[发明专利]包含天线层的半导体封装件及其制造方法有效
申请号: | 201710014320.6 | 申请日: | 2014-03-07 |
公开(公告)号: | CN107068657B | 公开(公告)日: | 2019-07-30 |
发明(设计)人: | 颜瀚琦;陈士元;赖建伯;郑铭贤 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/66 | 分类号: | H01L23/66;H01L21/56;H01L23/538;H01L23/552;H01L25/16;H01L23/498 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 骆希聪 |
地址: | 中国台湾高雄市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包含 天线 半导体 封装 及其 制造 方法 | ||
一种包含天线层的半导体封装件及其制造方法。半导体封装件包括基板、半导体芯片、封装体及天线层。半导体芯片设于基板。封装体包覆半导体芯片且包括上表面。天线层形成于封装体的上表面,天线层包括一馈入层与一辐射层,且辐射层透过一第一波导槽与馈入层隔离。
本申请是2014年3月7日申请的,申请号为201410082789.X,发明名称为“包含天线层的半导体封装件及其制造方法”的中国发明专利申请的分案申请。
技术领域
本发明是有关于一种半导体封装件及其制造方法,且特别是有关于一种具有天线层的半导体封装件及其制造方法。
背景技术
无线通讯装置,例如是手机,一般包括天线以传输或接收无线射频(radiofrequency,RF)信号。传统上,无线通讯装置包括天线及通讯模块,各设于电路板的不同部位。在传统的实施例中,天线及通讯模块分别制造,并于设置在电路板后再电性连接彼此。如此将导致二个元件的制造成本,此外,也难以降低装置尺寸而达到产品的小型化。此外,天线与通讯模块之间的RF信号传输路径较长,而降低天线与通讯模块之间的信号传输品质。
发明内容
根据本发明一方面,提出一种半导体封装件。一实施例中,半导体封装件包括一基板、一半导体芯片、一封装体及一天线层。半导体芯片设于基板。封装体包覆半导体芯片且包括一上表面。天线层形成于封装体的上表面,天线层包括一馈入层与一辐射层,且辐射层透过一第一波导槽与馈入层隔离。
根据本发明另一方面,提出一种半导体封装件。一实施例中,半导体封装件包括一基板、一半导体芯片、一第一封装体、一第二封装体及一天线层。半导体芯片设于基板。第一封装体包覆半导体芯片。第二封装体覆盖第一封装体。天线层,形成于第二封装体上,天线层包括一馈入层与一辐射层,且辐射层透过一第一波导槽与馈入层隔离。
根据本发明另一方面,提出一种半导体封装件的制造方法。一实施例中,制造方法以下步骤。设置一半导体芯片于一基板;形成一封装体包覆半导体芯片;形成一天线层于半导体封装件的一上表面,其中天线层电性连接于半导体芯片;以及,形成二彼此连接的天线槽组于天线层,其中各天线槽组包括一馈入层与一辐射层,且辐射层透过一第一波导槽与馈入层隔离。
为了对本发明的上述及其他方面有更佳的了解,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下:
附图说明
图1A绘示依照本发明一实施例的半导体封装件的剖视图。
图1B绘示图1A的俯视图。
图2A绘示依照本发明另一实施例的半导体封装件的俯视图。
图2B绘示图2A中沿方向2B-2B’的剖视图。
图3绘示另一实施例的天线层的俯视图。
图4绘示图3的半导体封装件的天线层的E平面的场形图。
图5A绘示依照本发明另一实施例的半导体封装件的剖视图。
图5B绘示图5A的俯视图。
图6绘示依照本发明另一实施例的俯视图。
图7绘示依照本发明另一实施例的半导体封装件的俯视图。
图8绘示依照本发明另一实施例的半导体封装件的俯视图。
图9绘示依照本发明另一实施例的半导体封装件的俯视图。
图10绘示依照本发明另一实施例的半导体封装件的俯视图。
图11绘示依照本发明另一实施例的半导体封装件的俯视图。
图12A至12K绘示图1A的半导体封装件的制造过程图。
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