“张鹏兵”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果13个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种等离子体处理装置-CN202023050801.9有效
发明人：邱勇;吴堃;张鹏兵;陈世名 -专利权人：上海谙邦半导体设备有限公司
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体处理装置，包括：反应腔主体，所述反应腔主体的顶部设置有等离子体通道板，所述等离子体通道板包括：等离子体通道板主体；环绕所述等离子体通道板主体的侧部的通道板定位件；位于所述通道板定位件和所述反应腔主体的顶壁之间的导电导热环；位于所述等离子体通道板主体上方的等离子体发生单元。所述等离子体处理装置能够避免等离子体通道板在高温条件下损伤以及等离子体通道板接地不良的问题。
一种等离子体处理装置

[实用新型]一种反应腔装置-CN202023041270.7有效
发明人：邱勇;吴堃;张鹏兵;陈世名 -专利权人：上海谙邦半导体设备有限公司
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种反应腔装置，包括：反应腔主体；位于反应腔主体内的晶圆承载平台，晶圆承载平台的表面适于放置晶圆；环绕晶圆承载平台的上缓冲环;位于上缓冲环的底部且环绕晶圆承载平台的下缓冲环；位于下缓冲环底部的若干分立的高度调节器，若干分立的高度调节器适于调节下缓冲环至所述上缓冲环之间不同区域的纵向距离。所述反应腔装置能够提高晶圆表面反应的均匀性和对称性。
一种反应装置

[实用新型]一种反应腔装置-CN202023184490.5有效
发明人：邱勇;吴堃;张鹏兵;陈世名 -专利权人：上海谙邦半导体设备有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种反应腔装置，包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体内的晶圆承载平台，所述晶圆承载平台的表面适于放置晶圆；环绕所述晶圆承载平台的缓冲环，所述缓冲环适于在垂直于晶圆承载平台上表面的方向上进行移动。所述反应腔装置能够调节整个晶圆表面反应速率的均匀性。
一种反应装置

[实用新型]一种等离子体处理装置-CN202022643438.5有效
发明人：邱勇;张鹏兵;陈世名 -专利权人：上海谙邦半导体设备有限公司
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体处理装置，包括：反应腔主体，所述反应腔主体的顶部设置有等离子体通道板组件；所述等离子体通道板组件包括：等离子体通道板；位于等离子体通道板侧部的定位件，所述定位件的弹性模量小于所述等离子体通道板的弹性模量；位于所述等离子体通道板上方的等离子体发生单元。所述等离子体处理装置能够避免等离子体通道板在高温条件下损伤。
一种等离子体处理装置

[实用新型]一种腔内晶圆寻心系统-CN202022645745.7有效
发明人：邱勇;张鹏兵;陈世名 -专利权人：上海谙邦半导体设备有限公司
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种腔内晶圆寻心系统，包括：主体腔；位于主体腔内的晶圆夹持平台，晶圆夹持平台的表面适于放置晶圆；贯穿晶圆夹持平台的若干位移孔；分别位于位移孔中的顶针，顶针适于在位移孔中往复移动，使顶针的顶头在高于晶圆夹持平台的上表面的位置至低于晶圆夹持平台的上表面的位置之间变化；若干光学定位单元，各个光学定位单元包括：光学探测部件；光学接收部件，光学探测部件适于向光学接收部件发射探测光，探测光适于部分照射在主体腔中的晶圆的边缘；修正单元，修正单元适于根据光学接收部件获取的光信息修正晶圆的位置。所述腔内晶圆寻心系统能够精确定位晶圆在主体腔中的位置，提高工艺重复性。
一种腔内晶圆寻心系统

[实用新型]一种缓冲腔和晶圆传送系统-CN202022645779.6有效
发明人：邱勇;张鹏兵;陈世名 -专利权人：上海谙邦半导体设备有限公司
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种缓冲腔和晶圆传送系统，缓冲腔包括：缓冲腔室主体；位于所述缓冲腔室主体中的冷却盘，所述冷却盘包括晶圆接触区；位于所述晶圆接触区侧部且贯穿所述冷却盘的位移口；升降单元，所述升降单元包括位于所述缓冲腔室主体中的支撑组件，所述支撑组件适于支撑晶圆的边缘，所述支撑组件适于在所述位移口的上方、位移口中、以及所述位移口的下方做往复运动。所述缓冲腔具有能够对缓冲腔进行破真空和对晶圆冷却的双重功能，提高了工艺过程中对晶圆的传送效率。
一种缓冲传送系统

[发明专利]一种磁性固体磺酸负载胺基催化剂的复合磁性催化剂的制备和应用-CN201810204038.9有效
发明人：周鹏鑫;宋靖靖;张鹏兵;张哲;霍淑慧 -专利权人：西北师范大学
申请日： 2018-03-13 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： B01J31/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁性固体磺酸负载二元胺的复合磁性催化剂的制备方法，是采用“一锅法”制备了巯基包覆的球四氧化三铁Fe3O4@SiO2‑SH，再采用双氧水将Fe3O4@SiO2‑SH中的硫醇基团（‑SH）氧化，得到磁性磺酸MSA，然后以磁性固体磺酸作为载体，通过酸碱作用非共价负载有机小分子胺基催化剂，制备了磁性固体磺酸负载二元胺的复合催化剂。由于该复合催化剂的磁性固体磺酸不仅可以作为载体，还通过酸碱作用直接参与和影响催化过程，从而有效提高了复合催化剂的催化Knoevenagel缩合反应的活性；同时可通过外置磁铁直接吸引分离，多次循环利用，有效地解决了催化剂的固载、分离回收及重复利用的问题。
一种磁性固体负载胺基催化剂复合制备应用

[发明专利]一种等离子体处理装置-CN202011491408.5在审
发明人：邱勇;吴堃;张鹏兵;陈世名 -专利权人：上海谙邦半导体设备有限公司
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体处理装置，包括：反应腔主体，所述反应腔主体的顶部设置有等离子体通道板，所述等离子体通道板包括：等离子体通道板主体；环绕所述等离子体通道板主体的侧部的通道板定位件；位于所述通道板定位件和所述反应腔主体的顶壁之间的导电导热环；位于所述等离子体通道板主体上方的等离子体发生单元。所述等离子体处理装置能够避免等离子体通道板在高温条件下损伤以及等离子体通道板接地不良的问题。
一种等离子体处理装置

[发明专利]一种反应腔装置及其工作方法-CN202011491416.X在审
发明人：邱勇;吴堃;张鹏兵;陈世名 -专利权人：上海谙邦半导体设备有限公司
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种反应腔装置及其工作方法，反应腔装置包括：反应腔主体；位于反应腔主体内的晶圆承载平台，晶圆承载平台的表面适于放置晶圆；环绕晶圆承载平台的上缓冲环;位于上缓冲环的底部且环绕晶圆承载平台的下缓冲环；位于下缓冲环底部的若干分立的高度调节器，若干分立的高度调节器适于调节下缓冲环至所述上缓冲环之间不同区域的纵向距离。所述反应腔装置能够提高晶圆表面反应的均匀性和对称性。
一种反应装置及其工作方法

[发明专利]一种反应腔装置及其工作方法-CN202011566713.6在审
发明人：邱勇;吴堃;张鹏兵;陈世名 -专利权人：上海谙邦半导体设备有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种反应腔装置及其工作方法，反应腔装置包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体内的晶圆承载平台，所述晶圆承载平台的表面适于放置晶圆；环绕所述晶圆承载平台的缓冲环，所述缓冲环适于在垂直于晶圆承载平台上表面的方向上进行移动。所述反应腔装置能够调节整个晶圆表面反应速率的均匀性。
一种反应装置及其工作方法

[发明专利]一种等离子体处理装置-CN202011278984.1在审
发明人：邱勇;张鹏兵;陈世名 -专利权人：上海谙邦半导体设备有限公司
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体处理装置，包括：反应腔主体，所述反应腔主体的顶部设置有等离子体通道板组件；所述等离子体通道板组件包括：等离子体通道板；位于等离子体通道板侧部的定位件，所述定位件的弹性模量小于所述等离子体通道板的弹性模量；位于所述等离子体通道板上方的等离子体发生单元。所述等离子体处理装置能够避免等离子体通道板在高温条件下损伤。
一种等离子体处理装置

[发明专利]一种腔内晶圆寻心系统及其工作方法-CN202011279004.X在审
发明人：邱勇;张鹏兵;陈世名 -专利权人：上海谙邦半导体设备有限公司
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种腔内晶圆寻心系统及其工作方法，腔内晶圆寻心系统包括：主体腔；位于主体腔内的晶圆夹持平台，晶圆夹持平台的表面适于放置晶圆；贯穿晶圆夹持平台的若干位移孔；分别位于位移孔中的顶针，顶针适于在位移孔中往复移动，使顶针的顶头在高于晶圆夹持平台的上表面的位置至低于晶圆夹持平台的上表面的位置之间变化；若干光学定位单元，各个光学定位单元包括：光学探测部件；光学接收部件，光学探测部件适于向光学接收部件发射探测光，探测光适于部分照射在主体腔中的晶圆的边缘；修正单元，修正单元适于根据光学接收部件获取的光信息修正晶圆的位置。所述腔内晶圆寻心系统能够精确定位晶圆在主体腔中的位置，提高工艺重复性。
一种腔内晶圆寻心系统及其工作方法

[发明专利]一种缓冲腔、晶圆传送系统及其工作方法-CN202011279011.X在审
发明人：邱勇;张鹏兵;陈世名 -专利权人：上海谙邦半导体设备有限公司
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种缓冲腔、晶圆传送系统及其工作方法，缓冲腔包括：缓冲腔室主体；位于所述缓冲腔室主体中的冷却盘，所述冷却盘包括晶圆接触区；位于所述晶圆接触区侧部且贯穿所述冷却盘的位移口；升降单元，所述升降单元包括位于所述缓冲腔室主体中的支撑组件，所述支撑组件适于支撑晶圆的边缘，所述支撑组件适于在所述位移口的上方、位移口中、以及所述位移口的下方做往复运动。所述缓冲腔具有能够对缓冲腔进行破真空和对晶圆冷却的双重功能，提高了工艺过程中对晶圆的传送效率。
一种缓冲传送系统及其工作方法

1
共 13 条