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[发明专利]硅片传输系统-CN201510270081.1有效
发明人：刘凯;胡松立;姜杰 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-05-24 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片传输系统，包括双臂机械手、上片直线手和下片直线手；其中，所述双臂机械手从硅片存储装置中将待曝光的硅片取出并移送到预对准装置上，并从缓存台将曝光完成的硅片取下放回硅片存储装置中；上片直线手用于将预对准后的硅片移动至工件台，下片直线手将曝光完成后的硅片移动至缓存台。所述双臂机械手、上片直线手和下片直线手可以并行动作，达到节省硅片传输时间的目的。
硅片传输系统

[实用新型]硅片传输系统-CN201220130846.3有效
发明人：姜晓玉;王邵玉;姜杰;胡松立 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-03-30 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片传输系统，包括底板、外框架、内框架、两个片库、预对准单元以及机械手。外框架与内框架皆设置于底板。两个片库并列设置于外框架，并以两个片库的接触面为轴线对称设置，每一片库能够兼容不同规格的硅片，且每一片库包括本体与承载台，承载台可升降地设置于本体。预对准单元设置于内框架。机械手设置于内框架，机械手能够将硅片在对应的片库与预对准单元之间进行传输。
硅片传输系统

[发明专利]一种硅片上料系统及硅片上料定位方法-CN202310145592.5有效
发明人：董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片上料系统及硅片上料定位方法，其可确保将硅片准确放置于载板的承载槽中，可防止硅片质量受损，可保证后续加工的顺利进行以及加工精度，硅片上料系统包括硅片传输台、机械手、载板传输台、硅片定位单元、载板定位单元，载板传输台用于载板上料传输，硅片传输台用于硅片上料传输，机械手用于将硅片传输台上的硅片移载至承载槽中，硅片上料定位方法基于硅片上料系统实现，通过硅片定位单元对机械手抓取的硅片位置定位，通过载板定位单元对载板中的承载槽位置进行定位，机械手根据硅片位置、承载槽位置调整硅片至新放料位置后，基于新放料位置将硅片放置于承载槽中。
一种硅片系统料定方法

[发明专利]硅片传输系统及方法-CN201811580631.X有效
发明人：王刚 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片传输系统及方法，该硅片传输系统用于在片库、预处理机构和工件台之间传输硅片，该硅片传输系统包括：旋转机械手、垂直交接手和直线交接手，旋转机械手被配置为能够从片库取待预对准的硅片传送至预处理机构，旋转机械手还能够从直线交接手取检测完的硅片传送至片库；垂直交接手被配置为能够从工件台上方取检测完的硅片；直线交接手被配置为能够从预处理机构取完成预对准的待检测硅片至工件台，并从垂直交接手取检测完的硅片传送至旋转机械手上述硅片传输系统能够节省硅片传输时间，提高硅片传输产率，能够与高速工件台、大视场镜头、双工件台等工况匹配，提高光刻机/检测机产率。相应地，本发明还提供一种硅片传输方法。
硅片传输系统方法

[发明专利]一种硅片上下料传输系统-CN202010165945.4在审
发明人：董平博;连建军;李新丰;王彦齐 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2020-03-11 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片上下料传输系统，属于太阳能电池技术领域。本发明的上下料传输系统，包括硅片定位机构、硅片载具、硅片变距搬运机构和皮带传输机构，硅片变距搬运机构用于将硅片从硅片定位机构搬运至硅片载具上或者将硅片从硅片载具上搬运至皮带传输机构，且硅片变距搬运机构用于对硅片进行变距调节，以使硅片能够分别与硅片定位机构以及硅片载具上的硅片口袋相匹配。本发明的硅片变距搬运机构可以对硅片进行变距调节以适应硅片定位机构以及硅片载具上的硅片口袋，大大提高了传输效率，实现硅片上下料的准确对接。
一种硅片上下传输系统

[实用新型]一种硅片上下料传输系统-CN202020297454.0有效
发明人：董平博;连建军;李新丰;王彦齐 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2020-03-11 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片上下料传输系统，属于太阳能电池技术领域。本实用新型的上下料传输系统，包括硅片定位机构、硅片载具、硅片变距搬运机构和皮带传输机构，硅片变距搬运机构用于将硅片从硅片定位机构搬运至硅片载具上或者将硅片从硅片载具上搬运至皮带传输机构，且硅片变距搬运机构用于对硅片进行变距调节，以使硅片能够分别与硅片定位机构以及硅片载具上的硅片口袋相匹配。本实用新型的硅片变距搬运机构可以对硅片进行变距调节以适应硅片定位机构以及硅片载具上的硅片口袋，大大提高了传输效率，实现硅片上下料的准确对接。
一种硅片上下传输系统

[实用新型]一种硅片传输机构以及硅片传输系统-CN202222050338.0有效
发明人：王亚楠;曹程 -专利权人：通威太阳能（眉山）有限公司
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请涉及一种硅片传输机构以及硅片传输系统，硅片传输机构包括输送平台，以及能够在输送平台上沿预设方向移动的硅片承载装置，所述硅片承载装置包括支撑件以及两个阻挡件，两个所述阻挡件之间限定出用于容纳硅片的槽体硅片传输系统包括硅片存储装置，以及上述的硅片传输机构。本申请所提供的硅片承载装置中，两个阻挡件限定出容纳硅片的槽体，且槽体的轴线方向垂直于预设方向，因此，能够在预设方向上起到对硅片的约束，避免硅片在槽体内出现沿预设方向上的运动，避免在运输硅片时，因硅片与硅片承载装置出现相对移动而导致硅片表面被划伤
一种硅片传输机构以及系统

[发明专利]硅片加工处理系统及处理方法-CN201210442146.2有效
发明人：耿文毅 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2012-11-07 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片加工处理系统及处理方法。该系统包括工艺腔室、传输装置和控制系统。该控制系统包括工艺任务设置模块，用于根据所述传输装置中的片仓中料盒内待加工的每个硅片设定工艺任务，并设置对应于所述工艺任务中的每个硅片的序列位置号；工艺参数读取模块，用于从所述工艺腔室读取相应的工艺内容参数，并为所述工艺任务中的每个硅片选择对应的工艺内容参数;传输模块，用于根据所述工艺任务中的每个硅片的序列位置号和工艺内容参数为所述工艺任务中每个硅片设置由所述片仓传输到所述工艺腔室的传输路径，将所述硅片从片仓中传输到工艺腔室进行加工处理其提高了硅片加工的整体效率。
硅片加工处理系统方法

[实用新型]硅片清洗分选系统-CN201821140839.5有效
发明人：但汉满 -专利权人：阜宁协鑫光伏科技有限公司
申请日： 2018-07-17 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： B07C5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅片清洗分选系统。该系统包括：硅片清洗机、硅片分选机、出料位传输线、第一机械手、翻转机构、回流传输线、第二机械手以及控制系统。上述硅片清洗分选系统由于设置有出料位传输线、第一机械手、翻转机构、回流传输线和第二机械手，使得硅片清洗机清洗完毕的硅片可自动转运到硅片分选机的上料工位，不需要人工搬运。这样可降低劳动强度。由于全程采用机械化作业，使得硅片由硅片清洗机转运到硅片分选机所用的时间缩短，有利于提高硅片分选机的上料效率。
硅片传输线机械手分选机硅片清洗机分选系统硅片清洗翻转机构出料位转运本实用新型机械化作业控制系统人工搬运上料工位上料效率时间缩短清洗全程

[实用新型]一种金刚线硅片预制绒装置-CN201820511988.1有效
发明人：黄钧林;范维涛;龚小文;苏杨杨;孙晨财;张鑫;彭美平 -专利权人：维科诚（苏州）光伏科技有限公司
申请日： 2018-04-11 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： H01L31/0236 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种金刚线硅片预制绒装置，包括依次排列的制绒槽、水洗一槽、酸洗槽、水洗二槽、烘干槽、用于运输金刚线硅片的链式滚轮传输系统，链式滚轮传输系统包括位于金刚线硅片上方的第一传输条、位于金刚线硅片下方的第二传输条，第一传输条包括沿着金刚线硅片的传输方向并排设置的多个上滚轮，第二传输条包括沿着金刚线硅片的传输方向并排设置的多个下滚轮。上滚轮与下滚轮的设置，减小对金刚线硅片的压力，降低重量，减少金刚线硅片的破损率；同时上滚轮与金刚线硅片的接触面积小，避免去除金刚线硅片上表面的气泡从而减少反应，下滚轮与金刚线硅片的接触面积较大，可以去除富集在硅片表面的气泡
金刚线硅片上滚轮下滚轮传输并排设置传输方向传输系统链式滚轮去除预制本实用新型硅片表面水洗二槽水洗一槽依次排列烘干槽破损率上表面酸洗槽制绒槽富集减小运输

[发明专利]一种具有真空硅片箱的光刻设备-CN201010022409.5无效
发明人：齐宁宁;李正贤;齐芊枫 -专利权人：上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
申请日： 2010-01-04 - 公布日： 2011-07-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有真空硅片箱的光刻设备，包括光源，真空掩模台系统，投影物镜系统，真空掩模传输系统，真空工件台系统，真空硅片传输系统，其中真空硅片箱与真空曝光室真空连接，使更换硅片更加快捷，提高了光刻设备的效率
一种具有真空硅片光刻设备

[实用新型]一种微波裂片设备-CN201220360782.6有效
发明人：何自强;柳清超;刘洋 -专利权人：沈阳硅基科技有限公司
申请日： 2012-07-24 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：微波裂片设备包括加热腔室、加热器、微波发生器、硅片传输机械手、载物台、测温系统和控制系统；其中：所述加热器、测温系统和控制系统设置于加热腔室内部，所述微波发生器设置于加热腔室外部；所述载物台固定于加热腔室底面上，加热腔室侧壁开传输孔，所述硅片传输机械手与控制系统连接，控制系统控制硅片传输机械手通过所述传输孔将硅片移入加热腔体内并置于载物台上及从载物台上抓取硅片并通过所述传输孔孔移出加热腔室。利用该设备进行微波裂片，可以根据需要实现硅片加工温度的自动控制和调节，同时实现硅片产业化生产。
一种微波裂片设备

[发明专利]一种光伏硅片用快速传输的组合系统-CN201711478929.5有效
发明人：马丁 -专利权人：赛能自动化技术（苏州）有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种光伏硅片用快速传输的组合系统，主要解决的技术问题是现有技术中在对光伏硅片镭射雕刻时，上料传输速度慢而且摩擦损伤大的问题，本发明通过一种光伏硅片用快速传输的组合系统，包括一个整体的机架，所述机架上依次设置的用于对满载光伏硅片的花篮和空载光伏硅片的花篮进行上下料的上下料装置、用于取出花篮内光伏硅片的上料传输装置、用于对移动中光伏硅片进行定位的移动定位装置以及用于对进行镭射雕刻的光伏硅片进行传输的气悬浮传输装置的技术方案，较好地解决了该问题，可用于光伏硅片上料传输。
一种硅片快速传输组合系统

[实用新型]一种光伏硅片用快速传输的组合系统-CN201721920460.1有效
发明人：马丁 -专利权人：赛能自动化技术（苏州）有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光伏硅片用快速传输的组合系统，主要解决的技术问题是现有技术中在对光伏硅片镭射雕刻时，上料传输速度慢而且摩擦损伤大的问题，本实用新型通过一种光伏硅片用快速传输的组合系统，包括一个整体的机架，所述机架上依次设置的用于对满载光伏硅片的花篮和空载光伏硅片的花篮进行上下料的上下料装置、用于取出花篮内光伏硅片的上料传输装置、用于对移动中光伏硅片进行定位的移动定位装置以及用于对进行镭射雕刻的光伏硅片进行传输的气悬浮传输装置的技术方案，较好地解决了该问题，可用于光伏硅片上料传输。
光伏硅片快速传输组合系统本实用新型花篮镭射雕刻传输上料上料传输装置移动定位装置上下料装置传输装置摩擦损伤依次设置气悬浮上下料硅片可用空载满载取出移动

[实用新型]硅片自动包装系统-CN201821037453.1有效
发明人：刘家东 -专利权人：阜宁协鑫光伏科技有限公司
申请日： 2018-07-02 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： B65B65/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅片自动包装系统。该系统包括传输线、硅片承装盒包装子系统、包装箱输送子系统、装箱机械手、封箱装置、码垛装置和控制系统。上述硅片自动包装系统中，传输线可将硅片承装盒或包装箱等传输到下一个工位，硅片承装盒包装子系统可对硅片承装盒进行封口，包装箱输送子系统可提供顶端开口的包装箱，装箱机械手可将已经封口的硅片承装盒装入包装箱内上述硅片自动包装系统实现了机械自动化包装，可节省人力，降低劳动强度，并可提高包装效率。
硅片包装箱承装盒自动包装系统传输线封口包装子系统输送子系统装箱机械手封箱装置码垛装置本实用新型机械自动化包装效率顶端开口开口封闭控制系统工位装入传输

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