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[发明专利]基于硒等离子体制备铜铟镓硒薄膜及光伏薄膜电池的设备-CN200910089398.X无效
发明人：何整风;傅正文 -专利权人：何整风
申请日： 2009-07-17 - 公布日： 2011-01-26 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于硒等离子体制备铜铟镓硒薄膜及光伏薄膜电池的设备，利用悬浮偏压电子枪、强流离子源、高精度阻热蒸发源组合制备铜铟镓硒光伏薄膜，包括：蒸发源室；离子源，用以离化工作气体使其处于等离子体态，以向蒸发源室内提供该等离子体；电子枪，用以蒸发硒材料以于蒸发源室内产生硒蒸气，其坩埚接正偏压，使工作气体在电离过程中所产生的电子云与硒蒸气相互碰撞，产生硒等离子体；及蒸发源，置于所述蒸发源室中，用于在硒等离子体气氛下，分别蒸发铜、铟、镓金属材料，以在基片上沉积铜铟镓硒光伏薄膜。
基于等离子体制备铜铟镓硒薄膜电池设备

[实用新型]一种卷绕式蒸发镀膜机-CN202121651136.0有效
发明人：李成林;郝明;杜雪峰 -专利权人：辽宁分子流科技有限公司
申请日： 2021-07-20 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种卷绕式蒸发镀膜机，主要包括真空室、放卷辊、收卷辊、主辊、抽屉式蒸发源和真空系统；抽屉式蒸发源主要包括底座、门板、蒸发器和电极；蒸发器固定安装在底座上，门板也与底座相连；门板上设置有把手，通过推拉把手可将抽屉式蒸发源拉出或推回真空室；电极的一端与蒸发器相连接，另一端以电极接头的形式布置在门板上。真空室内设置有托架，托架上设置有导轨；在抽屉式蒸发源的底座底部设置有滚轮机构，抽屉式蒸发源通过滚轮机构在导轨上移动。真空室上设置有法兰，法兰上设置有密封胶圈；门板内侧加工有密封面；门板上的密封面与卷绕式蒸发镀膜机的法兰上的密封胶圈相配合，实现真空密封。
一种卷绕蒸发镀膜

[发明专利]一种真空蒸镀设备的蒸发源-CN201910079503.5在审
发明人：陈卫民;王捷 -专利权人：广州先艺电子科技有限公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空蒸镀设备的蒸发源，一种真空蒸镀设备的蒸发源，包括坩埚和加热部，所述加热部均匀设置在所述坩埚的外周；所述蒸发源的侧上方设置有坩埚，坩埚底部设置有小孔；所述坩埚底部的小孔与所述蒸发部之间设置有引流束；所述引流束的一端设置在所述蒸发部，所述引流束的另一端穿过坩埚底部的小孔伸入至坩埚内。本发明由于蒸发原料以液体状态沿着引流束逐步输运，在到达蒸发部时迅速蒸发，减少了同时加热蒸发全部原料导致的成分偏差。同时,该蒸发源对蒸发原料的形状要求低，不需要制备成粉末、丝状等特殊形状，降低了原料成本。
一种真空设备蒸发

[实用新型]一种真空蒸镀设备的蒸发源-CN201920142801.X有效
发明人：陈卫民;王捷 -专利权人：广州先艺电子科技有限公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空蒸镀设备的蒸发源，一种真空蒸镀设备的蒸发源，包括坩埚和加热部，所述加热部均匀设置在所述坩埚的外周；所述蒸发源的侧上方设置有坩埚，坩埚底部设置有小孔；所述坩埚底部的小孔与所述蒸发部之间设置有引流束；所述引流束的一端设置在所述蒸发部，所述引流束的另一端穿过坩埚底部的小孔伸入至坩埚内。本实用新型由于蒸发原料以液体状态沿着引流束逐步输运，在到达蒸发部时迅速蒸发，减少了同时加热蒸发全部原料导致的成分偏差。同时,该蒸发源对蒸发原料的形状要求低，不需要制备成粉末、丝状等特殊形状，降低了原料成本。
坩埚蒸发源引流真空蒸镀设备蒸发部小孔本实用新型蒸发原料加热部成分偏差加热蒸发均匀设置形状要求液体状态一端设置原料成本伸入输运丝状外周制备蒸发穿过

[发明专利]一种蒸镀机-CN201510727216.2在审
发明人：沐俊应 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2015-10-30 - 公布日： 2016-02-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀机，所述蒸镀机包括：蒸发源组，包括至少两个蒸发源；气体通道，包括公共气体通道和至少两个子气体通道，阀门组，包括公共阀门和至少两个子阀门，每个所述子气体通道对应设置一所述子阀门，所述公共阀门用于控制所述公共气体通道的导通或者不导通本发明的蒸镀机，增加至少一个蒸发源，选定其中一个进行蒸镀，当蒸镀中断时，将该蒸镀的蒸发源蒸发的材料沉积在其余蒸发源中，在恢复蒸镀时，能够维持原有速率的同时，降低能源损耗。
一种蒸镀机

[发明专利]蒸发源、蒸镀装置以及有机电致发光显示器的生产设备-CN201711283144.2在审
发明人：王梦帝;胡长奇 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸发源、蒸镀装置以及有机电致发光显示器生产设备，所述蒸发源包括坩埚、盖体以及辅加热件，所述坩埚内限定出容纳空间，所述盖体罩盖在所述坩埚上并与所述坩埚固定连接，所述盖体具有位于顶端的多个喷嘴根据本发明实施例的蒸发源，通过辅加热件对喷嘴进行加热，以降低经由喷嘴喷出的被蒸发的气体在喷嘴处凝固或凝华所导致喷嘴堵塞的概率，从而提高了蒸发源工作的稳定性，进而避免了生产设备宕机，以提高生产设备的生产稼动率，此外，还使蒸发源的蒸镀效果更好。
蒸发装置以及有机电致发光显示器生产设备

[发明专利]用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源-CN201610881809.9有效
发明人：郭书周 -专利权人：北京帕托真空技术有限公司
申请日： 2016-10-09 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明提供一种用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源，从上到下依次包括蒸发源挡板、保温盖板、保温隔绝炉体、上支板、下支板、支撑柱、安装法兰、旋转磁流体、摆动气缸，所述安装法兰还连接有穿线斜管，所述穿线斜管与玻璃烧结接头相连接，所述保温隔绝炉体内设置有支撑芯和加热陶瓷管，所述加热陶瓷管内设置有石英坩埚，所述保温隔绝炉体的蒸发源口周围设置有不锈钢挡片。由此可见，本发明的新型有机蒸发源大大改善了传统有机蒸发源的不足，尤其是加热保温，角度可调，高度可调，温度可控，结构紧凑，高适应性，经济实用等众多优点是本发明的亮点之处。
用于电阻加热蒸发镀膜有机

[实用新型]用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源-CN201621107078.4有效
发明人：郭书周 -专利权人：北京帕托真空技术有限公司
申请日： 2016-10-09 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源，从上到下依次包括蒸发源挡板、保温盖板、保温隔绝炉体、上支板、下支板、支撑柱、安装法兰、旋转磁流体、摆动气缸，所述安装法兰还连接有穿线斜管，所述穿线斜管与玻璃烧结接头相连接，所述保温隔绝炉体内设置有支撑芯和加热陶瓷管，所述加热陶瓷管内设置有石英坩埚，所述保温隔绝炉体的蒸发源口周围设置有不锈钢挡片。由此可见，本实用新型的新型有机蒸发源大大改善了传统有机蒸发源的不足，尤其是加热保温，角度可调，高度可调，温度可控，结构紧凑，高适应性，经济实用等众多优点是本实用新型的亮点之处。
用于电阻加热蒸发镀膜有机

[实用新型]一种Micro-OLED蒸镀用面蒸发源结构-CN202120666728.3有效
发明人：吕磊;刘胜芳;赵铮涛;李维维;许嵩;李雪原 -专利权人：安徽熙泰智能科技有限公司
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种Micro‑OLED蒸镀用面蒸发源结构，属于蒸镀设备技术领域，该面蒸发源结构，包括加热装置、坩埚和蒸镀板，蒸镀板的内部设置有空腔，蒸镀板的顶面设置有与空腔相通连的多个喷嘴，坩埚的出口与蒸镀板之间通过连接管道相连；加热装置包括分别设置在坩埚、连接管道和蒸镀板上且可独立控制温度的加热部件Ⅰ、加热部件Ⅱ和加热部件Ⅲ，本实用新型的有益效果是，该面蒸发源结构设计简单合理，通过独立控制加热段的方式进行面蒸发，使蒸发源材料可顺利高效蒸镀，提高了蒸发源材料的附着效率和利用率，提高了镀膜厚度的均一性，减小了蒸镀膜层的shadow，可达到高PPI的要求。
一种 micro oled 蒸镀用面蒸发结构

[实用新型]一种真空电弧钛泵-CN201020629048.6无效
发明人：黄瑞安 -专利权人：黄瑞安
申请日： 2010-11-26 - 公布日： 2011-07-06 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空电弧钛泵，包括泵体、钛蒸发源、引弧杆、钛靶、法兰、真空室和电源，所述钛蒸发源置于泵体的左边，钛靶置于泵体的右边，所述引弧杆置于钛蒸发源与钛靶之间，所述钛蒸发源与引弧杆分别通过开关与电源相连本实用新型将钛蒸发源和钛靶都设置在泵体内，使其在泵体内蒸发升华，同时利用抽风孔抽出气体使泵体内形成的钛膜能与气体反应，能快速地吸收气体，使工业过程能顺利进行。
一种真空电弧

[实用新型]一种蒸镀蒸发源的夹持装置-CN200620017941.7无效
发明人：李清明;钟源;陈晓梅 -专利权人：比亚迪股份有限公司
申请日： 2006-08-24 - 公布日： 2007-08-22 - 主分类号： H01J9/20 文献下载
摘要：本实用新型是关于一种蒸镀蒸发源的夹持装置，包括可固定连接并电连接在电极棒上的连接体、承载体、螺接在该承载体上的夹紧体，该夹紧体和该承载体分别具有相对的夹持面，该承载体有限固定连接并电连接在该连接体上，承载体具有至少两个相互垂直的夹持面，即在调整状态，该承载体可相对该连接体转动，以保证夹持面的水平或垂直状态；在夹持蒸发源状态，该承载体相对该连接体固定，并与该连接体电连接。因此，本实用新型既可水平夹持蒸发源又可垂直夹持蒸发源，在更换蒸发源的类型(加热灯丝或蒸发皿)时，不需同时更换相应的夹持装置，使用方便。
一种蒸发夹持装置

[发明专利]真空蒸发源-CN201780094759.2在审
发明人：黃道元 -专利权人：艾尔法普拉斯株式会社
申请日： 2017-09-14 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明的目的是提供能够改善加热线的平直度的真空蒸发源。为此，本发明的方面提供了包括坩埚的真空蒸发源，所述真空蒸发源包括用于加热所述坩埚的第一加热线和用于固定所述第一加热线的上部部分的第一上部固定部分。
真空蒸发

[发明专利]放射线检测面板的制造装置及放射线检测面板的制造方法-CN201280045409.4有效
发明人：千代间仁;吉田笃也;松山涉;山本丰雄;会田博之;榛叶勇一 -专利权人：株式会社东芝;东芝电子管器件株式会社
申请日： 2012-12-06 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： G21K4/00 文献下载
摘要：本发明的放射线检测面板的制造方法在蒸发源的正上方侧将光电转换基板配置成处于光电转换基板(21)的蒸镀面从蒸发源露出并相对于垂直轴倾斜的状态。通过蒸发源，使闪烁材料蒸发并将其向正上方辐射，使闪烁材料蒸镀于上述蒸镀面上，形成荧光体膜。
放射线检测面板制造装置方法

[发明专利]蒸发源装置及蒸镀设备-CN201510514260.5有效
发明人：赵德江;藤野诚治;冯长海 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2015-08-20 - 公布日： 2017-12-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸发源装置及蒸镀设备。该蒸发源装置包括热源结构，包括加热源和导热体，其中所述导热体与放置蒸发材料的蒸发容器接触连接，所述加热源围绕所述蒸发容器设置，且通过所述导热体的热传导，所述加热源的热量传导至所述蒸发容器上，为所述蒸发容器加热本发明所述蒸发源装置和蒸镀设备通过在加热源与蒸发容器之间设置导热体，利用导热体将加热源的热量传导至蒸发容器上，能够实现对蒸发容器的均匀加热。
蒸发装置设备

[发明专利]一种可控线性蒸发装置及镀膜方法-CN201711359953.7有效
发明人：张撷秋;崔骏;刘壮;杨世航;陈旺寿;李霖 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种可控线性蒸发装置及蒸发镀膜方法，该可控线性蒸发源包括坩埚、坩埚加热器、导管、导管加热器，所述坩埚和所述导管构成线性蒸发源，在所述导管和所述坩埚之间设置可控性阀门，来控制所述坩埚内材料气体的压力，进而在较短时间内改变材料气体的瞬间蒸发速率。采用该可控线性蒸发装置进行蒸发镀膜时，可以更准确地控制平均蒸发速率，扩大蒸发速率的调节区间，提高线性蒸发源的瞬间蒸发速率，同时在改变温度工艺时节约原料的消耗。
一种可控线性蒸发装置镀膜方法