专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]蒸发源及真空蒸镀系统-CN201911198154.5有效
  • 邹清华;黄俊淞 - 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
  • 2019-11-29 - 2021-08-27 - C23C14/26
  • 本申请公开了一种蒸发源及真空蒸镀系统,属于显示技术领域。该蒸发源包括:腔体,设置在腔体内的坩埚和驱动组件,以及加热组件;其中,坩埚为可伸缩结构,用于放置蒸镀材料;该腔体的一侧设置有出气孔,该驱动组件位于坩埚远离出气孔的一侧,驱动组件用于驱动坩埚朝靠近出气孔的一侧收缩;该加热组件用于加热蒸镀材料。由于本申请中坩埚为可伸缩结构,该驱动组件可以驱动坩埚朝靠近出气孔的一侧收缩。因此在坩埚内的蒸镀材料逐渐减少的过程中,该蒸镀材料与出气孔的距离能够始终保持在较小的范围内,无需增加加热温度即可确保蒸镀材料的沉积速率保持稳定,进而避免了温度过高影响在基板上形成的膜层的品质。
  • 蒸发真空系统
  • [发明专利]蒸镀设备-CN201710922695.2有效
  • 黄俊淞;苏志玮;付潇 - 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
  • 2017-09-30 - 2019-04-02 - C23C14/24
  • 本发明公开了一种蒸镀设备,以降低蒸镀生产成本,提高蒸镀品质和蒸镀生产效率。蒸镀设备包括:在水平面内拼接的多个蒸镀腔单元;每个蒸镀腔单元所连接的承载架,位于蒸镀腔单元的下方;每个承载架所连接的第一支撑杆,沿第一水平方向设置;第一驱动机构,与各个第一支撑杆的同一侧端部连接,并能够驱动第一支撑杆沿第一水平方向、第二水平方向及高度方向移动,其中,第二水平方向与所述第一水平方向正交。
  • 设备
  • [发明专利]用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备-CN201610005830.2有效
  • 黄俊淞;刘晓云;叶岚凯 - 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
  • 2016-01-05 - 2018-12-21 - C23C14/26
  • 本发明公开了一种用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备,涉及显示装置制作领域,能够解决现有蒸镀设备加热不均,蒸镀材料易喷射、易发生性能劣化,蒸镀镀率调整时不宜稳定的问题。本发明提供的用于蒸镀的加热装置,包括:坩埚,用于盛装蒸镀原料;可移动加热单元,设置于所述坩埚的外部且蒸镀时高于蒸镀原料;称重传感装置,设置于所述坩埚的下方,用于称重所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量并输出;控制器,用于接收所述称重传感装置的输出,根据所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量计算所述坩埚内蒸镀原料的液位高度,并根据所述液位高度控制所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度。
  • 用于加热装置设备
  • [实用新型]用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备-CN201620010104.5有效
  • 黄俊淞;刘晓云;叶岚凯 - 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
  • 2016-01-05 - 2016-05-25 - C23C14/26
  • 本实用新型公开了一种用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备,涉及显示装置制作领域,能够解决现有蒸镀设备加热不均,蒸镀材料易喷射、易发生性能劣化,蒸镀镀率调整时不宜稳定的问题。本实用新型提供的用于蒸镀的加热装置,包括:坩埚,用于盛装蒸镀原料;可移动加热单元,设置于所述坩埚的外部且蒸镀时高于蒸镀原料;称重传感装置,设置于所述坩埚的下方,用于称重所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量并输出;控制器,用于接收所述称重传感装置的输出,根据所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量计算所述坩埚内蒸镀原料的液位高度,并根据所述液位高度控制所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度。
  • 用于加热装置设备
  • [发明专利]蒸镀设备及蒸镀方法-CN201510688878.3在审
  • 黄俊淞;申永奇;叶岚凯 - 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
  • 2015-10-21 - 2015-12-23 - C23C14/24
  • 本发明是关于一种蒸镀设备及蒸镀方法,属于真空蒸镀技术领域。所述蒸镀设备包括:基板、蒸镀腔及波纹管;所述蒸镀腔内设置有蒸镀源,所述蒸镀腔的侧壁设置有两个限制板;所述基板设置于所述蒸镀源的正上方,所述波纹管设置于所述蒸镀腔的底部。本发明在蒸镀腔的底部设置波纹管,通过波纹管的转动带动蒸镀腔上下移动,从而改变蒸镀源与限制板之间的相对高度,无需对蒸镀设备进行改造,即可满足不同有机材料的蒸镀条件,不仅明显地提高了设备灵活性,而且节省了时间及资源消耗。
  • 设备方法
  • [发明专利]蒸镀源和蒸镀装置-CN201410784050.3在审
  • 黄俊淞;叶岚凯 - 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
  • 2014-12-16 - 2015-03-11 - C23C14/24
  • 本发明公开了一种蒸镀源和蒸镀装置。所述蒸镀源内设置有沿其长度方向分布的加热件,所述加热件包括多个串联的加热部,对应于所述蒸镀源的长度方向的两端位置的加热部的热功率大于对应于所述蒸镀源的长度方向的中间位置的加热部的热功率。本发明中设置在蒸镀源两端位置的加热部的热功率比设置在中间位置的加热部的热功率大,因此能够补偿蒸镀源两端的热量散失,使蒸镀源内的温度分布更加均匀,从而使蒸镀材料的消耗速率更均匀,延长了蒸镀源的使用周期。
  • 蒸镀源装置
  • [发明专利]蒸镀机的蒸发源装置及蒸镀机-CN201410277208.8有效
  • 叶岚凯;黄俊淞 - 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
  • 2014-06-19 - 2014-10-22 - C23C14/24
  • 本发明涉及蒸镀设备技术领域,公开了一种蒸镀机的蒸发源装置及一种蒸镀机。本发明的蒸镀机的蒸发源装置,包括:坩埚;所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第一方向的第一导热隔板,每个所述第一导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上;所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第二方向且与每个所述第一导热隔板固定连接的第二导热隔板,每个所述第二导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上。采用本发明技术方案,可以使得热量在蒸镀材料中的传递路径缩短,热量在蒸镀材料中均匀传递,进而提高了有机材料蒸镀的热稳定性,以保持镀率的稳定及提高有机材料蒸镀的良率。
  • 蒸镀机蒸发装置

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