[发明专利]芯片封装结构及其制造方法有效
| 申请号: | 201710975918.1 | 申请日: | 2017-10-19 |
| 公开(公告)号: | CN107978570B | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
| 发明(设计)人: | 王启安;徐宏欣;张文雄 | 申请(专利权)人: | 力成科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/50;H01L21/56 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马雯雯;臧建明 |
| 地址: | 中国台湾新竹县*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 芯片 封装 结构 及其 制造 方法 | ||
1.一种芯片封装结构,其特征在于,包括:
重布线路层,包括彼此相对的第一表面以及第二表面;
至少一芯片,配置在所述第一表面上且与所述重布线路层电性连接;
补强框,配置在所述第一表面上且包括至少一贯穿槽,其中所述芯片配置于所述贯穿槽中,且所述补强框的刚性大于所述重布线路层的刚性;
密封体,密封所述芯片以及所述补强框且覆盖所述第一表面;以及
多个焊球,配置在所述第二表面上,且所述焊球与所述重布线路层电性连接,其中:
所述补强框具有底表面,所述底表面为所述补强框最接近所述重布线路层的表面;
所述密封体完全覆盖所述补强框的所述底表面以外的其他表面;且
所述至少一芯片的数量为多个芯片,所述至少一贯穿槽的数量为多个贯穿槽,所述多个芯片分别配置于所述多个贯穿槽中,所述补强框还包括多个通道,所述多个通道配置在所述补强框的多个侧壁上,所述多个通道与所述多个贯穿槽相通。
2.根据权利要求1所述的芯片封装结构,其特征在于,所述补强框的所述底表面还包括黏着层。
3.根据权利要求1所述的芯片封装结构,其特征在于,所述补强框还包括至少一分隔壁,所述分隔壁配置于任两相邻的所述贯穿槽之间以定义所述贯穿槽,且至少一所述多个通道配置于所述分隔壁上。
4.一种芯片封装结构的制造方法,其特征在于,包括:
在载板上配置至少一芯片;
在所述载板上配置补强框,其中所述补强框包括至少一贯穿槽,且所述芯片配置于所述贯穿槽中,其中
所述至少一芯片的数量为多个芯片,所述至少一贯穿槽的数量为多个贯穿槽,所述多个芯片分别配置于所述多个贯穿槽中,所述补强框还包括多个通道,所述多个通道配置在所述补强框的多个侧壁上,所述多个通道与所述多个贯穿槽相通;
形成密封体以密封所述芯片以及所述补强框并覆盖所述载板;
移除所述载板以暴露出所述密封体、所述芯片以及所述补强框的底表面;
在所述密封体、所述芯片以及所述补强框的所述底表面上形成重布线路层,其中所述补强框的刚性大于所述重布线路层的刚性,且所述底表面为所述补强框最接近所述重布线路层的表面;以及
在所述重布线层上形成多个焊球,所述焊球与所述重布线路层电性连接,其中:
在形成所述焊球后,所述密封体完全覆盖所述补强框的所述底表面以外的其他表面。
5.根据权利要求4所述的芯片封装结构的制造方法,其特征在于,在所述载板上配置所述补强框的步骤包括:
在所述载板上配置黏着层;以及
在所述黏着层上配置所述补强框,以使得所述补强框贴附在所述载板上。
6.根据权利要求4所述的芯片封装结构的制造方法,其特征在于,所述补强框还包括至少一分隔壁,所述分隔壁配置于任两相邻的所述贯穿槽之间以定义所述贯穿槽,且至少一所述多个通道配置于所述分隔壁上。
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