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[发明专利]高真空密封-CN201010275775.1有效
发明人： S·H·L·范登布姆;R·W·P·琼克斯;H·F·M·范登布姆;R·J·德格鲁特;P·H·T·J·乌兰 -专利权人： FEI公司
申请日： 2010-09-07 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： F16J15/48 文献下载
摘要：本发明涉及一种用作高真空密封的经过改进的O形圈密封。标准的O形圈密封的局限性是水的渗透通过所述O形圈。特别是对于其中的部件保持在低温温度的设备例如低温电子显微镜而言，在真空中水的存在成为一个问题，由此会导致冰在所述低温部件上生长。作为解决方案常常使用双O形圈密封或金属密封。
真空密封

[发明专利]高真空阀-CN200910174147.1有效
发明人：樱井丰信;神坂育男 -专利权人： SMC株式会社
申请日： 2009-09-30 - 公布日： 2010-05-26 - 主分类号： F16K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种高真空阀，其包括：阀体部，在第一阀口和第二阀口之间的流路上设置阀座，并具有可相对该阀座接合或分离的开闭件；阀驱动部，由先导流体的压力驱动的推杆将与所述阀座面对的流路壁贯穿并插入流路中，所述阀驱动部驱动连结在所述推杆顶端的开闭件来开闭阀座其中，在贯通孔内设置有润滑脂槽，在所述润滑脂槽的流路一侧设置用来保留润滑脂的密封部件，而在所述润滑脂槽的相反一侧设置用来真空密封的密封部件，由此构成轴封，使所述润滑脂槽的轴向长度与上述开闭件的最大行程相同或大于该最大行程
真空

[实用新型]高真空系统-CN201921580798.6有效
发明人：孙海鸥;赵梅玉;梁仁和 -专利权人：北京精仪天和智能装备有限公司
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高真空系统，包括：第一真空泵、真空室、第一阀门和第二阀门，所述第一真空泵经所述第一阀门和所述第二阀门与所述真空室相连，其中，所述第一阀门的安装方向和所述第二阀门的安装方向相反，且所述第一阀门和第二阀门串联该高真空系统，在第一真空泵和真空室之间串联设置两个阀门，并将两个阀门的安装方向相反设置，使得真空室在处于微正压状态时，其中一个阀门能够保证真空室的高真空性，另一个阀门能够保证真空室的微正压，避免了气体的泄漏；同时，在真空室处于高真空状态时，避免了外部气体进入真空室，而对第一真空泵造成损伤的情况。
真空系统

[实用新型]高真空阀门-CN202221682466.0有效
发明人：曹宇;马丹;王健 -专利权人：芯材芯（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： F16K31/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高真空阀门，所述高真空阀门设置于半导体溅射台中相邻的高真空腔体间，或设置于高真空腔体与冷泵间；所述高真空阀门包括：框体；在所述框体相对的两侧，分别设有第一滑轮和第二滑轮，每一侧的所述第一滑轮和所述第二滑轮沿第一方向排列该高真空阀门能够灵活移动，实现高真空腔体间或高真空腔体和冷泵间的快速隔断。
真空阀门

[外观设计]高真空阀体-CN201930145973.8有效
发明人：谢辉 -专利权人：东莞加至尚机械科技有限公司
申请日： 2019-04-02 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： 23-01 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：高真空阀体。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于主要控制设备。3．本外观设计产品的设计要点：在于产品的外形。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
外观设计高真空阀省略控制设备右视图图无仰视图片

[外观设计]烤箱（高真空）-CN201930662145.1有效
发明人：刘亿锋;李辉进;刘裕周;刘淼城;谢志清 -专利权人：广东恒烤智能机械有限公司
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： 07-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：烤箱（高真空）。2.本外观设计产品的用途：用于烘烤加热产品。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
烤箱真空

[发明专利]高真空组件-CN201180060122.4有效
发明人：马丁·理查德·英格尔 -专利权人：通用电气能源转换技术有限公司
申请日： 2011-12-08 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： B01J3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种高真空组件，例如真空室（1）的壁或在使用时被操作或被放置在该真空室中的一个组件。在使用中，该外层（6）被暴露于高真空。
真空组件

[外观设计]真空高真空连续铸造设备-CN202230375463.1有效
发明人：刘林权;杨光;蓝国丰;杨留安;杨健康;唐俊芳 -专利权人：深圳市泰安贵金属设备科技有限公司
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：真空高真空连续铸造设备。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品是用于新材料、金锡20、贵金属铂金、钯金、黄金、白银、铜及其它合金在真空、高真空+惰性气体下连续铸造成型设备。
真空连续铸造设备

[实用新型]一种用于真空镀膜机的高洁净真空抽气系统-CN201020597023.2有效
发明人：李志荣;李志方;罗志明;李秋霞 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2010-11-09 - 公布日： 2011-06-08 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：一种用于真空镀膜机的高洁净真空抽气系统，包括真空镀膜室、制冷盘管、高真空机组和低真空预抽机组，其特征在于：所述的高洁净真空抽气系统还包括高真空抽气管道、高真空抽气管道预抽机组，所述低真空预抽机组通过预抽真空管道与所述真空镀膜室相连通，所述高真空抽气管道与真空镀膜室相连通，高真空抽气管道与真空镀膜室的连接处设有真空闸板阀，所述制冷盘管安装在高真空抽气管道内部，所述高真空抽气管道预抽机组与高真空抽气管道相连通，所述高真空机组与高真空抽气管道相连通，高真空机组与高真空抽气管道的连接处设有高真空阀。
一种用于真空镀膜洁净真空系统

[实用新型]一种多工位双层电池高真空烤箱-CN201820211828.5有效
发明人：叶玮桦;叶火贵 -专利权人：惠州市千吉盛自动化科技有限公司
申请日： 2018-02-07 - 公布日： 2018-10-23 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多工位双层电池高真空烤箱，包括高真空泵，高真空泵的底部设置有高真空气出口，高真空气出口的底部设置有高真空管，高真空管的两侧设置有回风管和冷风管，冷风管通过冷却机出口与冷却机连接，高真空管、回风管和冷风管的底端设置有第一高真空烤箱、第二高真空烤箱和第三高真空烤箱，第一高真空烤箱、第二高真空烤箱和第三高真空烤箱的内部设置有高真空管阀门、回风管阀门和冷风管阀门，高真空烤箱的底部设置有减震脚，高真空烤箱的一侧设置有漏电保护器，第一高真空烤箱、第二高真空烤箱和第三高真空烤箱上设置有密封圈；装置性能稳定，烘烤时间短，除水效果好，实现多个烤箱和双层一起加工，降低了生产成本和时间。
烤箱高真空高真空管冷风管回风管阀门高真空泵空气出口多工位冷却机密封圈本实用新型漏电保护器电池两侧设置内部设置装置性能减震脚除水底端烘烤生产成本出口加工

[发明专利]高真空深冷水汽捕集器-CN200410047936.6有效
发明人：公茂琼;吴剑锋;胡勤国 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2004-06-11 - 公布日： 2005-12-14 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：本发明涉及的高真空深冷水汽捕集器，包括高真空水汽捕集单元、低真空水汽捕集单元、压缩机单元、低真空室、真空连接管道以及制冷剂输运管道组成。布置方式为：高真空捕集单元放置在高真空系统中的高真空泵(B)入口与高真空室(A)连接处的高真空环境中，或放置在高真空系统中的高真空室(A)内；低真空捕集单元放置在低真空室中，低真空室通过真空系统连接管道同时与高真空系统中的高真空泵(B)出口及前级真空泵(C)入口连接；高真空捕集单元工作温区在110－150K。本发明提出的深冷水汽捕集器对水蒸汽具有选择性捕集，可以显著提高抽速和极限真空度，制作成本低、可靠性高和无需专门维护等特点。
真空水汽捕集器

[实用新型]高真空深冷水汽捕集器-CN200420067062.6无效
发明人：公茂琼;吴剑峰;胡勤国 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2004-06-14 - 公布日： 2006-02-01 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及的高真空深冷水汽捕集器，包括高真空水汽捕集单元、低真空水汽捕集单元、压缩机单元、低真空室、真空连接管道以及制冷剂输运管道组成。布置方式为：高真空捕集单元放置在高真空系统中的高真空泵(B)入口与高真空室(A)连接处的高真空环境中，或放置在高真空系统中的高真空室(A)内；低真空捕集单元放置在低真空室中，低真空室通过真空系统连接管道同时与高真空系统中的高真空泵(B)出口及前级真空泵(C)入口连接；高真空捕集单元工作温区在110－150K。本实用新型提出的深冷水汽捕集器对水蒸汽具有选择性捕集，可以显著提高抽速和极限真空度，制作成本低、可靠性高和无需专门维护等特点。
真空水汽捕集器

[发明专利]高真空真空阀驱动器-CN202010442288.3在审
发明人：张军平;曹黎明 -专利权人：苏州艾嘉亚真空科技有限公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： F16K31/12 文献下载
摘要：本发明属于压铸技术领域，涉及一种高真空真空阀驱动器，包括供油管线，用于驱动能在液压油缸内伸缩运动的真空阀芯，所述液压油缸的两个腔室分别连接打开油路和关闭油路，所述供油管线包括连接油箱P口的送油管和连接油箱本机构利用两个电磁阀配合换向阀换向，让液压控制真空阀响应速度更快，响应时间可以达到50ms以下，有利于压铸抽气的高精度控制。
真空驱动器

[实用新型]抽真空迅速的真空高阀-CN201621176257.3有效
发明人：瞿建强;瞿一涛;黄仕强;陆彬锋 -专利权人：江阴市光科真空机械有限公司
申请日： 2016-10-27 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： F16K51/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抽真空迅速的真空高阀包括阀体、气缸和阀罩盖，阀体内为中空结构，阀体上设有真空容器连接口、次真空泵连接口和高真空泵连接口，阀体上设置气缸，气缸与阀体连接处密封连接；气缸的气缸轴伸入到阀体内，气缸轴的顶端设有阀罩盖，阀罩盖朝向高真空泵连接口，能在气缸轴驱动下关闭或打开高真空泵连接口；次真空泵连接口至少设有两个，且都设置在圆柱形阀体外表面的同一母线上，次真空泵连接口连接低真空泵和/或中真空泵本实用新型通过多个次真空泵连接口的设置，可以在抽真空时分别将几个次真空泵连接口与低真空泵和或/中真空泵相连，这样由于最下方为高真空泵，上方的低真空泵等于给高真空泵一个协助，使得抽真空迅速。
真空迅速

[实用新型]高真空真空阀驱动器-CN202020883680.7有效
发明人：张军平;曹黎明 -专利权人：苏州艾嘉亚真空科技有限公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： F16K31/12 文献下载
摘要：本实用新型属于压铸技术领域，涉及一种高真空真空阀驱动器，包括供油管线，用于驱动能在液压油缸内伸缩运动的真空阀芯，所述液压油缸的两个腔室分别连接打开油路和关闭油路，所述供油管线包括连接油箱P口的送油管和连接油箱本机构利用两个电磁阀配合换向阀换向，让液压控制真空阀响应速度更快，响应时间可以达到50ms以下，有利于压铸抽气的高精度控制。
真空驱动器

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