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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种碳纤维增强聚醚醚酮环件的加工工艺-CN202310902911.2在审
发明人：惠宏业;姚力军;李易磊;左威;赵梓聿;柏钧天 -专利权人：宁波润平电子材料有限公司
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B23B5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种碳纤维增强聚醚醚酮环件的加工工艺，包括对碳纤维增强聚醚醚酮环件依次进行粗车削和精车削；粗车削中的主轴转速为200‑400r/min；粗车削中的吃刀量为0.2‑0.4mm；粗车削中的进给量为0.1‑0.3mm/r；精车削中的主轴转速为200‑400r/min；精车削中的吃刀量为0.05‑0.07mm；精车削中的进给量为0.07‑0.09mm/r。本发明提供的加工工艺，通过对加工过程参数的设计，使得针对碳纤维增强聚醚醚酮环件进行加工后所得环件产品具有良好的加工效果，使得加工所得环件产品具有优异的平面度，平行度和圆度，进而保证所得环件产品的使用性能。
一种碳纤维增强聚醚醚酮环件加工工艺

[发明专利]一种保持环的预研磨方法-CN202310874991.5在审
发明人：惠宏业;姚力军;宋召东;赵梓聿;左威;柏钧天 -专利权人：宁波润平电子材料有限公司
申请日： 2023-07-17 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种保持环的预研磨方法，所述预研磨方法包括：对所述保持环的塑料面依次进行第一研磨和第二研磨；所述第一研磨中研磨液的流量为12‑18mL/min；所述第二研磨中研磨液的流量为5‑10mL/min。所述预研磨方法对保持环的塑料面采用研磨液流量依次递减的第一研磨和第二研磨，通过对处理过程的特定设计，不仅显著提升了机械化学研磨中的研磨效率，还可以满足晶圆研磨对保持环的表面质量要求。
一种保持研磨方法

[发明专利]一种碳纤维PEEK材料保持环的表面加工方法-CN202310902912.7在审
发明人：惠宏业;姚力军;李易磊;左威;柏钧天;赵梓聿 -专利权人：宁波润平电子材料有限公司
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B23C3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种碳纤维PEEK材料保持环的表面加工方法，所述表面加工方法包括：将碳纤维PEEK材料保持环和夹具进行装配，之后分别对碳纤维PEEK材料保持环的上表面进行第一铣削，下表面进行进行第二铣削。本发明提供的表面加工方法，通过采用特定的加工过程，实现了对初加工后环件的表面加工，使得加工后所得产品的平面度和平行度达到产品的使用要求，避免了环件产品平面度和平行度不合格的问题，所得环件产品的平面度≤0.001mm，平行度≤0.002mm。
一种碳纤维 peek 材料保持表面加工方法

[发明专利]一种化学机械抛光保持环的清洗方法-CN202310926120.3在审
发明人：惠宏业;姚力军;许慷;柏钧天;赵梓聿;左威 -专利权人：宁波润平电子材料有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种化学机械抛光保持环的清洗方法，一方面将IPA清洗液的超声清洗时间延长至10‑20min，避免超声时间短对产品清洗不够彻底的问题，另一方面将每次干燥均采用气枪进行气体吹干，在所述气枪的气管上安装油水分离器，并在所述气管靠近所述气枪的一端安装过滤器，确保用于气体吹干的气体中没有水分、油雾等伤害产品的杂质，相比于现有技术的清洗方法，本发明所述清洗方法能有效改善净化室IPA液超声波清洗过程后真空包装膜内部附着液体的问题，适用于批量产品标准化、规模化、批量化操作，提高产品质量和产品加工效率，避免产品返包率和返修率提升。
一种化学机械抛光保持清洗方法

[实用新型]晶圆抛光头和抛光装置-CN202320650001.5有效
发明人：姚力军;惠宏业;沈有飞;左威;赵梓聿;柏钧天 -专利权人：上海润平电子材料有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B24B37/11 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，尤其涉及一种晶圆抛光头和抛光装置，晶圆抛光头包括顶板，所述顶板呈圆环状；背胶层，所述背胶层设置在所述顶板的上端，所述背胶层与所述顶板的内孔围设形成安装空间；支撑垫，所述支撑垫设置在所述安装空间中，且与所述背胶层粘接，晶圆位于所述安装空间中，所述支撑垫能够与所述晶圆抵接，使得所述晶圆与机台上的研磨材料接触；底板，所述底板与所述顶板设置有背胶层的一侧固定连接，且所述底板与研磨装置的转动轴固定连接，所述底板与所述顶板同轴线设置。本实用新型能够保证装配后抛光头的平面度，从而保证研磨后晶圆的平面度满足要求。
抛光装置

[发明专利]一种化学机械抛光保持环的清洗方法-CN202310625381.1在审
发明人：惠宏业;姚力军;许慷;左威;赵梓聿;柏钧天 -专利权人：宁波润平电子材料有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种化学机械抛光保持环的清洗方法，所述清洗方法在超声清洗之前依次进行一次纯水冲淋、采用清洗剂擦拭和掏洗、二次纯水冲淋，可以有效保证位于SUS面的螺纹孔先被纯水浸润，然后被掏洗，随后被纯水冲洗至少一遍，能够有效清除螺纹孔底部的黑色附着物，适用于批量产品的标准化操作，可以提高产品质量和产品加工效率；而且，本发明所述清洗方法采用多种形式的清洗，对化学机械抛光保持环进行了全方位的清洗操作，提高了化学机械抛光保持环的清洗质量和清洗效果，进而防止了化学机械抛光保持环在使用过程中污染晶圆。
一种化学机械抛光保持清洗方法

[发明专利]吸附膜模具及其开模方法-CN202310329314.5在审
发明人：姚力军;惠宏业;脱博;左威;柏钧天;赵梓聿 -专利权人：上海润平电子材料有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B24D18/00 文献下载
摘要：本发明属于化学机械研磨模具的技术领域，公开了一种吸附膜模具及其开模方法。旨在解决现有的化学机械研磨中的吸附膜开模时强行对其顶出造成拉扯导致破裂的问题。吸附膜模具，包括：模盖、模底、哈夫块、起吊机构和顶出机构；模盖上设置有向侧边倾斜的楔形槽；模底和模盖的中心位置形成有容纳模芯的腔室；哈夫块至少部分卡接于楔形槽内，且哈夫块的一侧面与模芯贴合连接；起吊机构能够与模盖连接，且起吊机构能够向上起吊模盖时同步向侧边移动哈夫块；顶出机构位于模底的下侧，顶出机构能够将模芯分层顶出。通过起吊机构起吊模盖和哈夫块减轻对吸附膜外侧径的撕扯，通过顶出机构将模芯分层顶出，降低吸附膜发生破裂的概率，提高产品的良率。
吸附模具及其方法

[发明专利]一种晶圆机械化学研磨方法-CN202310321883.5在审
发明人：姚力军;惠宏业;沈有飞;左威;赵梓聿;柏钧天 -专利权人：上海润平电子材料有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆机械化学研磨方法，所述晶圆机械化学研磨方法包括：将抛光头的底板和抛光机台转动轴进行组装，之后和晶圆配合进行研磨；所述研磨包括依次进行的第一研磨和第二研磨；所述第一研磨的时间＞所述第二研磨的时间；所述第一研磨中对研磨垫施加的压力＜第二研磨对研磨垫施加的压力；所用抛光头包括底板、背胶、顶板和支撑垫；底板与顶板通过背胶进行连接；支撑垫与背胶连接，设置于顶板的环形结构的空心结构内；顶板的厚度＞支撑垫的厚度；顶板的平面度≤0.15mm；底板与背胶相连接的表面的平面度≤0.05mm。以解决抛光头在机械化学研磨后所得晶圆平面度较低的缺陷，及抛光头进行装配时装配难度高的问题。
一种机械化学研磨方法

[发明专利]一种硅胶复合材料及其制备方法与应用-CN202310068663.6在审
发明人：姚力军;惠宏业;查得志;左威;柏钧天;赵梓聿 -专利权人：上海润平电子材料有限公司
申请日： 2023-02-06 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C08L83/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅胶复合材料及其制备方法与应用，以重量份数计，所述硅胶复合材料的原料包括：第一硅橡胶26‑32份，第二硅橡胶64‑80份，硫化剂15‑25份；所述第一硅橡胶的型号为TSE260‑3U，第二硅橡胶的型号为TSE260‑5U。本发明通过调整合理的制备原料配比，优化硫化工艺参数，并进行二次硫化处理，制得的硅胶复合材料具有优异的力学性能，用其制备的化学机械研磨头背膜具有较好的吸附力和分区保压能力，使用寿命较长。
一种硅胶复合材料及其制备方法应用

[发明专利]一种铝靶材组件及降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法-CN202010501365.8在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;赵梓聿 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-06-04 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝靶材组件及降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法，所述焊接方法包括：提供铝靶材和铝背板；所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板；将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中，之后依次进行抽真空、脱气及热等静压处理，得到所述铝靶材组件。本发明提供的焊接方法，通过对焊接前背板的热处理和酸洗，结合后续的焊接工艺，使得背板的硬度为100‑130HV，电导率为25‑28MS/m，解决了铝靶材组件在使用过程中背板变形的问题。
一种铝靶材组件降低背板变形焊接方法

[发明专利]一种高纯溅射用靶材电子束焊接工装及焊接工艺-CN202010485115.X在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;赵梓聿 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： B23K15/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种高纯溅射用靶材电子束焊接工装及焊接工艺。本发明的高纯溅射用靶材电子束焊接工装，包括机台和挡板，所述机台和所述挡板之间设置有至少两个固定板；所述机台与所述固定板之间、相邻两个所述固定板之间、所述固定板与所述挡板之间形成空间用于放置待焊接高纯铝靶材。将本发明的高纯溅射用靶材电子束焊接工装置于电子束焊接腔体中抽真空焊接，每一次抽真空可完成3枚高纯溅射用铝靶材，以1小时为例，可焊接6枚高纯溅射用铝靶材，效率提升200％，大大的提升了焊接产能。
一种高纯溅射用靶材电子束焊接工装工艺

[发明专利]靶材及其处理方法-CN201711181361.0在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;赵梓聿 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-11-23 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜机技术领域，具体而言，涉及靶材及其处理方法。靶材包括靶材本体，根据靶材溅射时磁场的强弱，在靶材本体上表面向其中心凹陷形成弧面凹槽，以使靶材溅射时靶材原子均匀溅射在基板上，即溅射时靶材原子能够充分向中心聚集，然后靶材原子均匀射向基板，不会因为靶材本体磁场强的地方快速溅射，直接射向基板，使基板上形成的功能膜厚度薄厚不均，可有效提高薄膜方块电阻的薄膜均匀性。靶材处理方法与现有技术相比具有上述的优势，此处不再赘述。
及其处理方法

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