[发明专利]半导体装置和半导体装置的设计方法有效
| 申请号： | 201310443327.1 | 申请日： | 2013-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN103715169A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 北浦智靖 | 申请（专利权）人： | 富士通半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/50 | 分类号： | H01L23/50;G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朱胜;陈炜 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 装置 设计 方法 | ||
1.一种半导体装置，包括：
第一信号线，形成在半导体基板上所形成的第一配线层中，并且沿第一方向布置；
第一和第二屏蔽线，形成在所述第一配线层中，沿所述第一方向布置在所述第一信号线的两侧，并且被赋予第一固定电位；以及
多条第三屏蔽线，形成在所述半导体基板上所形成的第二配线层中，以第一配线宽度和第一配线间隔、沿几乎垂直于所述第一方向的第二方向、以与所述第一信号线以及所述第一和第二屏蔽线中的每一条部分重叠的方式布置，并且被赋予所述第一固定电位。
2.根据权利要求1所述的半导体装置，
其中，所述多条第三屏蔽线连接至所述第一和第二屏蔽线中的至少任一条。
3.根据权利要求1所述的半导体装置，包括：
第二信号线，在所述第二配线层中沿所述第二方向、以与所述第一信号线以及所述第一和第二屏蔽线中的每一条部分重叠的方式来布置。
4.根据权利要求3所述的半导体装置，
其中，所述第二信号线和所述多条第三屏蔽线以所述第一配线间隔布置。
5.根据权利要求1所述的半导体装置，
其中，所述第一信号线是时钟信号线。
6.一种由计算机执行的半导体装置的设计方法，所述方法包括：
通过使用所述计算机来在第一配线层中沿第一方向、在第一信号线的两侧布置第一和第二屏蔽线；以及
通过使用所述计算机来在第二配线层中以第一配线宽度和第一配线间隔、沿几乎垂直于所述第一方向的第二方向、以与所述第一信号线以及所述第一和第二屏蔽线中的每一条部分重叠的方式来布置多条第三屏蔽线。
7.根据权利要求6所述的半导体装置的设计方法，
其中，针对所述多条第三屏蔽线布置与所述第一和第二屏蔽线中的至少任一条的触点。
8.根据权利要求6所述的半导体装置的设计方法，
其中，在所述第二配线层中沿第二方向、以与所述第一信号线以及所述第一和第二屏蔽线中的每一条部分重叠的方式布置所述第二信号线，并且
其中，在未布置有所述第二信号线的区域中布置所述多条第三屏蔽线。
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