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[发明专利]一种面向连续光汤姆孙散射的EVDF获取方法-CN202310884219.1在审
发明人：叶孜崇;杨雄;江堤;程谋森;靳琛垚;郭大伟;张炜;李小康 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院;中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2023-07-18 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种面向连续光汤姆孙散射的EVDF获取方法，包括步骤：S1、读取汤姆孙散射光谱数据，寻找光谱数据中的信号强度最高点；S2、若所述信号强度最高点位于一极窄峰，则将光谱数据中的波长轴以所述信号强度最高点为中心波长λ0；S3、将光谱数据中的波长轴λ换算成波长差轴Δλ＝(λ‑λ0)，进而通过光的波速公式换算成频移轴Δf；S4、再进而利用多普勒频移公式将Δf换算成对应的电子速度ve，即可获得准确的EVDF。本申请的速度定标准确性理论上可达到0.1m/s量级，可以完全准确分辨室温等离子体甚至低于室温的极低温等离子体，对硬件要求低，降低了成本。
一种面向连续汤姆散射 evdf 获取方法

[发明专利]一种适用于电推力器极微弱等离子体电信号测量噪声屏蔽系统及方法-CN202310773310.6在审
发明人：王伟宗;李亦非;刘伟;李沛然;董宜承;柳然;王骥勤 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明提出一种适用于电推力器极微弱等离子体电信号测量噪声屏蔽系统及方法，由离子束，E×B探针主体结构，信号收集模块，舱内同轴线缆屏蔽层，舱内同轴线缆信号线，铝箔防护层，真空舱壁面，同轴线缆穿舱接头，舱外同轴线缆屏蔽层，舱外同轴线缆信号线，皮安表接地线，皮安表组成。本发明设计的方案与信号收集模块设计考虑了整个线路中可能出现的噪声干扰，并通过上述手段进行了噪声的屏蔽与抑制，极大提高了E×B探针的信噪比，可以将E×B探针信号测量的本底噪声抑制在pA量级。接收电流信号的信号收集模块采用了基于标准BNC接头的设计，加工安装快捷方便，相比于焊接连接稳固，提高了整套设备的鲁棒性、可替换性与可扩展性，适用性广，系统成本低。
一种适用于推力极微等离子体电信号测量噪声屏蔽系统方法

[发明专利]等离子体处理装置、等离子体状态检测方法以及等离子体状态检测程序-CN201980013656.8有效
发明人：林大辅;梅泽义弘;冈信介 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-06-17 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理装置、等离子体状态检测方法以及等离子体状态检测程序。测量部通过加热器控制部来控制向加热器供给的供给电力以使加热器的温度固定，测量等离子体没有点火的未点火状态和从点火等离子体起向加热器供给的供给电力下降的过渡状态下的供给电力。参数计算部使用由测量部测量出的未点火状态和过渡状态的供给电力对计算模型进行拟合，来计算来自等离子体的热输入量，该计算模型包括该热输入量作为参数来计算过渡状态的供给电力。输出部输出基于由参数计算部计算出的热输入量的信息。
等离子体处理装置状态检测方法以及程序

[发明专利]等离子体空间特性诊断装置-CN201710004694.X有效
发明人：陈果;何小珊;王涛;何智兵;刘艳松;李俊;张玲 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2017-01-04 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体空间特性诊断装置，属于等离子体特性诊断领域。本发明提供一种可实现对等离子体空间特性进行诊断的等离子体空间特性诊断装置，包括等离子体发生器和检测装置，等离子体发生器内具有密封的等离子体形成腔，检测装置包括检测探针和探针安装平台，检测探针安装在探针安装平台上，检测探针的检测端深入至等离子体形成腔内。本发明可实现对等离子体在空间上不同位置的特性参数进行检测、诊断，并且通过设置探针安装平台结构可实现检测探针的移动，进而实现检测探针在空间位置上的任意移动，实现对等离子体在空间上不同位置的特性参数进行诊断目的。
等离子体空间特性诊断装置

[实用新型]一种64通道耙式探针-CN202223563388.5有效
发明人：吴启东 -专利权人：合肥兆科机电科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种64通道耙式探针，包括第一卡座，所述第一卡座一侧转动安装有旋钮，所述第一卡座一侧设置有丝杆，所述旋钮与丝杆固定连接，所述丝杆外部螺旋安装有丝杆套筒，所述丝杆套筒一端固定安装有第二卡座，所述第一卡座一侧设置有连接器，所述连接器与丝杆套筒固定连接，所述第一卡座一侧固定安装有两个导向杆，两个所述导向杆外部均滑动安装有直线轴承，所述直线轴承外部固定安装有轴承外壳。本实用新型通过设置丝杆，旋转旋钮，丝杆带动丝杆套筒移动，丝杆套筒带动第二卡座进而带动窗口法兰移动，通过改变旋钮的旋转方向，探针管可以进行伸缩，从而改变探针头检测的位置，可以检测装置内不同位置的等离子特性。
一种 64 通道探针

[发明专利]一种朗缪尔探针检测方法及系统-CN202310811506.X在审
发明人：聂林;赵伟;蒋富强;王雅丽;黄治辉;赵丽 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种朗缪尔探针检测方法及系统，涉及等离子体检测技术领域；本发明在现有的朗缪尔探针检测方法的基础上进行改进，在使用三探针在三探针模式下对等离子体进行检测的过程中，实时监测三探针的工作状态是否异常，根据三探针的工作状态异常情况切换各探针的测量模式，使工作状态正常的探针可持续检测；当部分探针因等离子体烧蚀等原因损坏时，剩余探针依然能够尽可能的对等离子体参数进行测量，避免资源浪费。
一种朗缪尔探针检测方法系统

[发明专利]一种多点冗余火箭燃烧等离子体诊断方法及系统-CN202310748021.0在审
发明人：鞠兴进;李心阳;孙欣庚;郭冬妮;连欢 -专利权人：中国科学院力学研究所
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种多点冗余火箭燃烧等离子体诊断方法及系统。实施方式的多点冗余火箭燃烧等离子体诊断方法及系统包括：线性伺服驱动模块，其作为静电探针模块结构载体，以线性移动的形式驱动静电探针多点位采集火箭燃烧等离子体电流，提升系统数据采集多样性；静电探针模块，包括多种朗缪尔探针，用于收集等离子体电流多种朗缪尔探针具有冗余形式，提升系统数据采集完整性；电源模块，为静电探针提供扫描电压及偏置电压；数据采集模块，连接静电探针采集等离子体电流数据；数据处理模块，结合扫描电压和偏置电压与等离子体电流，依据离子运动模型计算等离子体特性；上位机模块，显示其他模块的工作状态，设置控制指令，显示数据与计算结果；触发模块，接收外部系统试验开始统一触发信号，触发系统中相关模块动作。通过本发明，可以直接快速获得火箭燃烧等离子体特性，同时，静电探针的冗余形式可以提升诊断的完整性，配合线性伺服驱动可以提升诊断的多样性，完成在常压下对火箭燃烧等离子体特性进行诊断。
一种多点冗余火箭燃烧等离子体诊断方法系统

[发明专利]等离子体探测装置、等离子体处理装置和控制方法-CN202010861394.5有效
发明人：池田太郎;佐藤干夫;镰田英纪 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体探测装置、等离子体处理装置和控制方法。本发明的一方式的等离子体探测装置包括：天线部，其隔着将真空空间与大气空间之间密封的密封部件，安装在形成于处理容器的壁的开口部；和透光部，其设置于所述天线部的内部或者是所述天线部的至少一部分，能够使所述真空空间中生成的等离子体的发出光透射到所述大气空间。根据本发明，能够高精度地监视等离子体生成空间中的自由基密度。
等离子体探测装置处理控制方法

[实用新型]一种二维电动探针器-CN202223563014.3有效
发明人：吴启东 -专利权人：合肥兆科机电科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种二维电动探针器，包括外筒体，所述外筒体一端固定安装有螺母座，所述螺母座一端固定安装有机壳，所述机壳内部设置有42步进电机，所述42步进电机输出端固定安装有42行星减速器，所述42行星减速器与螺母座固定连接，所述螺母座内部设置有密封过渡轴，所述42行星减速器输出端与密封过渡轴固定连接，所述螺母座靠近外筒体一端固定安装有轴承，所述外筒体一端转动安装有刻度内轴，所述刻度内轴一端转动安装有刻度外轴，所述刻度外轴一端固定安装有法兰座，所述外筒体内部设置有调节机构。本实用新型通过设置直线轴承，确保探针杆沿着直线轴承的轴心进行前后运动。
一种二维电动探针

[发明专利]用于加速器束流剖面测量的弹性多丝探针靶头-CN202110279705.1有效
发明人：陆海娇;杨雅清;郑亚军;杨鹏;许小伟;徐治国;杨建成;喻九维 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于加速器束流剖面测量的弹性多丝探针靶头，包括底板和两套布丝机构，底板上设有横向安装面和纵向安装面，横向安装面和纵向安装面平行设在两个不同高度的平面上；一套布丝机构横向布置在横向安装面上，另一套所述布丝机构纵向布置在所述纵向安装面上；每套布丝机构包括一个异形瓷条、两个布丝瓷条、一个固丝条、一个限位瓷条以及若干个布丝单元；异形瓷条和一个布丝瓷条从后至前依次间隔且相互平行设置于横向安装面或纵向安装面的一端；固丝条和另一个布丝瓷条从前至后依次间隔且相互平行设置于横向安装面或纵向安装面的另一端；限位瓷条设置于异形瓷条上；若干个布丝单元横向或纵向依次排列。本发明具有耐烘烤且抗热膨胀的优点。
用于加速器剖面测量弹性探针

[发明专利]一种测量平行波数和极向电场的探针-CN202310404908.8在审
发明人：张伟;李柳欣;张新军;刘鲁南;朱光辉;程艳;杨桦;王永胜;张开;张华朋;李亮亮 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种测量平行波数和极向电场的探针，包括有多个石墨针、多个接线端、上陶瓷支撑筒、下陶瓷支撑筒、连接支撑筒、固定套、石墨保护套。所述石墨针与接线端相连，且都固定在上陶瓷支撑筒和下陶瓷支撑筒上。上陶瓷支撑筒与下陶瓷支撑筒相连，下陶瓷支撑筒与连接支撑筒相连。固定套套在上陶瓷支撑筒、下陶瓷支撑筒和连接支撑筒上面，用来稳固这三个支撑筒的连接。石墨保护套套在固定套上面，用来保护整个探针。本发明通过该探针的径向移动可以进一步测量径向电场。
一种测量平行电场探针

[发明专利]一种环形激光限制等离子体尺寸的装置-CN202310518632.6在审
发明人：余霞;杨世超;师肇江 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种环形激光限制等离子体尺寸的装置，包括泵浦激光器、泵浦光整形光学器件、光束收集光学器件和气室。泵浦激光器出射的激光由泵浦光整形光学器件整形为环形光束，随后经过光束收集光学器件汇聚至气室中央，维持气室中央的等离子体并限制等离子体的尺寸。本发明将泵浦激光整形为环形激光光束，设计并利用环形激光光束汇聚点附近的低功率密度区域抑制了等离子体沿泵浦激光入射方向的生长，减小了等离子体的尺寸和长宽比。
一种环形激光限制等离子体尺寸装置

[发明专利]一种等离子体射流腔室处理系统及方法-CN202310438006.6在审
发明人：徐晗;魏子棚;邵明绪;谢楷 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体射流腔室处理系统及方法，处理系统包括内部中空的主箱体和副箱体，主箱体位于副箱体的上方，主箱体和副箱体之间安装有能够水平移动的承载板，使得主箱体和副箱体上下连通或者阻隔；主箱体内安装有搅拌模块，搅拌模块包括纵向设置的主轴，主轴底部设有主扇叶；主模块安装于主轴的内部，产生等离子体射流由上至下喷射；承载板顶面呈环形均匀设有多个副模块，产生的等离子体射流由下至上垂直于主扇叶的叶面。本发明提高了等离子体的射流强度，增大了等离子体与废弃物的接触面积，提高了消杀效果。
一种等离子体射流处理系统方法

[发明专利]用于远程等离子源的自由基输出监控器和使用方法-CN201980038899.7有效
发明人：麦可·哈里斯;戴璆瑛;阿图·古柏塔 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本申请记载了一种在处理系统中使用的用于对远程等离子源的等离子源进行自由基监控的装置，并且所述装置包含：至少一个气体源；等离子源主体，所述等离子源主体具有至少一个通道，所述至少一个通道具有至少一个通道表面；第一热传感器收纳器，所述第一热传感器收纳器在所述等离子源主体内而形成在所述通道的所述通道表面附近；第一热传感器，所述第一热传感器定位在所述第一热传感器收纳器内，所述第一热传感器被配置成测量所述通道表面的第一温度；第二热传感器收纳器，所述第二热传感器收纳器在所述等离子源主体内而形成在所述通道的所述通道表面附近，并且被配置成在第二位置处测量所述通道的所述通道表面的第二温度。
用于远程离子源自由基输出监控器使用方法

[发明专利]一种等离子体设备的诊断装置及方法-CN202310399041.1在审
发明人：韦光辉;吴海江;范景利;卢佳乐;姜志军;呼志杰;张兴;王龙;李明;于庆雷 -专利权人：烟台龙源电力技术股份有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体设备的诊断装置及方法，该装置包括：串口收发电路、第一转换电路、单片机控制电路、第二转换电路、以太网收发电路和电源模组，其中，串口收发电路连接等离子体设备和第一转换电路，第一转换电路连接单片机控制电路，单片机控制电路连接第二转换电路和电源模组，第二转换电路与以太网收发电路连接，以太网收发电路与服务器连接，该装置采集等离子体特征参数并依次进行解码、诊断和编码操作，在本方案中，通过与等离子体设备建立通信，采集等离子体特征参数，依次进行解码、诊断和编码操作，将编码后的诊断数据发送到服务器，实现了与等离子体设备建立通信，获取等离子体特征参数，快速对等离子体设备进行故障诊断的目的。
一种等离子体设备诊断装置方法

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