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[发明专利]光罩基板以及光罩-CN201510861398.2在审
发明人：戴昌铭 -专利权人：冠橙科技股份有限公司
申请日： 2015-12-01 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： G03F1/56 文献下载
摘要：本发明系揭露一种光罩基板，包含透明基板而将曝光光线予以投送于该透明基板之上，以及黑色矩阵光阻层，经配置而包括炭黑分散液、具有胺基的共聚物及/或具有季铵盐的共聚物、含有分散成分的有机溶剂、具有羧基的黏合剂树脂、不饱和单体、以及卤素光的光敏材料或波长范围在480-540纳米的绿光的光敏材料，使得该黑色矩阵光阻层系作为一个单层以作为遮光膜及曝光的感光膜，以及使得该黑色矩阵光阻层的表面经制造而为防止化学处理操作的损伤及机械性刻刮
光罩基板以及

[发明专利]曝光装置及曝光方法-CN201910082883.8在审
发明人：王坦 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：所述曝光装置包括基板载台及设于所述基板载台上方的光罩承载框；所述基板载台用于承载待曝光的基板，所述光罩承载框用于承载光罩，所述基板载台呈往远离所述光罩承载框的方向凹陷的曲面，使得基板置于所述基板载台上时，具有与置于所述光罩承载框中的光罩相同的形变曲率，通过设置曲面的基板载台使得基板置于载台上后产生与光罩相同的形变，从而补偿因光罩形变造成的曝光偏差，提升曝光的均一性。
光罩基板基板载台承载框曝光装置形变曝光承载曲率曝光偏差均一性凹陷

[发明专利]一种发光二极管灯具-CN201010225193.2有效
发明人：邵琛;姜熠;张从峰 -专利权人：艾迪光电(杭州)有限公司
申请日： 2010-07-08 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： F21S2/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种发光二极管灯具，所述灯具包括：由LED光源和LED基板构成的基板光源、基板座、内配光罩、外配光罩、灯座；所述LED基板光源设置在所述基板座顶端；所述内配光罩设置在所述基板座的外侧，所述基板座的外侧壁紧贴所述内配光罩的内侧壁；所述内配光罩的顶端为一与所述基板光源相配合的透明体；所述外配光罩设置在所述内配光罩的外侧，所述外配光罩的内表面与所述内配光罩的外表面形成一密封空腔；所述密封空腔内充满散热液。采用本发明实施例，能够解决发光二极管基板被腐蚀的问题。
一种发光二极管灯具

[实用新型]一种发光二极管灯具-CN201020256865.1有效
发明人：邵琛;姜熠;张从峰 -专利权人：艾迪光电(杭州)有限公司
申请日： 2010-07-08 - 公布日： 2011-07-06 - 主分类号： F21S2/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种发光二极管灯具，所述灯具包括：由LED光源和LED基板构成的基板光源、基板座、内配光罩、外配光罩、灯座；所述LED基板光源设置在所述基板座顶端；所述内配光罩设置在所述基板座的外侧，所述基板座的外侧壁紧贴所述内配光罩的内侧壁；所述内配光罩的顶端为一与所述基板光源相配合的透明体；所述外配光罩设置在所述内配光罩的外侧，所述外配光罩的内表面与所述内配光罩的外表面形成一密封空腔；所述密封空腔内充满散热液。采用本实用新型实施例，能够解决发光二极管基板被腐蚀的问题。
一种发光二极管灯具

[发明专利]用以制造具有可辨识标记的基板的方法-CN200910309824.6有效
发明人：江佳铭;颜思琳;游辉钟 -专利权人：华映光电股份有限公司;中华映管股份有限公司
申请日： 2009-11-16 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明揭露一种用以制造具有可辨识标记的基板的方法，包含：提供一基板；于所述基板上规划至少二基板区域；提供一光罩，所述光罩上四角落各包含预先形成的至少一光罩辨识标记，其中所述光罩的周边范围是大于所述基板的周边范围，且所述些光罩辨识标记包含至少二类型的光罩辨识标记；及利用所述光罩于所述至少二基板区域上分别执行曝光，以于所述至少二基板区域上形成对应至所述些光罩辨识标记的至少八基板辨识标记，并使所述至少八基板辨识标记中至少二基板辨识标记因重复曝光而消失，藉此，在所述至少二基板区域上分别形成有对应至所述至少二类型的光罩辨识标记的所述些基板辨识标记。
用以制造具有辨识标记方法

[发明专利]一种光罩防护结构、光罩基板的包装方法、光刻方法-CN202110032583.6在审
发明人：穆钰平;姜鹏 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-01-11 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种光罩防护结构、光罩基板的包装方法、光刻方法，光罩护膜框的一端固定连接在光罩基板上，另一端连接第一保护膜和第二保护膜，第二保护膜位于第一保护膜远离光罩基板的一侧，第一保护膜为光罩功能膜；第一保护膜在光罩基板的正投影覆盖光罩基板上的掩膜图形，第二保护膜在光罩基板上的正投影覆盖第一保护膜，第一保护膜和第二保护膜在垂直于光罩基板的方向上的距离大于或等于预设值。在光罩功能膜上覆盖第二保护膜，第二保护膜保护光罩功能膜，避免颗粒掉落至光罩功能膜上，且由于光罩功能膜和第二保护膜之间具有一定的间隔，在去除第二保护膜时不会对光罩功能膜造成损伤，保证光罩功能膜能够有效保护掩膜图形
一种防护结构光罩基板包装方法光刻

[实用新型]一种无边框灯具-CN202120801263.8有效
发明人：李潇帆;王林华;陈铄 -专利权人：漳州立达信光电子科技有限公司
申请日： 2021-04-19 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： F21S8/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种无边框灯具，属于灯具组装技术领域，包括基板、出光罩和密封圈。基板的底面设置有灯条。出光罩连接在基板上并扣设于灯条的外侧；出光罩的内侧设有透镜，透镜沿灯条的长度方向上设置，透镜借助出光罩设于灯条的下方。密封圈沿出光罩顶部的周向设置，密封圈借助出光罩抵靠在基板的底面，用于密封基板与出光罩之间的间隙。本实用新型提供的一种无边框灯具中在安装出光罩后随即保证了出光罩与基板之间的密闭性，安装过程简单，并且提高了整个灯具的组装效率。
一种边框灯具

[发明专利]可降低制造成本的光罩及其设计方法-CN200410104002.1无效
发明人：资三德 -专利权人：卓越光掩膜科技有限公司
申请日： 2004-12-30 - 公布日： 2006-07-05 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明的光罩设计方法首先计算一光罩基板的可布局图案数。之后，分别计算一第一光罩与一第二光罩的成本。然后分别计算使用该第一光罩及该第二光罩制备一预定片数的晶圆的整体制造成本，并选取整体制造成本较低者来设计该光罩基板的图案数。较佳地，该第一光罩的图案数等于该可布局图案数，而该第二光罩的图案数小于该可布局图案数。本发明的光罩包含一光罩基板、一设置于该光罩基板的局部区域上的第一图案以及一设置于该光罩基板的另一局部区域上的第二图案。该第一图案与该第二图案是分别用于在一晶圆上定义一晶粒的不同层次的形貌。
降低制造成本及其设计方法

[发明专利]在单一基板上进行多个处理步骤的方法及其装置-CN200680007513.9无效
发明人：彼得·D·纽南;安东尼·雷诺;艾伦·升;保罗·墨菲;沈圭河;查理斯·泰欧多尔赤克;史蒂芬·恩尔拉;萨缪尔·巴思凯;罗伦斯·费卡拉;理查德·J·赫尔特 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2006-03-09 - 公布日： 2008-03-05 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种基板遮罩装置，包括：一平板组合(assembly)，其支撑着一处理用的基板；一光罩，其具有一种孔径；一保持机构，其使光罩保持在遮罩位置中；以及一定位机构，其改变此光罩和基板的相对位置，以经由光罩中的孔径来对基板的不同区域进行曝光此装置可另外包含一光罩载入机构，其使光罩转移至遮罩位置和非遮罩位置且在此遮罩位置和非遮罩位置之间移动。处理过程包括以不同的植入参数值来对基板的不同区域进行离子植入。在其它实施例中，可由基板前方的光罩、光闸或离子束修正器来选取此基板的待处理的区域。
单一基板上进行处理步骤方法及其装置

[发明专利]薄膜光罩、贴合辅具、贴合与曝光辅助装置-CN201610003321.6在审
发明人：许铭案;林文福 -专利权人：许铭案;林文福
申请日： 2016-01-04 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： G03F1/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜光罩、贴合辅具、贴合与曝光辅助装置及将一薄膜光罩贴合于一曲面基板的方法，运用贴合辅具将薄膜光罩压合至具有一光阻层的曲面基板上，使薄膜光罩曲面化，再将贴合辅具、薄膜光罩、曲面基板的暂时结构送至曝光机，即可于曲面基板上制作出符合曲面要求的高精度彩色光阻图案。
薄膜贴合曝光辅助装置

[发明专利]光罩及半导体晶圆的制造方法-CN202210646173.5在审
发明人：林率兵;肖海波;戴辛志 -专利权人：豪威集成电路（成都）有限公司
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G03F1/40 文献下载
摘要：本发明提供一种光罩及半导体晶圆的制造方法，光罩包括：光罩基板，光罩基板包括图案区域和环绕图案区域的静电保护环区域，光罩基板位于图案区域的表面设置有不透光掩膜层，不透光掩膜层定义出电路图案；通过在光罩基板位于静电保护环区域的表面设置遮光层，或者光罩基板上设置保护膜框架，保护膜框架不透光且保护膜框架在光罩基板上的投影覆盖静电保护环区域。使用本发明的光罩，在半导体晶圆(例如CMOS图像传感器晶圆)的制造过程中，即使光在光刻机内部发生反射，反射光经过静电保护环区域时，会被静电保护环区域覆盖的遮光层或者保护膜框架阻挡(阻断)，反射光不会再到达晶圆
半导体制造方法

[发明专利]用于半导体微影制程的光罩及其制造方法、微影方法以及光罩制程-CN202110848860.0在审
发明人：陈建诚;李环陵;连大成;陈嘉仁;李信昌 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： G03F1/54 文献下载
摘要：一种用于半导体微影制程的光罩及其制造方法、微影方法以及光罩制程，用于半导体微影制程的光罩包括基板、设置在基板上的光罩图案及围绕光罩图案的光吸收边界。光吸收边界自基板的至少两个边缘插入以界定光吸收边界之外的周围区域。在一些设计中，第一周围区域自光吸收边界的外周延伸至基板的第一边缘，并且第二周围区域自光吸收边界的外周延伸至基板的第二边缘，其中基板的第一边缘与基板的第二边缘位于光罩图案的相对侧。
用于半导体微影制程及其制造方法以及光罩制程

[实用新型]一种拆卸方便的床头灯-CN201720587591.6有效
发明人：要华 -专利权人：上海子光信息科技有限公司
申请日： 2017-05-24 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： F21S8/00 文献下载
摘要：本实用新型属于灯具领域，具体涉及一种拆卸方便的床头灯，包括底座、透明均光罩和半透明均光罩，底座上设有基板槽；透明均光罩螺栓连接于基板槽中，并将LED基板罩于基板槽内；底座的外缘环向设有卡槽，卡槽环向均布有多个第一凸起；半透明均光罩的底边圆周均布有多个第一扣孔；通过第一凸起插扣配合于第一扣孔中，半透明均光罩的底边插设于卡槽中。本实用新型的有益效果是：内部的透明均光罩螺栓固定于基板槽中，密封牢固；外部的半透明均光罩可拆式连接，方便拆卸；LED基板和和电路均密封于透明均光罩内，因此方便清洗，并且不会损坏内部电器件；由于透明均光罩的阻隔
均光半透明基板槽透明底座本实用新型拆卸方便床头灯均布卡槽扣孔凸起密封可拆式连接灯具领域底边圆周方便拆卸方便清洗螺栓固定螺栓连接生命安全电器件卡槽环外缘环插扣插设拆卸清洗阻隔电路外部配合保证

[实用新型]一种越野车LED前大灯-CN201921964520.9有效
发明人：邹达伟 -专利权人：广西贵港市奥柏尔光电技术有限公司
申请日： 2019-11-14 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： F21S41/141 文献下载
摘要：本实用新型公开的一种越野车LED前大灯，其特征在于：包括具有一侧开口的灯壳、盖置在灯壳开口处的配光镜以及设置在灯壳内的安装座，所述安装座上分别设有远光模组与近光模组；所述近光模组，其包括第一LED铝基板、透镜与近光反光罩，所述近光反光罩盖置在第一LED铝基板上，第一LED铝基板上的灯珠靠近设置在近光反光罩的内端；所述近光反光罩的内侧呈旋转抛物面的反光面，以使第一LED铝基板上的灯珠经反光面折射至透镜上；所述远光模组，其包括第二LED铝基板与设置在安装座上的远光反光罩；所述远光反光罩设置在第二LED铝基板上方，并在远光反光罩靠近内端设有缺口，以使第二LED铝基板上的灯珠照射光经缺口射入远光反光罩内腔。
一种越野车 led 大灯

[实用新型]光罩基板的包装盒-CN201220748819.2有效
发明人：刘靖 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： B65D85/48 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光罩基板的包装盒，所述光罩基板的包装盒包括：箱体和N个内盖。所述箱体均匀分成N个容置空间，每个内盖遮盖一个容置空间。其中，N为大于等于2的整数。在本实用新型提供的光罩基板的包装盒均匀分隔成多个容置空间，而且采用内盖形成了多个独立的包装单元，存放在里面的光罩基板之间能够相互隔离，在取用光罩基板过程中也能够避免外部环境中的微尘粒子（Particle）污染光罩基板。
光罩基板包装

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