专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种硅片表面研磨装置-CN201911199415.5在审
  • 蒋永锋;易恬安;包晔峰;陈秉岩 - 河海大学常州校区
  • 2019-11-29 - 2020-03-24 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种硅片表面研磨装置,属于表面处理技术领域,包括等离子喷枪、伺服电机和激光测距组件;所述伺服电机与等离子喷枪连接;所述等离子喷枪包括喷嘴和位于等离子喷枪内的等离子喷枪控制系统、等离子发生器和等离子通道;所述等离子喷枪控制系统与等离子发生器和伺服电机通信连接;所述等离子发生器依次与等离子通道和喷嘴连接;所述激光测距组件与等离子喷枪连接;所述喷嘴与等离子通道的连接处,设置有等离子通道出口。
  • 一种硅片表面研磨装置
  • [发明专利]等离子液产生装置-CN201710417063.0在审
  • 卢仁杰;萧咏棱;卢盈霖 - 拜普生医科技股份有限公司
  • 2017-06-06 - 2017-12-12 - H05H1/24
  • 本发明的题目是等离子液产生装置。本发明公开一种等离子液产生装置。等离子液产生装置包括等离子产生模块、驱动电路、调控模块以及混合机构。驱动电路与等离子产生模块耦接,并驱动等离子产生模块产生第一种等离子粒子与第二种等离子粒子。调控模块与驱动电路耦接,调控模块控制驱动电路,进而调控等离子产生模块产生的第一种等离子粒子与第二种等离子粒子的比例。混合机构连接等离子产生模块并混合第一种等离子粒子、第二种等离子粒子及液体,以产生等离子液。
  • 等离子体液产生装置
  • [实用新型]等离子液产生装置-CN201720646493.5有效
  • 卢仁杰;萧咏棱;卢盈霖 - 拜普生医科技股份有限公司
  • 2017-06-06 - 2018-03-16 - H05H1/24
  • 本实用新型的题目是等离子液产生装置。本实用新型公开一种等离子液产生装置。等离子液产生装置包括等离子产生模块、驱动电路、调控模块以及混合机构。驱动电路与等离子产生模块耦接,并驱动等离子产生模块产生第一种等离子粒子与第二种等离子粒子。调控模块与驱动电路耦接,调控模块控制驱动电路,进而调控等离子产生模块产生的第一种等离子粒子与第二种等离子粒子的比例。混合机构连接等离子产生模块并混合第一种等离子粒子、第二种等离子粒子及液体,以产生等离子液。
  • 等离子体液产生装置
  • [发明专利]等离子发生装置-CN201380081635.2有效
  • 朴宰范 - 应用等离子体株式会社
  • 2013-12-11 - 2018-10-26 - H05H1/34
  • 本发明公开等离子发生装置。根据本发明一实施例的等离子发生装置包括:等离子发生模块,用于发生等离子;以及旋转体,具有至少一个等离子喷嘴,上述至少一个等离子喷嘴用于将通过上述等离子发生模块发生的等离子吹向外部,上述旋转体与上述等离子发生模块分开设置,且以能够旋转的方式配置于上述等离子发生模块的外侧。
  • 等离子体发生装置

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