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- [发明专利]蒸发源-CN202011545911.4在审
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林文晶
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上海升翕光电科技有限公司
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2020-12-24
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2022-06-28
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C23C14/24
- 本申请提供一种蒸发源，包括喷嘴、容器和固定装置，容器固定在固定装置中，容器用于容纳蒸镀材料，蒸镀材料沿第一方向自容器内升华至喷嘴；容器具有第一腔体和第二腔体，第一腔体与第二腔体在第一方向上互相连接且互相连通本申请的蒸发源能够提高了蒸镀材料的蒸发面积，同时有效的避免了蒸镀过程中孤岛效应的出现，便于拆卸和维修，避免对部件进行整体更换，降低生产过程中的维修成本。
- 蒸发
- [发明专利]蒸发源-CN201310438958.4有效
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赵芳;林成勇;魏锋
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四川虹视显示技术有限公司
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2013-09-24
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2013-12-25
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C23C14/24
- 本发明公开的一种应用于OLED显示技术领域的蒸发源主要包括蒸发舟和阻挡装置，阻挡装置包括阻挡盖和阻挡支架或阻挡盖组和阻挡支架，阻挡盖或阻挡盖组通过阻挡支架安装于蒸发舟的正上方，阻挡盖的直径大于蒸发舟横截面的直径采用该蒸发源进行OLED基板蒸镀时，当处于基板传输、基板对位、腔体等待基板等非蒸镀工艺时，阻挡盖盖在处于蒸镀状态的蒸发舟上，被蒸发或升华的蒸镀材料全部凝聚在阻挡盖上，回收工艺非常简便；对于蒸镀材料包括主有机材料和掺杂材料的情况，由于蒸镀时，主有机材料和掺杂有机材料分别位于不同的蒸发舟中，对应不同的阻挡盖，只要回收时进行分别回收，则后续只需进行简单的分离提纯即可分别再次投入使用。
- 蒸发
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