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- [发明专利]半导体集成电路-CN200610108488.5有效
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炭田昌哉
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松下电器产业株式会社
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2006-08-01
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2007-02-07
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H01L27/04
- 提供一种半导体集成电路,包括:第1极性(P)的第1基板(PWELL1),其被赋予第1基板电位(VBN1);第1极性(P)的第2基板(PWELL2),其被赋予与第1基板电位(VBN1)不同的第2基板电位(VBN2)和与第1极性(P)不同的第2极性(N)的第3基板(NWELL),第1基板(PWELL1)与形成于该基板(PWELL1)上的MOSFET的源极所连接的电源或地分离,第3基板(NWELL)在第1基板(PWELL1)与第2基板(PWELL2)之间与第1及第2基板(PWELL1、PWELL2)相邻配置,在第3基板(NWELL)上形成有电路元件。
- 半导体集成电路
- [发明专利]一种底部保护接地沟槽型碳化硅MOSFET及其制备方法-CN202210401048.8有效
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张益鸣
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深圳芯能半导体技术有限公司
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2022-04-18
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2022-07-12
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H01L21/329
- 本发明提供了一种底部保护接地沟槽型碳化硅MOSFET及其制备方法,其包括:漏极(11),碳化硅衬底(10),碳化硅N外延(9);碳化硅N外延(9)内部上方左侧的Pwell区(5)、中侧的沟槽区(12)、本发明包含Pwell,Ppluswell及PBottomPlus,Pwell和Ppluswell在注入缓冲层的作用下可以使Ppluswell保留了较浓且深的掺杂,兼顾Vth调整及耐击穿的调整;选择性同时刻蚀Pwell和Ppluswell区,得到的沟槽两侧分别是Pwell和Ppluswell,沟槽底部一侧保留部分Ppluswell的区域;基于侧壁保护层,对沟槽底部的Ppluswell进行加浓注入,得到浓掺杂且较深的PBottomPlus;沟槽底部保留的Ppluswell与PBottomPlus具有良好电气连接,保证了相邻的PBottomPlus区域可以接地,夹断Pwell和PlusWell间的强电场,保护拐角处的栅氧
- 一种底部保护接地沟槽碳化硅mosfet及其制备方法
- [发明专利]超结RC-IGBT器件结构-CN202210246452.2在审
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程炜涛;姚阳
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上海埃积半导体有限公司
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2022-03-14
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2022-06-24
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H01L29/06
- 本发明公开了一种超结RC‑IGBT器件结构,包括横向依次设置的IGBT区、第一隔离区、FRD区和第二隔离区,上述四个区域内均包括正面金属层、背面金属层、绝缘介质层、位于绝缘介质层下方的沟槽,以及位于相邻沟槽之间的Pwell区;在IGBT区内,Pwell区和背面金属层之间由下至上依次设置集电极P+区、N型FS缓冲区和第一N‑基区;在FRD区内,Pwell区和背面金属层之间由下至上依次设置阳极N+区和第二N‑基区;在第一隔离区和第二隔离区内,Pwell区和背面金属层之间由下至上依次设置阳极N+区和P‑区。
- rcigbt器件结构
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