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[发明专利]真空蒸镀装置-CN201910920287.2有效
发明人：万之君 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种真空蒸镀装置，包括由顶板、底板及多个侧板相互连接密封形成的蒸镀腔，所述蒸镀腔内设置有蒸发源以及与所述蒸发源一一对应的材料回收装置，所述材料回收装置包括：蒸发源挡板，所述蒸发源挡板内部设置有加热电阻圈本发明通过回收结构与移动结构相结合，对蒸镀腔内蒸发源挡板上的残留材料进行回收，回收时，不需长时间开启蒸镀腔，避免外来杂质进入腔体内，能够减少粒子产生、避免污染腔体、避免回收材料二次污染、保证作业人员的身体健康且降低后期材料再利用的成本
真空装置

[发明专利]镀膜装置与其蒸发源装置,及其蒸发源容器-CN201010225087.4无效
发明人：松浦宏育;土井秀明;加藤升;韭泽信广 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2010-07-05 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜装置、蒸发源装置，及其蒸发源容器。在真空内向被蒸镀基板表面包覆蒸镀材料的镀膜装置中使用的蒸发源装置具有加热箱(210)，该加热箱在其外部具有加热器(71H)，在其内部形成空间，在垂直方向层叠并容纳多个蒸发源容器(220)；各蒸发源容器具有
镀膜装置与其蒸发及其容器

[实用新型]旋转吊装真空镀膜室-CN201621233708.2有效
发明人：许峰 -专利权人：苏州市博飞光学有限公司
申请日： 2016-11-17 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及旋转吊装真空镀膜室，包括真空泵、导气管、反应室、蒸发源、镀膜支架、旋转电机，其特征在于真空泵通过导气管与反应室连通，反应室中央位置设置有蒸发源，镀膜支架设置在旋转电机下方，由于本实用新型所述的旋转吊装真空镀膜室的镀膜支架上表面朝上方突起，蒸发源位于镀膜支架上表面突起的正下方，因此蒸发源与镀膜支架上不同位置的直线距离差极小，尽量减小了镀膜支架上工件的镀膜速率差，而且镀膜支架通过三根支柱钢性连接在旋转电机输出端上，可以通过旋转电机带动镀膜支架旋转从而缩小镀膜支架上不同位置与蒸发源的距离不同造成的影响
旋转吊装真空镀膜

[实用新型]多弧离子镀膜机-CN202120636477.4有效
发明人：王君;王思航;闫超颖;汪友林;李昌华 -专利权人：沈阳爱科斯科技有限公司;江苏爱科斯真空科技有限公司;辽宁卓越真空设备有限公司;王君
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种多弧离子镀膜机，包括镀膜室以及电弧蒸发源；镀膜室包括侧壁段，侧壁段包括顺次连接而成的多个侧壁，在侧壁段中，相邻侧壁中的其中一个侧壁上至少设置有一个电弧蒸发源，另一个侧壁上至少间隔设置有两个电弧蒸发源，且相邻侧壁上的所述电弧蒸发源在侧壁的高度方向上交错设置。镀膜室上的相邻两个侧壁上的电弧蒸发源在镀膜时，其镀膜面积会重叠，从而形成有有效的镀膜面积，此有效的镀膜面积能够尽可能的保证待镀件的镀膜效果。
离子镀膜

[发明专利]等离子体装置、碳薄膜的制造方法及涂布方法-CN201480005582.0有效
发明人：加藤健治;高桥正人;孙琦;三上隆司;宫崎俊博 -专利权人：日新电机株式会社
申请日： 2014-01-21 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：等离子体装置(10)包括真空容器(1)、电弧式蒸发源(3)、阴极构件(4)、挡板(5)、电源(7)、及触发电极(8)。电弧式蒸发源(3)与基板(20)相向而固定于真空容器(1)的侧壁。阴极构件(4)包含具有突起部的玻璃状碳，且安装于电弧式蒸发源(3)。电源(7)对电弧式蒸发源(3)施加负的电压。触发电极(8)与阴极构件(4)的突起部接触或背离。对电弧式蒸发源(3)施加负的电压，使触发电极(8)与阴极构件(4)的突起部接触而产生电弧放电，将挡板(5)打开而将碳薄膜形成于基板(20)上。本发明的等离子体装置可抑制阴极构件裂开。
等离子体装置使用薄膜制造方法

[发明专利]碳薄膜、制造其的等离子体装置及制造方法-CN201580040273.1有效
发明人：加藤健治;高桥正人;西村和也;石塚浩;森口秀树 -专利权人：日本ITF株式会社
申请日： 2015-07-16 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：等离子体装置包括真空容器、电弧式蒸发源、阴极构件、永久磁铁、电源、触发电极及挡板。电弧式蒸发源在真空容器的侧壁上与基板相对向而固定。阴极构件包含具有突起部的玻璃状碳，安装于电弧式蒸发源上。电源对电弧式蒸发源施加负的电压。触发电极与阴极构件的突起部接触或背离。对电弧式蒸发源施加负的电压，使触发电极与阴极构件的突起部接触而产生电弧放电，打开挡板而在基板上形成碳薄膜。
薄膜制造等离子体装置方法

[发明专利]面蒸发源蒸镀装置-CN201811500640.3在审
发明人：张志林;张建华;李俊;蒋雪茵 -专利权人：上海大学
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种面蒸发源蒸镀装置。它是由可卷绕的柔性金属箔带作为蒸发料薄膜层的承载件，所述承载件上用波峰涂方法涂有蒸发料薄膜层，构成载有蒸发料膜层的面蒸发源；在此面蒸发源两端有一对加热电极，通过瞬间加热把承载件上蒸发料薄膜层瞬间全部均匀地蒸发到半成品基板上从而大大提高了蒸发料的利用率。而且最后得到的蒸发薄膜层的材料成分、薄膜厚度、均匀度均由面蒸发源的蒸发料薄膜层来控制。使得此蒸镀装置不再需要蒸发速率和膜厚控制、多蒸发源控制，均匀性控制等复杂的机构，降低了设备成本、缩短了蒸镀节拍，提高了设备的利用率。所提供的波峰涂装置是溶有一定蒸发料浓度的溶液在波峰发生器中产生能产生一高于溶液面的稳定的溶液波峰，此波峰与波峰垂直方向移动的蒸发料薄膜承载件基板的表面接触后在承载件上留下部分的溶液薄层经烘烤干燥后形成一均匀的蒸发料薄膜层
蒸发料薄膜蒸发源承载件波峰蒸镀装置半成品基板波峰发生器均匀性控制柔性金属箔加热电极膜厚控制设备成本瞬间加热蒸发薄膜均匀度可卷绕速率和烘烤薄层基板料膜蒸镀薄膜节拍移动

[发明专利]一种蒸镀设备-CN201810669135.5有效
发明人：常建兵;刘金强;刘玉成 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2018-06-26 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸镀设备，该设备包括：蒸发源，所述蒸发源位于蒸镀腔室内；罩体，所述罩体罩设在所述蒸发源的蒸汽输出端上，所述罩体上设有用于降低所述罩体所罩设空间内蒸汽压的冷却结构；在外力作用下，所述罩体从所述蒸发源的蒸汽输出端处移开
一种设备

[发明专利]成膜装置以及成膜方法-CN201980028062.4有效
发明人：藤井博文 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：所述成膜方法以及装置包含以使形成于工件的被成膜面的覆膜中通过从第一蒸发源的射出面飞出的粒子而形成的部分比通过从第二蒸发源的射出面飞出的粒子而形成的部分厚的方式，在形成覆膜的期间使施加于第一蒸发源的电能的总量大于施加于第二蒸发源的电能的总量的情况
装置以及方法

[发明专利]蒸发源加热电导入装置及真空蒸发镀膜设备-CN201811424116.2在审
发明人：陈立国;胡晓晶 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明提供蒸发源加热电导入装置及真空蒸发镀膜设备，该蒸发源加热电导入装置包括：加热电极，所述加热电极的一端部用于与外部电源电连接；导电调节杆，所述导电调节杆能够设于真空蒸发镀膜设备的真空腔体内，该导电调节杆的一端部与所述加热电极的另一端部电连接；和导电接头，所述导电调节杆的另一端部与所述导电接头电连接，所述导电接头用于与蒸发源的加热装置的电源输入端电连接。这样，可以使得蒸发源加热电导入装置具备较好的导电性能。
蒸发源导入装置电连接调节杆加热电导电真空蒸发镀膜导电接头加热电极电源输入端导电性能加热装置外部电源真空腔体内

[实用新型]蒸发源加热电导入装置及真空蒸发镀膜设备-CN201821968336.7有效
发明人：陈立国;胡晓晶 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型提供蒸发源加热电导入装置及真空蒸发镀膜设备，该蒸发源加热电导入装置包括：加热电极，所述加热电极的一端部用于与外部电源电连接；导电调节杆，所述导电调节杆能够设于真空蒸发镀膜设备的真空腔体内，该导电调节杆的一端部与所述加热电极的另一端部电连接；和导电接头，所述导电调节杆的另一端部与所述导电接头电连接，所述导电接头用于与蒸发源的加热装置的电源输入端电连接。这样，可以使得蒸发源加热电导入装置具备较好的导电性能。
电连接调节杆蒸发源导电导电接头导入装置加热电极加热电真空蒸发镀膜本实用新型电源输入端导电性能加热装置外部电源真空腔体内

[发明专利]制造系统以及发光元件的制作方法-CN03822329.5有效
发明人：山崎舜平;桑原秀明;村上雅一 -专利权人：株式会社半导体能源研究所
申请日： 2003-09-19 - 公布日： 2005-10-12 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：根据本发明，在薄膜形成室内，其中密封含有蒸发材料的多个容器的矩形蒸发源支架相对于衬底以一定间距移动，并且蒸发材料被气相沉积在衬底上。另外，在蒸发源支架移动同时，矩形蒸发源支架的纵向可以与衬底的一侧倾斜。另外，优选的是在气相沉积期间，在形成TFT时蒸发源支架的移动方向与激光束的扫描方向不同。
制造系统以及发光元件制作方法

[实用新型]一种真空镀膜设备-CN202122398539.5有效
发明人：张波;唐政;余海春;戴秀海;龙汝磊;任海峰 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：所述真空镀膜设备包括蒸发腔体和调节板组件，蒸发腔体具有腔室和线形开口，腔室用于容置蒸发源材料，腔室通过线形开口与外部连通；调节板组件能够遮挡线形开口形成线形蒸发口，调节调节板组件能够调节线形蒸发口的横截面积大小本实用新型的真空镀膜设备，提高了蒸发源材料蒸发均匀性，减少了蒸发源材料用量，降低了镀膜生产成本。
一种真空镀膜设备

[发明专利]一种蒸发源装置及其使用方法-CN202210404325.0在审
发明人：王卫卫;周文斌;冯峰;程保龙;李高敏;孙剑;高裕弟 -专利权人：昆山梦显电子科技有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀技术领域，具体公开了一种蒸发源装置及其使用方法。该蒸发源装置包括腔体、第一挡板、第二挡板、转动转轴和蒸发源。第一挡板上开设有第一蒸镀孔，第二挡板上开设有第二蒸镀孔，第一蒸镀孔与第二蒸镀孔能够形成流通通道；其中，转动转轴连接第一挡板和第二挡板；两个蒸发源沿竖直方向分别设于两个第二挡板的下方，其中一个蒸发源内设有第一蒸镀材料，另一个蒸发源内设有第二蒸镀材料。
一种蒸发装置及其使用方法

[发明专利]一种镀膜双修正叶的设计方法-CN201710214829.5有效
发明人：王标;吴志涵 -专利权人：东莞市微科光电科技有限公司
申请日： 2017-04-01 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明系提供一种镀膜双修正叶的设计方法，包括以下步骤：设置镀膜机中包括第一蒸发源、第二蒸发源，第一蒸发源正上方设有第一修正叶，第二蒸发源正上方设有第二修正叶，第一修正叶与第二修正叶的上方设有基片；以第一蒸发源为顶点、α角为顶角与基片形成第一直角三角形，以第二蒸发源为顶点、β角为顶角与基片形成第二直角三角形；第一修正叶位于第二直角三角形的斜边外侧，第二修正叶位于第一直角三角形的斜边外侧，镀膜时，第一修正叶和第二修正叶始终处于开启状态
一种镀膜修正设计方法