专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体集成电路-CN200610108488.5有效
  • 炭田昌哉 - 松下电器产业株式会社
  • 2006-08-01 - 2007-02-07 - H01L27/04
  • 提供一种半导体集成电路,包括:第1极性(P)的第1基板(PWELL1),其被赋予第1基板电位(VBN1);第1极性(P)的第2基板(PWELL2),其被赋予与第1基板电位(VBN1)不同的第2基板电位(VBN2)和与第1极性(P)不同的第2极性(N)的第3基板(NWELL),第1基板(PWELL1)与形成于该基板(PWELL1)上的MOSFET的源极所连接的电源或地分离,第3基板(NWELL)在第1基板(PWELL1)与第2基板(PWELL2)之间与第1及第2基板(PWELL1、PWELL2)相邻配置,在第3基板(NWELL)上形成有电路元件。
  • 半导体集成电路
  • [发明专利]一种沟槽MOSFET器件及其制备方法-CN202310223641.2在审
  • 郑博风;陈显平 - 重庆大学;重庆平创半导体研究院有限责任公司
  • 2023-03-09 - 2023-06-06 - H01L29/78
  • 本发明涉及半导体技术领域,具体公开了一种沟槽MOSFET器件及其制备方法,其中器件包括N型衬底,N型衬底从下至上依次具有N型外延、两个Pwell区,两个Pwell区分别位于N型外延顶部的两侧;Pwell区内具有N+区和第一P+区,N+区和第一P+区位于Pwell区的顶部;两个Pwell区之间还具有两个倒梯形沟槽,倒梯形沟槽的一条斜边与对应的Pwell区和N+区接触;倒梯形沟槽内沉积有栅氧层;倒梯形沟槽内还具有多晶硅栅极区,多晶硅栅极区靠近对应的Pwell区和N+区;倒梯形沟槽外还具有第二P+区;第二P+区之间具有肖特基接触区;第一P+区和N+区顶部具有源极欧姆接触区,N型衬底的底部具有漏极欧姆接触区。
  • 一种沟槽mosfet器件及其制备方法
  • [发明专利]一种底部保护接地沟槽型碳化硅MOSFET及其制备方法-CN202210401048.8有效
  • 张益鸣 - 深圳芯能半导体技术有限公司
  • 2022-04-18 - 2022-07-12 - H01L21/329
  • 本发明提供了一种底部保护接地沟槽型碳化硅MOSFET及其制备方法,其包括:漏极(11),碳化硅衬底(10),碳化硅N外延(9);碳化硅N外延(9)内部上方左侧的Pwell区(5)、中侧的沟槽区(12)、本发明包含Pwell,Ppluswell及PBottomPlus,Pwell和Ppluswell在注入缓冲层的作用下可以使Ppluswell保留了较浓且深的掺杂,兼顾Vth调整及耐击穿的调整;选择性同时刻蚀Pwell和Ppluswell区,得到的沟槽两侧分别是Pwell和Ppluswell,沟槽底部一侧保留部分Ppluswell的区域;基于侧壁保护层,对沟槽底部的Ppluswell进行加浓注入,得到浓掺杂且较深的PBottomPlus;沟槽底部保留的Ppluswell与PBottomPlus具有良好电气连接,保证了相邻的PBottomPlus区域可以接地,夹断Pwell和PlusWell间的强电场,保护拐角处的栅氧
  • 一种底部保护接地沟槽碳化硅mosfet及其制备方法
  • [发明专利]高密度Trench IGBT的制造方法-CN202211551671.8在审
  • 杨涛涛;肖秀光;吕磊;朱辉 - 安徽瑞迪微电子有限公司
  • 2022-12-05 - 2023-04-28 - H01L21/265
  • 本发明公开了一种高密度Trench IGBT的制造方法,包括步骤:S1、提供一衬底;S2、在衬底上制备Pwell注入区;S3、在Pwell注入区制备沟槽,沟槽延伸至衬底;S4、在沟槽内制备栅氧化层;S5、在沟槽内制备多晶硅区;S6、在Pwell注入区上制备Nplus注入区;S7、制备绝缘介质层和正面金属区;S8、制备集电极金属区。本发明的高密度Trench IGBT的制造方法,通过将Pwell注入的工艺顺序提前至栅氧化前完成,可以提高器件RBSOA能力的同时保证阈值稳定。
  • 高密度trenchigbt制造方法
  • [发明专利]用于ESD防护的高维持电流SCR器件-CN201810973512.4有效
  • 乔明;肖家木;齐钊;梁龙飞;何林蓉;梁旦业;张波 - 电子科技大学
  • 2018-08-24 - 2021-01-08 - H01L27/02
  • 本发明提供一种用于ESD防护的高维持电流SCR器件,包括:P型衬底、第一N型外延层、第一PWELL区、第一P+接触区、第一N+接触区、第二PWELL区、第二P+接触区、第三N+接触区;位于第一N型外延层上方且不与第一PWELL区、第二PWELL区相交的第二N+接触区;第一N+接触区与第一P+接触区通过金属短接形成金属阴极;第二P+接触区与第二N+接触区、第三N+接触区通过金属短接形成阳极。本发明可以通过调整第二PWELL区的浓度和长度来调节维持电流,从而避免器件发生闩锁,并使器件IV曲线呈现出多次snapback的特性,提高器件在ESD脉冲电流下的鲁棒性。
  • 用于esd防护维持电流scr器件
  • [发明专利]超结RC-IGBT器件结构-CN202210246452.2在审
  • 程炜涛;姚阳 - 上海埃积半导体有限公司
  • 2022-03-14 - 2022-06-24 - H01L29/06
  • 本发明公开了一种超结RC‑IGBT器件结构,包括横向依次设置的IGBT区、第一隔离区、FRD区和第二隔离区,上述四个区域内均包括正面金属层、背面金属层、绝缘介质层、位于绝缘介质层下方的沟槽,以及位于相邻沟槽之间的Pwell区;在IGBT区内,Pwell区和背面金属层之间由下至上依次设置集电极P+区、N型FS缓冲区和第一N‑基区;在FRD区内,Pwell区和背面金属层之间由下至上依次设置阳极N+区和第二N‑基区;在第一隔离区和第二隔离区内,Pwell区和背面金属层之间由下至上依次设置阳极N+区和P‑区。
  • rcigbt器件结构

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