[发明专利]电子元件封装体及其制作方法有效
申请号: | 200810109132.2 | 申请日: | 2008-05-23 |
公开(公告)号: | CN101587903A | 公开(公告)日: | 2009-11-25 |
发明(设计)人: | 林佳升;黄郁庭;赖志隆 | 申请(专利权)人: | 精材科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L23/48;H01L21/60 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子元件 封装 及其 制作方法 | ||
技术领域
本发明有关于一种电子元件封装体(electronics package),特别是有关于一种利用晶片级封装(wafer scale package;WSP)工艺制作的电子元件封装体及其制作方法。
背景技术
光感测集成电路在获取影像的光感测元件中扮演着重要的角色,这些集成电路元件均已广泛地应用于例如是数码相机(digital camera;DC)、数字摄录像机(digital recorder)和手机(cell phone)等的消费电子元件和携带型电子元件中。
图1显示一种已知的影像感测元件(image sensor)封装体1的剖面图。在图1中,显示有基底2,其上方形成有感光元件4及接合垫6,以及盖板8设置于上述基底2的上方。又如图1所示,承载板9贴合至基底2,以及焊球12设置于此承载板9的背面上,且通过导电层10电性连接接合垫6。上述感光元件4可通过其正面感应穿过盖板8的光,以产生信号,且通过导电层10将此信号传递至焊球12及外部电路。
发明内容
本发明的实施例提供一种电子元件封装体。上述电子元件封装体,包含:半导体芯片,具有第一基底、与此第一基底间隔一既定距离的支撑块,以及接合垫,该接合垫具有一表面,其横跨于第一基底与支撑块上。在另一实施例中,上述第一基底,具有第一表面及相对的第二表面,其中此第二表面作为受光面,而第一表面作为背光面,且包含感光元件区。上述电子元件封装体,可还包含:第二基底,接合至第一基底的背光面;第一封装层,覆盖上述第一基底的受光面;第二封装层,覆盖上述第二基底;导线层,形成于上述第二封装层上,且延伸至接合垫及支撑块的侧面上,以电性连接接合垫;以及导电凸块,设置于上述第二封装层上,且电性连接上述导线层。
在上述电子元件封装体中,由于,在支撑块与第一基底之间有绝缘层,由此以隔离支撑块与第一基底,并且上述接合垫会横跨于此绝缘层上。因此,形成于支撑块侧面上的导线层并不会影响感光元件。再者,由于,上述电子元件具有支撑块,其可增加导线层与接合垫间的结构强度(T接触的结构强度)。由此,可增强上述电子元件封装体整体的结构强度。
本发明另一实施例提供一种电子元件封装体的制作方法。上述电子元件封装体的制作方法,包含:提供晶片,其具有包含多个管芯区的基底,以承载或形成多颗半导体芯片,且多个接合垫形成于此基底上,以及对此基底进行晶片级封装工艺,包含:图案化此基底,以在每个管芯区隔离出支撑块,使此支撑块与基底间隔一既定距离,并暴露接合垫。上述制作方法还包含通过上述图案化步骤,形成图案开口于基底之中,以暴露接合垫。
在上述制作方法中,半导体芯片包含光电元件,且晶片级封装工艺,还包含:以此基底为第一基底,其具有第一表面及相对的第二表面,其中第一表面作为背光面,而第二表面作为出光面或受光面;设置第一封装层,以覆盖上述第一基底的出光面或受光面;接合此第一基底的背光面至第二基底;以及,沿着两管芯区间的预定切割道的位置,分离此第二基底,以形成多个对应管芯区的承载板。
在上述制作方法中,晶片级封装工艺,还包含:形成绝缘层,以至少包覆上述承载板的侧面;设置第二封装层,以覆盖此第二基底及绝缘层;在两管芯区间的预定切割道的位置,形成通道凹口,并暴露第一封装层的表面;形成导线层于上述第二封装层上,且沿着上述通道凹口,延伸至接合垫与支撑块的侧面上,以电性连接接合垫;设置导电凸块于上述第二封装层上,且电性连接导线层;以及沿上述预定切割道,分离第一封装层。
在上述电子元件封装体的制作方法中,由于,上述图案开口可同时隔离光电元件及提供检测光电元件的开口,因而不需要额外的隔离或制作开口的步骤,因此,可缩短及简化制作流程。
附图说明
图1显示一种已知的影像感测元件封装体的剖面图;
图2-11显示根据本发明实施例的制作影像感测元件封装体的示意图;以及
图12显示根据本发明实施例的制作影像感测元件封装体的流程图。
【主要元件符号说明】
1~影像感测元件封装体;
2~基底; 4~感光元件;
6~接合垫; 8~盖板;
9~承载板; 10~导电层;
12~焊球; 100~第一基底;
101~隔离的第一基底;
101a~支撑块; 102~感光元件;
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