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[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置-CN202110023734.1在审
发明人：林文晶;轩景泉;赵军;崔建勇 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔，且每个容腔的顶部开设有开口；加热装置设置于坩埚本体外部，能够分别加热各个容腔与现有技术中点蒸镀工艺中的圆桶装蒸镀坩埚相比，本申请实施提供的蒸镀坩埚能够使不同种类的蒸镀材料以相同受热消耗速率来对基材进行同时蒸镀，提高了不同蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。
坩埚装置

[实用新型]蒸镀坩埚及蒸镀装置-CN202120056058.3有效
发明人：林文晶;轩景泉;赵军;崔建勇 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔，且每个容腔的顶部开设有开口；加热装置设置于坩埚本体外部，能够分别加热各个容腔与现有技术中点蒸镀工艺中的圆桶装蒸镀坩埚相比，本申请实施提供的蒸镀坩埚能够使不同种类的蒸镀材料以相同受热消耗速率来对基材进行同时蒸镀，提高了不同蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。
坩埚装置

[实用新型]一种双面蒸镀装置-CN202123302446.4有效
发明人：臧世伟 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种双面蒸镀装置，其包括第一蒸镀单元、第二蒸镀单元和第三蒸镀单元，第一蒸镀单元包括第一蒸镀架，相互平行的设置于第一蒸镀架的第一侧第一放卷辊和第一收卷辊，第一放卷辊在竖直方向上的高度低于所述第一收卷辊；第二蒸镀单元包括第二蒸镀架，相互平行设置于第二蒸镀架的第一侧的第一转向辊和第二转向辊，且第一转向辊在竖直方向上的高度低于第二转向辊；第三蒸镀单元包括第一蒸镀源和第二蒸镀源，第一蒸镀源和第二蒸镀源的两端分别与第一蒸镀架的第一侧和第二蒸镀架的第一侧连接，第一蒸镀源在竖直方向上的高度低于第二蒸镀源。本实用新型实施例提供的双面蒸镀装置为立体设置，占地空间小，空间利用率高。
一种双面装置

[发明专利]一种OLED器件制备方法-CN201410746119.3有效
发明人：张雪峰;柯贤军;苏君海;黄亚清;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2014-12-08 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种OLED器件制备方法，包括用OPEN MASK在OLED阳极上蒸镀空穴注入层和空穴传输层；用OPEN MASK在所述空穴传输层上蒸镀B基色有机发光层，所述B基色有机发光层中掺杂有空穴传输层材质；用FINEMASK在所述B基色有机发光层上的部分区域上蒸镀G基色有机发光层，所述G基色有机发光层中掺杂有电子阻挡EBL材料；用FINE MASK在所述B基色有机发光层上的部分区域上蒸镀R基色有机发光层，所述R基色有机发光层中掺杂有电子阻挡EBL材料，且所述R基色有机发光层的厚度大于所述G基色有机发光层的厚度；依照常规技术，在所述B基色有机发光层、所述G基色有机发光层、所述R基色有机发光层上蒸镀电子传输层
一种 oled 器件制备方法

[实用新型]一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板-CN201620552370.0有效
发明人：陈孟财 -专利权人：光宏光电技术（深圳）有限公司
申请日： 2016-06-07 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板，所述掩模板包括ITO面和蒸镀面，所述蒸镀面上设有的纳米层，所述蒸镀面上设有弧形槽，所述ITO面上设有蒸镀孔，所述蒸镀孔与所述弧形槽相连通，所述蒸镀孔在ITO面开口的尺寸小于所述弧形槽相在蒸镀面的开口的尺寸，蒸镀孔开设在弧形槽内，非常方便蒸镀孔的加工，弧形槽具有一定的高度，使得蒸镀孔的高度可以进一步的降低，从而保证了更好的蒸镀效果，提高了有机材料的成膜率，提高了蒸镀薄膜的均匀度。
一种用于 oled 显示面板模板

[实用新型]蒸镀装置-CN201621061913.5有效
发明人：孙亮 -专利权人：深圳市核高基科技有限公司
申请日： 2016-09-18 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀装置，包括蒸镀源、蒸镀材料与显示器背板，蒸镀源用于加热蒸镀材料；蒸镀材料设置在蒸镀源的内部；显示器背板为蒸镀材料最终蒸镀到的位置，显示器背板与蒸镀源之间的距离定义为TS距离；其中，蒸镀源的顶部设置有上盖板，上盖板上设置有多个导流气孔，导流气孔用于引导被蒸镀的蒸镀材料运动至显示器背板；多个导流气孔包括一中心直孔与围绕中心直孔的多圈斜孔，在上盖板上方每圈斜孔均以纵向方向为中心向上盖板方向呈锐角倾斜
装置

[发明专利]一种真空蒸镀方法-CN202011024093.3在审
发明人：李同裕 -专利权人：扬州吉山津田光电科技有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空蒸镀方法，属于真空蒸镀领域。它包括：一、提供蒸镀腔室；二、提供若干蒸镀台，将蒸镀台设置于蒸镀腔室内底部，每个蒸镀台的顶部设置不同的蒸发源，设置不同蒸发源的蒸镀材料不同；三、提供若干基板，将基板设置在蒸镀腔室内顶部，其中一个基板水平设置本发明通过环绕式设置多个基板，配合多个蒸镀台，能对基板进行不同材料的同时蒸镀，且蒸镀台的蒸发源散发处的材料分子可更大面积的被基板朝向蒸镀台的待镀面接收，从而降低了对材料的浪费。
一种真空方法

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法以及有机EL显示装置的制造方法-CN201780093370.6在审
发明人：岸本克彦;崎尾进 -专利权人：堺显示器制品株式会社
申请日： 2017-08-21 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供一种在被蒸镀基板与蒸镀掩模的对位时不易受到磁场的影响，并且通过在蒸镀时使用强烈地吸引蒸镀掩模而使被蒸镀基板与蒸镀掩模接近的磁性卡盘，从而可防止磁性卡盘的发热的蒸镀装置、蒸镀方法以及有机EL显示装置的制造方法在该蒸镀装置中，磁性卡盘(3)具备永久磁铁(3A)和电磁铁(3B)。
装置方法以及有机 el 显示装置制造

[发明专利]蒸镀装置及利用该蒸镀装置的蒸镀量控制方法-CN201410455769.2有效
发明人：李炳哲;朴简永;李苍植;郑兴铁;崔炫 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2014-09-09 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开蒸镀装置及利用该蒸镀装置的蒸镀量控制方法，根据本发明的一实施例的蒸镀装置包括：真空腔室；蒸镀源，布置于真空腔室的内部，释放被气化的蒸镀物；以及气化量计算单元，向被气化的蒸镀物提供能量，以由被气化的蒸镀物释放荧光，且根据释放的荧光的强度计算被气化的蒸镀物的气化量。
装置利用蒸镀量控制方法

[发明专利]蒸镀源、蒸镀装置-CN201811230434.5有效
发明人：谢虎;付潇;郭书鹏;黄俊淞 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-10-22 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀源、蒸镀装置，属于蒸镀技术领域，其可解决现有的坩埚难以从蒸镀容纳室中取出的问题。本发明的蒸镀源包括：蒸镀容纳室，其内部为中空结构；蒸镀本体，其设置在所述中空结构内；支撑组件，其设置在所述中空结构的底面上，用于支撑所述蒸镀本体，以将所述蒸镀本体的底部与所述中空结构的底面分离。
蒸镀源装置

[发明专利]含硅薄膜蒸镀用组合物及利用其的含硅薄膜的制造方法-CN201880075454.1有效
发明人：金成基;朴重进;杨炳日;张世珍;朴建柱;朴廷主;丁熙娟;李三东;李相益;金铭云 -专利权人： DNF有限公司
申请日： 2018-11-22 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C23C16/30 文献下载
摘要：本发明涉及含有三甲硅烷基胺化合物的含硅薄膜蒸镀用组合物以及利用其的含硅薄膜的制造方法，更详细地，提供在低温下能够以非常优异的蒸镀速度形成含硅薄膜而能够作为含硅薄膜的前体和显示器的封装材料有效使用的含有三甲硅烷基胺化合物的含硅薄膜蒸镀用组合物及利用其的含硅薄膜的制造方法
薄膜蒸镀用组合利用制造方法

[发明专利]一种蒸镀设备-CN201711213508.X有效
发明人：马凯葓;孙力 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-11-27 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀设备，涉及显示技术领域。该蒸镀设备包括对基板进行蒸镀的多个蒸发源，还包括用于调节每个蒸发源蒸镀范围的隔板。该蒸镀设备通过调节隔板，可以实现蒸发源的同时分别蒸镀，还可以调节掺杂层的混合蒸镀比，提高了蒸镀设备的生产效率，简化了调整混合蒸镀比的操作工艺，实现了蒸发源的使用多样性，有利于蒸镀器件结构的开发。
蒸镀蒸镀设备蒸发源隔板操作工艺器件结构生产效率掺杂层对基板多样性开发

[发明专利]蒸镀预加热方法及蒸镀预加热系统-CN201911207449.4有效
发明人：赵迪;辛小刚;朱修剑;王宝友;孙飞;王卫卫 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀预加热方法及蒸镀预加热系统。蒸镀预加热方法包括：根据至少两种待加热的蒸镀材料的类别，确定各蒸镀材料的加热批次；按照所确定的加热批次，对各蒸镀材料进行预加热。本发明公开的蒸镀预加热方法通过对蒸镀材料分批次进行预加热，能够有效地对蒸镀腔室内的真空度进行管控，进而可以提高蒸镀质量，提高产品良率。
蒸镀预加热方法系统

[发明专利]一种蒸镀装置-CN201910639880.X在审
发明人：王海燕 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2019-07-16 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀装置，通过设置积灰装置对产生的非目标蒸镀物进行吸收能够保证蒸镀装置的腔体内和基板上不会附着非目标蒸镀物(氧化物或者氮化物)，从而避免因受非目标蒸镀物的污染影响到蒸镀的良率，使得蒸镀操作能够达到高真空的条件，提高基板蒸镀的效率；能够减少且通过设置积灰装置吸收非目标蒸镀物能够节省额外开腔清洁的操作，提高蒸镀的可操作性以及生产效率。
蒸镀蒸镀装置积灰装置开腔基板蒸镀生产效率污染影响氮化物高真空氧化物附着基板良率吸收体内清洁保证

[发明专利]成膜装置-CN201811560346.1有效
发明人：市原正浩 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供蒸镀装置，其特征在于，该蒸镀装置包括：真空槽，在真空气氛下进行对于被蒸镀构件的蒸镀工序；以及蒸发源，与所述被蒸镀构件的成膜面相向地配置在所述真空槽内，通过朝向所述被蒸镀构件的成膜面喷射成膜材料而进行蒸镀，所述真空槽在与所述被蒸镀构件的成膜面相向的一侧的壁上具有光学窗，所述蒸发源被配置为，在蒸镀时能够沿着所述被蒸镀构件的面内方向在所述被蒸镀构件与所述窗之间移动。
装置