通过第一导电连接件电连接至线路载板。
技术领域
本发明涉及一种芯片封装结构及其制造方法,尤其涉及一种具有支线架的芯片封装结构及其制造方法。
背景技术
近年来,符合市场需求的电子设备以及制造技术的提升正在蓬勃地发展。考量到电脑(computer),通讯(communication)以及消费(consumer)等3C电子产品的便携性以及其不断成长的需求,传统的单芯片封装结构已逐渐不符合市场的需求。也就是说,于产品设计的时候,必须考虑到轻、薄、短、小、紧密度、高密度以及低成本的趋势。因此,有鉴于对轻、薄、短、小以及紧密度的需求,以不同的方式堆叠具有各种功能的集成电路(integratedcircuits;IC),以减少封装产品的尺寸以及厚度,已成为封装市场的主流策略。目前,具有封装层叠(package on package;POP)结构的封装产品乃是为了此趋势而研究开发。
然而,在一般封装层叠结构的封装产品的制造过程中,常需要通过不同的机台设备或工艺以将不同的电子元件彼此电连接。如此一来,常会造成良率(yield)或可靠性(reliability)的降低,也会降低生产率(throughput)且增加生产成本。因此,如何进一步提升封装结构的良率及产品的可靠度,且可以提升生产率且降低生产成本,实已成目前亟欲解决的课题。
发明内容
本发明提供一种芯片封装结构,其具有较佳的良率或可靠性以及较低的生产成本。
本发明更提供一种芯片封装结构的制造方法,其可以提升生产率且在工艺上具有较大的工艺裕度(process window),而可以提升芯片封装结构的生产率和/或良率,并且降低了芯片封装结构的生产成本。
本发明提供一种封装结构,其包括线路载板、第一芯片、支线架、多个第一导电连接件、第一密封体以及封装件。第一芯片设置于线路载板上。第一芯片具有主动面以及相对于主动面的晶背,且主动面面向线路载板。支线架位于第一芯片的晶背上,且支线架具有多个开口。第一导电连接件位于线路载板上,且第一导电连接件对应于开口设置。第一密封体位于线路载板与支线架之间且包封第一芯片。封装件设置于支线架上且通过第一导电连接件电连接至线路载板。
在本发明的一实施例中,支线架的支线架表面、各个第一导电连接件的顶面与第一密封体的密封体表面齐平。
在本发明的一实施例中,支线架的开口与第一芯片不重叠。
本发明提供一种封装结构的制造方法。本方法包括至少以下步骤。设置第一芯片于线路载板上,其中第一芯片具有主动面以及相对于主动面的晶背,且主动面面向线路载板。设置支线架于第一芯片的晶背上,且支线架具有多个开口。于线路载板上形成多个接线,且多个接线穿过对应的多个开口。在形成多个接线之后,于线路载板与支线架之间形成第一密封体,以包封第一芯片。移除部分的多个接线,以形成多个第一导电连接件。在支线架上设置封装件,且封装件通过多个第一导电连接件电连接至线路载板。
在本发明的一实施例中,形成第一密封体的步骤包括:在线路载板上形成第一密封材料,其中第一密封材料位于线路载板与支线架之间且包封第一芯片、支线架以及接线。移除部分的第一密封材料,以暴露出支线架以及接线,而形成第一密封体。
在本发明的一实施例中,接线通过引线接合方式形成。
在本发明的一实施例中,形成多个接线的步骤包括:将键合头伸入对应的开口。通过键合头以使导电材料与线路载板接触。将供应导电材料的键合头伸出对应的开口,以形成对应的接线。
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