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[发明专利]蒸镀掩模用框架、带框架蒸镀掩模以及蒸镀方法-CN202180025079.1在审
发明人： 若林雅;野本将史 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：提供一种蒸镀掩模用框架，该蒸镀掩模用框架轻量并具有高刚性，且抑制脱气的产生。一个实施方式的蒸镀掩模用框架(50)具备构成为保持蒸镀掩模的框架主体(51)。框架主体是基材以及强化材料均由无机固体材料构成的复合材料。
蒸镀掩模用框架蒸镀掩模以及方法

[发明专利]对准装置-CN202080066846.9在审
发明人： 若林雅;泷本政美;野本将史 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：对准装置具备控制部(4)，其在掩模(11)与基板(12)的铅垂方向上的距离比相机(3)的景深前端距离长的情况下，一边使基板(12)进行高速接近移动一边基于基板标记(121)与掩模标记(112)的距离来调整掩模(11)与基板(12)的水平方向上的位置，在掩模(11)与基板(12)的铅垂方向上的距离为相机(3)的景深前端距离以下的情况下，一边使基板(12)比高速接近移动慢地进行接近移动一边基于基板标记(121)与掩模标记(112)的距离来调整掩模(11)与基板(12)的水平方向上的位置。
对准装置

[发明专利]蒸镀源单元、蒸镀源和蒸镀源用喷嘴-CN202110255176.1在审
发明人：塩野忠久;长田佑介;金子滉明;若林雅;铃木裕二 -专利权人：株式会社昭和真空;株式会社V技术
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：提供一种能够在确保蒸发的蒸镀材料的指向性的同时保持较高的成膜速率的蒸镀源单元、蒸镀源和蒸镀源用喷嘴。蒸镀源单元(1)是一种使蒸镀材料蒸镀到基板的表面上的蒸镀源单元(1)，其具有包括喷出口(21)的喷嘴(20)，所述喷出口(21)喷出加热的蒸镀材料，喷嘴(20)上形成有沿与该喷嘴(20)的延伸方向相同方向延伸的多个孔(20a)，该多个孔(20a)的一端部在喷出口(21)开口，孔(20a)的纵横比为2以上，孔(20a)的长度为分子的平均自由行程的1/5以下。
蒸镀源单元蒸镀源用喷嘴

[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法-CN201310339337.0无效
发明人： 若林雅;加藤升;石泽泰明;图师庵 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-08-06 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：在水平蒸镀型的有机EL膜成膜用蒸镀装置中，极力降低蒸镀源的无意义的蒸镀时间。有机EL膜成膜用的蒸镀装置具备：配置有真空机器人的机器人搬送室；与该机器人搬送室连接的2个蒸镀室；能够放置2张基板且水平收放在蒸镀室内的分度工作台；使分度工作台在水平方向上旋转的旋转单元；以及位于分度工作台的下方，能够在水平方向上移动地配置的蒸镀源。真空机器人能够在蒸镀室与机器人搬送室之间在水平方向搬入、搬出基板，在使用蒸镀源对放置在分度工作台上的2张基板中的一方进行蒸镀时，利用真空机器人将另一方的基板从蒸镀室搬出到机器人搬送室，取而代之将新的基板从机器人搬送室搬入蒸镀室。蒸镀结束后，旋转分度工作台。
装置方法

[发明专利]真空蒸镀方法及其装置-CN201310061001.2无效
发明人： 若林雅;浅田干夫;郑载勋;李相雨 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-02-27 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种提高真空蒸镀中蒸镀材料的利用效率的有机EL器件的真空蒸镀装置及真空蒸镀方法。在有机EL器件的真空蒸镀装置中，为了防止来自蒸发源的加热器的辐射热直接使阴罩过热，而通过在加热器与阴罩之间设置水冷式的冷却板，从而能够使蒸镀源与阴罩的间隔与原来相比更狭窄，提高被蒸发的有机EL材料之中用于向基板上的成膜的比例从而提高蒸镀材料的利用效率。
真空方法及其装置

[发明专利]成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构-CN201310052768.9无效
发明人： 若林雅;加藤升;图师庵;石泽泰明 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-02-18 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明是成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构。提供能够缩小转送室的高度以及处理腔室的高度、且能够缩小闸阀的开口的上下方向的大小的长行程搬运机构。从下方开始第二层的直动轴承的上下两个滚动体保持部背对背地固定安装于基体（第一移动件）上，接下来一层的直动轴承的上下两个轨道轴背对背地固定安装于基体（第二移动件）上，交替地组合第一移动件与第二移动件而形成交叉滚子导向件，在真空中将载置在平板上的基板搬运规定的距离。
装置以及用基板搬运机构

[发明专利]真空蒸镀系统及真空蒸镀方法-CN201310046198.2无效
发明人： 若林雅;加藤升;石泽泰明 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-02-05 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供能够在串联地配置真空搬运腔体与真空蒸镀腔体的真空蒸镀系统中降低材料损失的经济性好的真空蒸镀系统及真空蒸镀方法。本发明是一种真空蒸镀系统，其交替且串联地配置水平搬运工件的真空搬运腔体与对上述工件蒸镀蒸镀材料的真空蒸镀腔体，由具有多个上述真空蒸镀腔体的线构成，互相并列地设置N条上述线，其中N为2以上，上述真空蒸镀腔体是横跨各个上述N条线而设置的N条线真空蒸镀腔体，上述N条线真空蒸镀腔体在每条线上具有对工件进行蒸镀的蒸镀位置，当在上述N条线中的第一线对第一上述工件进行蒸镀期间，在与上述第一线不同的另一线上将第二工件搬出到下游侧的上述真空搬运腔体，并从上游侧的上述真空搬运腔体搬入第三工件。
真空系统方法

[发明专利]有机EL设备制造装置-CN201210325673.5无效
发明人： 若林雅;韮泽信广;弓场贤治;浅田干夫;落合行雄 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2009-08-17 - 公布日： 2013-02-20 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种有机EL设备制造装置，其具有在真空腔内将蒸镀材料蒸镀到基板上的蒸发源和将所述基板和蒸镀位置进行定位的掩模罩。具有这样的蒸镀机构：在所述真空腔内内存有N（N为2以上）张基板，在用所述蒸发源蒸镀第1张的第1基板的时段中，将第N张的第N基板搬入所述真空腔内，在用所述蒸发源蒸镀第2张以后的第2基板的时段中，从所述真空腔内搬出所述第1基板；具有2个将所述基板与掩模罩进行定位的定位部，并且，具有将所述定位部的一个中的进行了所述基板和掩模罩的定位后的基板移动至蒸镀位置的移动机构。
有机 el 设备制造装置

[发明专利]有机EL器件制造装置-CN201210185890.9无效
发明人： 若林雅;韮泽信广;弓场贤治;落合行雄;浅田干夫 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2009-08-17 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种有机EL器件制造装置，其具有作为真空室的设备组，该设备组具备：具备将蒸镀材料蒸镀在衬底上的处理部的真空处理室；将上述衬底搬入或搬出的交接室；以及将上述衬底在上述交接室和上述处理部之间进行搬运的搬运机构，其中，具有与上述交接室不同的搬入衬底的搬入负载室和搬出衬底的搬出负载室中至少一方，再有，在构成将上述衬底从上述搬入负载室向搬出负载室进行搬运的搬运系统的搬运部中，具有在上述搬运部对所搬运的上述衬底的搬运角度进行修正的修正机构。
有机 el 器件制造装置

[发明专利]有机EL设备制造装置和制造方法及成膜装置和成膜方法-CN201110020657.0有效
发明人： 若林雅;韮泽信广;弓场贤治;浅田干夫;落合行雄 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2009-08-17 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种有机EL设备制造装置和制造方法及成膜装置和成膜方法，在该装置和方法中，材料损伤小、经济性好、生产率高、运转率高。本发明的有机EL设备制造装置，其具有搬入基板的搬入装载互锁室、将蒸镀材料蒸镀到所述基板上的至少1台真空腔、搬出所述基板的搬出装载互锁室和从所述搬入装载互锁室向所述搬出装载互锁室搬送所述基板的搬送结构，其特征在于，所述搬送结构将所述基板的蒸镀面作为上表面来进行搬送，在所述搬送结构的至少移动所述基板的结构部中具有握持所述基板的握持单元。
有机 el 设备制造装置方法

[发明专利]有机EL器件制造装置及其制造方法以及成膜装置及成膜方法-CN200910165275.X无效
发明人： 若林雅;韮泽信广;弓场贤治;落合行雄;浅田干夫 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2009-08-17 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种具有设备组构造，能缩短生产线的长度，空间效率高的有机EL器件制造装置或其制造方法，或者成膜装置或成膜方法。其串联设有多个作为真空室的设备组，该设备组具备：具备将蒸镀材料蒸镀在衬底上的处理部的真空处理室，将上述衬底搬入或搬出的交接室，以及将上述衬底在上述交接室和上述多个处理部之间进行搬运的搬运机构；在一个上述真空处理室或多个上述真空处理室中设置多个上述处理部，将上述多个处理部中的至少两个以上的处理部邻接配置在上述搬运机构的一侧；将衬底从搬入负载室搬入，借助于上述设备组，在向搬出负载室搬运的过程中对上述搬运衬底的搬运角度进行修正。
有机 el 器件制造装置及其方法以及

[发明专利]有机EL设备制造装置和其制造方法以及成膜装置和成膜方法-CN200910165277.9无效
发明人： 若林雅;韮泽信广;弓场贤治;浅田干夫;落合行雄 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2009-08-17 - 公布日： 2010-03-10 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种材料损伤小、经济性好、生产率高、运转率高的有机EL设备制造装置和/或其制造方法或成膜装置和/或成膜方法。本发明的有机EL设备制造装置，其特征在于，在真空腔内内存有N(N为2以上)张基板，在用所述蒸发源蒸镀第1张的第1基板的时段中，将第N张的第N基板搬入所述真空腔内，在用所述蒸发源蒸镀第2张的第2基板的时段中，从所述真空腔内搬出所述第1基板，或在蒸镀第1所述基板的时段中，结束第2所述基板的所述定位，通过所述蒸镀时段和同一蒸发源，在蒸镀所述第2基板的时段中，从所述真空腔内搬出所述第1基板。
有机 el 设备制造装置方法以及

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