[发明专利]包括抗静电芯片附连材料的半导体器件在审

专利信息
申请号: 201710111548.7 申请日: 2017-02-28
公开(公告)号: CN107146776A 公开(公告)日: 2017-09-08
发明(设计)人: V·施特鲁茨;F-P·卡尔茨;R·M·沙勒 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H01L23/24 分类号: H01L23/24;H01L23/495;H01L21/50;H01L21/58
代理公司: 永新专利商标代理有限公司72002 代理人: 周家新,蔡洪贵
地址: 德国瑙伊*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 包括 抗静电 芯片 材料 半导体器件
【权利要求书】:

1.一种半导体器件,包括:

衬底;

半导体芯片;以及

位于所述衬底与所述半导体芯片之间的抗静电芯片附连材料,所述抗静电芯片附连材料包括非导电粘合剂材料与炭黑或石墨的混合物。

2.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述抗静电芯片附连材料具有101Ω·cm与1010Ω·cm之间的电阻率。

3.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述抗静电芯片附连材料包括1%与20%重量比之间的炭黑或石墨。

4.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述衬底包括引线框架。

5.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述非导电粘合剂材料包括环氧树脂。

6.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述抗静电芯片附连材料包括芯片附连膜。

7.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述抗静电芯片附连材料包括后侧涂层。

8.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述半导体芯片包括磁场传感器。

9.一种半导体器件,包括:

包括导电材料的衬底;

绝缘体;

半导体芯片;

位于所述衬底与所述绝缘体之间的第一抗静电芯片附连材料;以及

位于所述绝缘体与所述半导体芯片之间的第二抗静电芯片附连材料,

其中,所述第一和第二抗静电芯片附连材料包括非导电粘合剂材料与炭黑或石墨片的混合物。

10.根据权利要求9所述的半导体器件,其中,所述第一和第二抗静电芯片附连材料具有101Ω·cm与1010Ω·cm之间的电阻率。

11.根据权利要求9所述的半导体器件,其中,所述第一和第二抗静电芯片附连材料包括1%与10%重量比之间的炭黑或石墨片。

12.根据权利要求9所述的半导体器件,其中,所述衬底包括引线框架。

13.根据权利要求9所述的半导体器件,其中,所述非导电粘合剂材料包括环氧树脂。

14.根据权利要求9所述的半导体器件,其中,所述第一和第二抗静电芯片附连材料包括芯片附连膜。

15.根据权利要求9所述的半导体器件,其中,所述半导体芯片包括磁场传感器,以便感测流过衬底的电流。

16.根据权利要求9所述的半导体器件,其中,所述绝缘体包括玻璃、体硅或陶瓷。

17.一种用于制造半导体器件的方法,所述方法包括:

将第一抗静电材料施加到第一衬底上,所述第一抗静电材料包括非导电粘合剂材料与炭黑或石墨片的混合物;

将半导体芯片放置到所述第一抗静电材料上;以及

固化所述第一抗静电材料,以便将所述半导体芯片附连至所述衬底。

18.根据权利要求17所述的方法,还包括:

将所述非导电粘合剂材料与所述炭黑或石墨片混合,以便提供具有101Ω·cm与1010Ω·cm之间的电阻率的第一抗静电材料。

19.根据权利要求17所述的方法,还包括:

将所述非导电粘合剂材料与1%与2%重量比之间的炭黑或石墨片混合,以便提供所述第一抗静电材料。

20.根据权利要求17所述的方法,其中,所述第一衬底包括绝缘衬底,所述方法还包括:

将第二抗静电材料施加到包括导电材料的第二衬底上,所述第二抗静电材料包括非导电粘合剂材料与炭黑或石墨片的混合物;

将所述第一衬底放置到所述第二抗静电材料上;以及

固化所述第二抗静电材料,以便将所述第一衬底附连至所述第二衬底。

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