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[实用新型]蒸镀设备-CN201821722248.9有效
发明人：李嘉宸 -专利权人：陕西坤同半导体科技有限公司
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀设备，可在真空环境自动填充有机材料，并对玻璃基板进行蒸镀，其中蒸镀设备包括：蒸镀腔体；蒸镀装置，设置于蒸镀腔体内，蒸镀装置用于蒸镀有机材料；填料腔体，与蒸镀腔体衔接，填料腔体用于存放有机材料；真空阀门，设置于蒸镀腔体与填料腔体之间，真空阀门用于蒸镀腔体与填料腔体的连通或隔离；送料装置，设置于填料腔体内，送料装置用于在真空阀门打开时将填料腔体内的有机材料输送至蒸镀装置内；以及传感器，设置于蒸镀腔体内本实用新型可完全做到真空状态下进行填料，使蒸镀设备持续保持在真空状态进行连续蒸镀，提高生产效率。
填料腔有机材料真空阀门蒸镀腔体蒸镀设备送料装置蒸镀装置体内蒸镀本实用新型真空状态蒸镀腔传感器玻璃基板生产效率真空环境自动填充送料连通隔离衔接

[发明专利]掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法-CN201810458187.8有效
发明人：周丽芳;刘明星;王徐亮 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法，该掩膜板包括掩膜基板和遮挡层，掩膜基板上设置有蒸镀区，蒸镀区包括有效蒸镀区和无效蒸镀区，有效蒸镀区与显示面板的显示区对应，无效蒸镀区至少与显示面板的开槽区对应，且有效蒸镀区和无效蒸镀区内均分布有多个蒸镀开口，遮挡层设置于掩膜基板表面并遮挡无效蒸镀区内的蒸镀开口。上述掩膜板用于蒸镀显示面板，其中对于掩膜基板而言，不仅使有效蒸镀区与异形屏的显示区对应，还通过无效蒸镀区补齐了有效蒸镀外的缺口，整个蒸镀区的边缘受力均匀，可以防止掩膜基板在张网时褶皱，进而防止最终成型的显示面板混色
掩膜板组件制作方法

[发明专利]一种真空蒸镀系统及真空蒸镀方法-CN202010429257.4有效
发明人：梁丰;牛晶华;戴铭志;李巍 -专利权人：武汉天马微电子有限公司;武汉天马微电子有限公司上海分公司
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开一种真空蒸镀系统及真空蒸镀方法，涉及蒸镀领域，包括：移动载台，移动载台上设置有M个蒸发源和M个角度限制单元，角度限制单元包括第一开口，蒸镀材料的蒸镀范围由第一开口限定；信号发射单元向蒸镀范围内发射第一红外信号，第一红外信号经过蒸镀材料后形成第二红外信号；信号探测单元接收第二红外信号，通过第二红外信号分析蒸镀范围内所包含的蒸镀材料；当蒸镀范围内包含N种蒸镀材料时，第一驱动单元驱动角度限制单元运动，调节蒸镀范围本申请通过第一驱动单元驱动角度限制单元运动，调节各种蒸镀材料的蒸镀范围，使得多种蒸镀材料在蒸镀面上完全重合，避免出现超薄层，从而提高器件性能和产品良率。
一种真空系统方法

[实用新型]一种热蒸镀预调材料回收装置与蒸镀设备-CN202321386224.1有效
发明人：尹伟杰;黄惠钰;赖俊志;李立嘉;刘明伟;李艳华 -专利权人：湖南科技大学
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热蒸镀预调材料回收装置与蒸镀设备，热蒸镀预调材料回收装置包括蒸镀挡板与蒸镀装置；其中蒸镀挡板包括加热盖板和两片引流板，两片引流板位于加热盖板下方，分别斜向下向内设置；蒸镀装置包括蒸发舟、底座和加热器，蒸发舟位于底座(42)上方，加热器位于底座下方，使加热器通过底座加热蒸发舟中的蒸镀材料；蒸镀挡板覆盖在蒸镀装置的上方，两引流板的下端均位于蒸发舟内部的上方，使液态的蒸镀材料通过引流板回到蒸发舟中从而在预调蒸镀材料速率的过程当中，蒸发的蒸镀材料被蒸镀挡板收集，沉积在加热盖板上，通过加热使得凝固的蒸镀材料融化，经过引流板回流至蒸发舟内，节约蒸镀材料。
一种热蒸镀预调材料回收装置设备

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀设备及蒸镀方法-CN201410247239.9无效
发明人：张耀宇 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2014-06-05 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一蒸镀装置、蒸镀设备及蒸镀方法，蒸镀装置包括：至少一蒸镀源；以及，一动力装置，接设于所述蒸镀源，所述动力装置驱动所述蒸镀源往复摇摆。本发明将现有线性蒸镀源直线扫描生产方式，改为摇摆方式来达成成膜目的。利用蒸镀源的摇摆，减少其中一个或多个喷口出气率不良时的影响，提高蒸镀气体均匀性，从而提高成膜均匀性。
装置设备方法

[发明专利]蒸镀颗粒射出装置和蒸镀装置-CN201280009041.6有效
发明人：园田通;川户伸一;井上智;桥本智志 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2012-03-08 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明的蒸镀颗粒射出装置(501)具备喷嘴部(170)，该喷嘴部(170)与对蒸镀材料(114)、(124)进行加热而产生气体状的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒产生部(110)、(120)连接，并具有将在上述蒸镀颗粒产生部(110)、(120)产生的蒸镀颗粒射出到外部的射出(171)。上述蒸镀颗粒产生部(120)的蒸镀材料容纳量，比上述蒸镀颗粒产生部(110)的蒸镀材料容纳量小。
颗粒射出装置

[发明专利]蒸镀方法、蒸镀膜和有机电致发光显示装置的制造方法-CN201180062668.3有效
发明人：园田通;川户伸一;井上智;桥本智志 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2011-12-20 - 公布日： 2013-08-28 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：本发明的蒸镀方法包括：准备工序，准备固定蒸镀掩模（81）与蒸镀源（85）的相对位置的掩模单元；蒸镀工序，使上述掩模单元和被成膜基板（200）中的至少一个相对移动，使从蒸镀源（85）射出的蒸镀流蒸镀在蒸镀区域（210）；和闸门位置调整工序，调整第二闸门（111）的位置，以遮蔽流向不需蒸镀区域（210）的蒸镀流。
方法镀膜有机电致发光显示装置制造

[发明专利]LED芯片电极及其制作方法和LED芯片-CN201810048297.7有效
发明人：袁章洁;李康 -专利权人：湘能华磊光电股份有限公司
申请日： 2018-01-18 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： H01L33/32 文献下载
摘要：本申请公开了一种LED芯片电极及其制作方法和LED芯片，制作方法包括：提供GaN晶片并在GaN晶片上制作光刻胶；蒸镀Cr金属层；在Cr金属层表面蒸镀Al金属层，蒸镀温度为20℃至50℃；在Al金属层表面蒸镀Ti金属层，蒸镀温度为20℃至50℃；在Ti金属层表面蒸镀Pt金属层，蒸镀温度为20℃至80℃；重复Ti金属层和Pt金属层的蒸镀，周期个数为1至3，Ti金属层的蒸镀镀率小于Al金属层的蒸镀镀率，Pt金属层的蒸镀镀率大于Al金属层的蒸镀镀率，使与Al金属层直接接触的Ti金属层将Al金属层的外表面完全包覆；在最后一个Ti金属层/Pt金属层周期的Pt金属层表面蒸镀Au金属层。
蒸镀金属层金属层表面制作晶片完全包覆光刻胶重复申请

[实用新型]一种蒸镀对位系统及蒸镀装置-CN201621105664.5有效
发明人：田川 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2016-10-08 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蒸镀对位系统及蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，为解决待蒸镀基板因静电被吸附在冷却板上而导致蒸镀装置的工作受到不良影响的问题。所述蒸镀对位系统，包括基板载具、掩膜版载具和冷却板，冷却板内设置有分离件；对待蒸镀基板进行蒸镀时，待蒸镀基板安装在基板载具上，掩膜版安装在掩膜版载具上，待蒸镀基板位于冷却板的下方，掩膜版位于待蒸镀基板的下方；分离件可与基板载具一起相对冷却板向下移动，使待蒸镀基板与冷却板分离。分离件与基板载具一起向下移动，分离件向待蒸镀基板施加向下的力，使待蒸镀基板与冷却板分离，防止蒸镀装置的工作受到不良影响。本实用新型提供的蒸镀对位系统应用于蒸镀装置中。
一种对位系统装置

[发明专利]一种蒸镀装置-CN201510169608.1有效
发明人：裴凤巍;赵子仪;崔富毅;张金中 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2015-04-10 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀装置，用于解决现有技术的蒸镀装置需要单独设立传送腔室，并且每次蒸镀需要重新对各蒸发腔室进行抽真空、设备复杂、传送和抽真空时间长等问题。本发明提供的蒸镀装置包括多个蒸镀子腔室，将待蒸镀基板在多个蒸镀子腔室移动完成各层镀蒸，节省待蒸镀基板的传送时间，且将蒸镀腔室维持在同一真空环境下，各蒸镀子腔室不用重新抽真空，节省抽真空时间。
一种装置

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光元件的制造方法-CN201480074226.4有效
发明人：越智贵志;井上智;小林勇毅;松永和树;川户伸一;菊池克浩;市原正浩;松本荣一 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供在整个蒸镀区域中基板上的蒸镀率的控制精度优异的蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光元件的制造方法。本发明提供在基板上形成膜的蒸镀装置，上述蒸镀装置包括第一膜厚监视部和包含蒸镀源的蒸镀单元，并且，一边基于上述第一膜厚监视部的测定结果，控制从上述蒸镀源放出气化后的材料的部分与上述基板的被蒸镀的表面之间的距离，一边进行蒸镀。
装置方法有机电致发光元件制造

[发明专利]真空蒸镀装置用蒸镀源-CN202210599823.5在审
发明人：斋藤修司 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2020-06-04 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种真空蒸镀装置用蒸镀源，其具有主筒体和副筒体，所述主筒体具有填充蒸镀材料的坩埚部；所述副筒体具有释放开口；以及加热装置，其至少可加热坩埚部内填充的蒸镀材料；副筒体改变释放开口的相位并可装卸自如地安装在主筒体上；设置有开合自如地封闭坩埚部的上表面开口的盖体；在真空气氛中在用盖体封闭坩埚部的上表面开口的状态下通过加热装置加热坩埚部内的蒸镀材料使蒸镀材料升华或气化，在打开盖体时，升华或气化了的蒸镀材料一边保持其蒸气压力
真空装置用蒸镀源

[实用新型]一种铝金属化膜生产用蒸镀装置、铝金属化膜-CN201821720453.1有效
发明人：宋仁祥 -专利权人：安徽省宁国市海伟电子有限公司
申请日： 2018-10-22 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铝金属化膜生产用蒸镀装置，包括蒸镀腔体，所述的蒸镀腔体内设置有真空腔，所述的蒸镀腔体外安装有和真空腔连通的真空泵，所述的真空腔内安装有放卷装置和收卷装置，所述的真空腔内安装有铝丝融化槽本实用新型的蒸镀装置在进行蒸镀时，通过调节活动挡板的位置，可调节遮蔽组件上喷射口的大小，进而调节铝层的厚度，调节方便、快速，可适用不同镀层厚度的生产；进一步，通过加热装置对基膜进行加热，可提高基膜和铝颗粒之间以及铝颗粒和铝颗粒之间的粘附力；另外，通过隔热板的设计，隔热板上下热量相互影响小，提高温度控制的准确性，进而提高蒸镀质量。
真空腔蒸镀装置铝金属铝颗粒本实用新型遮蔽组件蒸镀腔体隔热板膜生产融化槽基膜铝丝蒸镀挡板调节方便调节活动放卷装置加热装置上部位置收卷装置可调节喷射口真空泵蒸镀腔镀层铝层粘附加热连通体内生产

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法、有机发光二极管器件和显示面板-CN202310092346.8在审
发明人：贾克飞;李坚;张金中;王艳;朱伍权;杨正宇;廖先江 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司
申请日： 2023-01-28 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本公开实施例提供蒸镀装置、蒸镀方法、有机发光二极管器件和显示面板。蒸镀装置包括：蒸镀源，蒸镀源包括沿第一方向间隔排列的第二蒸镀源、第一蒸镀源及第三蒸镀源，第一蒸镀源蒸镀主体材料，第二蒸镀源和第三蒸镀源蒸镀客体材料，第二蒸镀区和第三蒸镀区位于第一蒸镀区内；待蒸镀基板被配置为相对于蒸镀源沿第一方向往复移动本公开的蒸镀装置制备发光材料层可以提升发光效率。
装置方法有机发光二极管器件显示面板

[发明专利]蒸镀装置及其控制方法-CN201910142564.1在审
发明人：林进志 -专利权人：陕西坤同半导体科技有限公司
申请日： 2019-02-26 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请提供一种蒸镀装置及其控制方法，涉及真空蒸镀技术领域。该蒸镀装置包括蒸镀腔体，所述蒸镀腔体的一个表面设有多个蒸镀孔；第一蒸镀源，通过第一管道与第二管道连通；第二蒸镀源，通过第三管道与所述第二管道连通；所述第二管道与所述蒸镀腔体连通，且所述第一管道、第二管道和第三管道连接处设有第一阀门本申请可以可在不停机的情况下切换蒸镀源，使蒸镀装置持续作业，提升蒸镀装置的稼动率。
装置及其控制方法