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[实用新型]一种隔热机构-CN202321355135.0有效
发明人：臧世伟;刘文卿 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种隔热机构，该隔热机构设置在蒸发源和冷却挡板之间，包括可移动的遮热体以及移动驱动组件，所述遮热体的长度、宽度均大于所述蒸发源上表面的长度、宽度，所述移动驱动组件用于驱动所述遮热体移动，以使所述遮热体位于所述蒸发源和冷却挡板之间或使所述遮热体位于所述蒸发源和冷却挡板的一侧。
一种隔热机构

[发明专利]薄膜沉积装置-CN201310697963.7有效
发明人：梁皓植;卞柱舜 -专利权人：圆益IPS股份有限公司
申请日： 2013-12-18 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜沉积装置，更详细的说根据沉积物质的蒸发，在基板形成薄膜的薄膜沉积装置。本发明公开了薄膜沉积装置的特征在于，根据薄膜沉积装置，包括：工序腔室；一个以上的蒸发源，使沉积物质蒸发，使搬运至所述工序腔室的基板上沉积薄膜；与一个以上的开关板，屏蔽在所述蒸发源蒸发的沉积物质，所述开关板，包括：基座部，沉积蒸发的沉积物质；至少一个热屏蔽部件，层叠在所述基座部上部，屏蔽在所述蒸发源蒸发沉积物质时发生的热辐射。
薄膜沉积装置沉积蒸发蒸发源工序腔室基座部开关板屏蔽基板热屏蔽部件沉积薄膜蒸发沉积热辐射薄膜搬运

[发明专利]制造设备-CN03152528.8有效
发明人：山崎舜平;村上雅一 -专利权人：株式会社半导体能源研究所
申请日： 2003-08-01 - 公布日： 2004-03-10 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸发设备和蒸发方法，该蒸发设备是一种膜形成装置，并提供EL层膜厚的优异均匀性、优异生产率和EL材料的提高的利用效率。本发明的特征在于在蒸发期间其中设置封闭蒸发材料的容器的蒸发源固定器可以一定间距相对于衬底移动。此外，膜厚监视器与蒸发源固定器结合在一起，用于移动。此外，通过根据由膜厚监视器检测的值调整蒸发源固定器的移动速度，可以使膜厚均匀。
制造设备

[发明专利]一种蒸发速率可控的电子束蒸发源-CN201710140215.7有效
发明人：徐永兵;何亮;刘文卿;赖柏霖 -专利权人：南京大学
申请日： 2017-03-10 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：超高真空系统中的电子束蒸发源，包括棒状金属源材料即金属源棒、正高压电源、遮板(8)和生长速率计(9)的组合体、离子收集片(7)、灯丝(5)、定位孔柱(4)、金属源棒(3)外围为冷却水罩(6)，灯丝支架的金属柱(1)以及线性驱动器(2)，正高压电源施加金属源棒正高压，阴极灯丝发射的热电子；金属源棒被热电子轰击加热到足够高的温度后以非常低的速率发射出金属源原子束成为蒸发源，蒸发源上设有一个遮板(8)，在停止蒸发的时候遮挡蒸发束，遮板上设有一个同心孔，在遮板打开薄膜生长的时候让蒸发束通过；定位孔柱来活络限定源棒在轴向的进动，并使源棒在调整位置的时候也始终在蒸发源竖直中心上，蒸发源发射路径上有一个离子收集片。
一种蒸发速率可控电子束

[实用新型]一种蒸发速率可控的电子束蒸发源-CN201720229355.7有效
发明人：徐永兵;何亮;刘文卿;赖柏霖 -专利权人：南京大学
申请日： 2017-03-10 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：超高真空系统中的电子束蒸发源，包括棒状金属源材料即金属源棒、正高压电源、遮板(8)和生长速率计(9)的组合体、离子收集片(7)、灯丝(5)、定位孔柱(4)、金属源棒(3)外围为冷却水罩(6)，灯丝支架的金属柱(1)以及线性驱动器(2)，正高压电源施加金属源棒正高压，阴极灯丝发射的热电子；金属源棒被热电子轰击加热到足够高的温度后以非常低的速率发射出金属源原子束成为蒸发源，蒸发源上设有一个遮板(8)，在停止蒸发的时候遮挡蒸发束，遮板上设有一个同心孔，在遮板打开薄膜生长的时候让蒸发束通过；定位孔柱来活络限定源棒在轴向的进动，并使源棒在调整位置的时候也始终在蒸发源竖直中心上，蒸发源发射路径上有一个离子收集片。
一种蒸发速率可控电子束

[发明专利]一种太阳能电池薄膜的制备设备及其制备方法-CN201710862883.0在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：杭州纤纳光电科技有限公司
申请日： 2017-09-22 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种太阳能电池薄膜的制备设备，包括蒸镀舱，在蒸镀舱的内底面设置至少一个蒸发源容器及其容器挡板，在蒸发源容器内放置有用于制备太阳能电池薄膜的蒸发物，在蒸发源容器上设置有加热蒸发装置使得其内的蒸发物被加热蒸发；在蒸镀舱的内顶面设置上加热台和样品挡板，上加热台给基片样品加热，样品挡板设置在基片样品的下部；在蒸镀舱上还设置有真空抽气管道以及用于测试蒸发物蒸发量的蒸发速率传感器，蒸发速率传感器设置在蒸发源容器的上方且位于样品挡板与容器挡板之间
太阳能电池薄膜制备蒸发源容器蒸镀样品挡板蒸发物速率传感器基片样品容器挡板制备设备加热台蒸发致密加热蒸发装置真空抽气管道钙钛矿薄膜太阳能电池材料结晶加热蒸发产业化内底面内顶面蒸发量加热测试生产

[实用新型]一种四元共蒸AIGS薄膜的蒸发装置-CN201820930745.1有效
发明人：张险峰 -专利权人：电子科技大学中山学院
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种四元共蒸AIGS薄膜的蒸发装置，包括蒸发腔、位于蒸发腔上且与蒸发腔连通的扩散机构以及位于蒸发腔上且与蒸发腔连通的样品交换机构，所述蒸发腔内设置有用于放置基底的旋转台，所述蒸发腔底部设置至少4个出口朝向旋转台的蒸发源，每个蒸发源分别用于蒸发AIGS薄膜的金属层；所述蒸发腔内还设置有用于测试蒸发腔内蒸气压的蒸气压测试仪。通过该装置实现一步法完成多源共蒸发，通过控制蒸发源材料蒸气压对薄膜的生长过程进行精确的控制，提高效率和薄膜的均匀性。
蒸发腔薄膜蒸气压蒸发装置旋转台蒸发源连通本实用新型蒸发源材料交换机构扩散机构生长过程装置实现测试仪共蒸发金属层均匀性一步法多源基底蒸发测试出口

[实用新型]一种屏蔽装置-CN201720358292.5有效
发明人：周树法 -专利权人：昆山立特纳米电子科技有限公司
申请日： 2017-04-07 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种屏蔽装置，包括蒸发源管道和屏蔽设备，所述蒸发源管道与屏蔽设备通过密封件相连接，所述密封件为橡胶密封件。本装置用于研发大型DLC‑2800超硬纳米薄膜涂层设备的屏蔽装置，通过设置橡胶密封件，可以有效防止蒸发源管道导热快，造成屏蔽设备热坏，达到保护屏蔽设备的作用。
一种屏蔽装置

[发明专利]运行脉冲式电弧蒸发源的方法以及具有脉冲式电弧蒸发源的真空处理设备-CN200680009516.6有效
发明人： J·拉姆;B·维德里格;D·伦迪;V·德弗林杰;A·雷特 -专利权人：奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫）
申请日： 2006-03-01 - 公布日： 2008-03-26 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于对工件(3)进行表面处理的真空处理设备，具有一个电弧蒸发源(5)，所述电弧蒸发源包含与一个DC电源(13)连接的第一电极(5`)，还具有与所述电弧蒸发源(5)分开安放的第二电极(3、18
运行脉冲电弧蒸发方法以及具有真空处理设备

[发明专利]一种基于平面蒸发源真空蒸镀技术的盲孔显示器制备方法-CN202110885240.4在审
发明人：潘燕萍;熊超 -专利权人：江苏乐萌精密科技有限公司
申请日： 2021-08-03 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于平面蒸发源真空蒸镀技术的盲孔显示器制备方法，属于真空蒸镀技术领域。本发明的基于平面蒸发源真空蒸镀技术的盲孔显示器制备方法，首先利用线源材料真空蒸镀制备平面蒸发源，在平面蒸发源对应显示器屏幕盲孔的位置上形成相应的面源通孔，利用平面蒸发源垂直真空蒸镀，在玻璃基板上蒸镀形成带有蒸镀盲孔的蒸镀材料层
一种基于平面蒸发真空技术显示器制备方法

[发明专利]蒸发源及蒸镀设备-CN201910528411.0有效
发明人：肖昂;饶勇;罗垒垒;兰代江;刘飞;加新星 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸发源及蒸镀设备，该蒸发源包括：支撑体，设置有第一容置腔；坩埚，包括用于容置蒸镀材料的第二容置腔；所述坩埚设置于所述第一容置腔内，且位于所述支撑体的支撑面上，通过所述支撑面，所述支撑体能够支撑所述坩埚采用该蒸发源，通过在用于支撑坩埚的支撑体上设置压力传感器，以能够通过压力传感器实时监测坩埚内剩余的蒸镀材料，获得剩余蒸镀材料的精确重量值，根据所获得的剩余蒸镀材料的精确重量值，能够确定需要切换蒸发源的预加热时间点和蒸发源切换时间点
蒸发设备

[发明专利]一种高温线性蒸发源装置-CN202210151668.0有效
发明人：周焱文;黄凯;范冰庆 -专利权人：武汉普昊科技有限公司
申请日： 2022-02-18 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种高温线性蒸发源装置，包括水平放置底板，所述水平放置底板外表面的两侧均固定连接有真空罩外壳，所述真空罩外壳内壁的两侧均固定连接有高度微调装置，所述高度微调装置的数量设置为四个，所述高度微调装置为两两对称设置，所述高度微调装置包括与真空罩外壳固定连接的竖直稳定板，本发明涉及蒸发源技术领域。该高温线性蒸发源装置，装置能够通过对电机进行操控，进而控制倾斜角块对放置槽块的高度进行微调，从而保持放置槽块处于水平状体，进而能保持装置长期稳定工作，解决了蒸发源放置时，如果未能达到水平位置就关闭真空罩，非水平状态的蒸发源无法保持长期稳定的工作状态，影响镀膜效果的问题。
一种高温线性蒸发装置

[实用新型]带感应片的吊装真空镀膜室-CN201621233701.0有效
发明人：许峰 -专利权人：苏州市博飞光学有限公司
申请日： 2016-11-17 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及带感应片的吊装真空镀膜室，包括真空泵、导气管、反应室、蒸发源、镀膜支架、感应片，其特征在于真空泵通过导气管与反应室连通，反应室中央位置设置有蒸发源，镀膜支架设置在反应室顶部下方，镀膜支架上表面朝上突起，蒸发源位于镀膜支架上表面突起的正下方，镀膜支架顶部位置设置有感应片。由于本实用新型所述的带感应片的吊装真空镀膜室的镀膜支架上表面朝上方突起，蒸发源位于镀膜支架上表面突起的正下方，因此蒸发源与镀膜支架上不同位置的直线距离差极小，尽量减小了镀膜支架上工件的镀膜速率差，而且镀膜支架通过三根支柱钢性连接在反应室顶部下方
感应吊装真空镀膜

[实用新型]一种单面往复真空镀膜系统-CN201920081101.4有效
发明人：孙效刚;高子安;姜太星 -专利权人：青州市宝丰镀膜科技有限公司
申请日： 2019-01-17 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：包括蒸发源装置和卷绕机构，所述的蒸发源装置包括底座和蒸发源；所述卷绕机构包括设置在蒸发源上方的镀膜鼓、收卷装置和放卷装置，所述的收卷装置和放卷装置对称设置在镀膜鼓两侧的上方；所述蒸发源与镀膜鼓之间还设置有隔板
镀膜鼓放卷装置收卷装置蒸发源开仓真空镀膜系统隔板本实用新型蒸发源装置卷绕机构槽孔真空镀膜技术塑料薄膜对称结构对称设置连续运动生产效率底座镀层蒸汽生产成本穿过

[实用新型]一种蒸发源自动加料装置-CN202020902830.4有效
发明人：臧世伟;刘文卿 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2020-05-26 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸发源自动加料装置，包括原料存储室以及导液管，原料存储室内设有放置固体金属蒸镀材料的容置腔，原料存储室的外壁均匀绕设有原料加热源，原料加热源与电源连接，导液管的一端与原料存储室的底部连接，其另一端延伸至蒸发源处。其有益效果在于，在蒸发源上连接自动加料装置，通过控制流经均匀缠绕在原料存储室表面上的加热源的电流大小，从而控制容置腔内的金属蒸镀材料液化经导液管流向蒸发源，当蒸发源中的金属蒸镀材料耗尽时，不用打开蒸镀腔
一种蒸发源自加料装置