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[实用新型]一种卷膜自动切割装置-CN202320339422.6有效
发明人： 董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B26D11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种卷膜自动切割装置，其可实现卷轴上卷膜的自动切割，切割操作方便快捷，省时省力，可提高加工效率，同时可降低划伤风险，该卷膜自动切割装置包括：机架、安装于机架的纵向移动模组、安装于纵向移动模组的滑块的第一安装座、安装于第一安装座的风刀组件，风刀组件包括圆形刀片、驱动圆形刀片转动的电机、与圆形刀片相邻布置的风管，卷轴位于圆形刀片、风管出风口的正下方，圆形刀片的刀刃与卷轴的表面垂直，纵向移动模组中的导轨与卷轴平行，风管通过管道连接吹风机，电机、纵向移动模组中的伺服电机、吹风机均与控制器电连接。
一种自动切割装置

[实用新型]一种半片输送跑道-CN202320212977.4有效
发明人： 董晓清;王加龙;金磊;申俊宇;朱烽;李楠;王帅;吴耀 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B65G23/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片输送技术领域，具体涉及一种半片输送跑道。包括机架，机架上对称设置有跑道，跑道的两侧面对称设置有驱动轮，跑道之间设置有连接杆，连接杆的两端分别贯穿两侧所述跑道，且与驱动轮进行连接，连接杆上设置有齿轮，电机通过驱动皮带与齿轮进行连接；跑道两侧面的两端上下均设置有第一张紧轮和第二张紧轮，跑道两侧面的中部设置有第三张紧轮，第二张紧轮位于驱动轮的外侧；皮带通过第一张紧轮、第二张紧轮、第三张紧轮和驱动轮进行缠绕，且皮带与驱动轮的内侧进行缠绕。只需要一个电机就能够驱动两个跑道进行工作，并且能够便捷地更换皮带。
一种输送跑道

[实用新型]一种硅片自动移载装置-CN202320300914.4有效
发明人： 董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片自动移载装置，其可实现多片硅片同时移载，可提高移载效率，该移载装置用于将载板上的硅片移载至下一工序，载板上设置有若干以阵列结构排布的承载槽，每个承载槽中承载有一片硅片，移载装置包括横向移动模组、安装于横向移动模组滑块的安装座、若干吸盘组件，吸盘组件通过若干平行间隔分布的第一安装板安装于安装座底部，每个第一安装板底端安装有至少两组吸盘组件，吸盘非吸附端通过气路组件连接真空机，气路组件包括安装于第一安装板顶端的集气排板、负压气路组件，集气排板底端开设有集气槽，集气槽通过第一通孔与相应吸盘连通，吸盘组件吸附硅片时，真空机通过负压气路组件、集气槽向吸盘中通入负压气体。
一种硅片自动装置

[发明专利]一种硅片插补装置及其使用方法-CN202310295508.8有效
发明人： 董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及硅片生产技术领域，具体涉及一种硅片插补装置及其使用方法。包括补片机构、硅片识别机构，所述硅片识别机构设置于所述补片机构的一侧；所述补片机构包括行程机构和硅片存放机构，所述行程机构位于所述硅片存放机构的上方；所述硅片存放机构包括底座，所述底座上对称间隔设置有限位针和传感器，所述行程机构上设置有吸盘；所述硅片识别机构包括机架，所述机架内部对称设置有输送跑道，所述机架内部位于所述输送跑道一端的两侧设置有竖杆，所述竖杆上设置有检测机构。从而能够自动化地对花篮进行补片，极大地提高了补片的效率。
一种硅片装置及其使用方法

[实用新型]一种石墨舟输送装置-CN202320277476.4有效
发明人： 董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型涉及石墨舟输送技术领域,公开了一种石墨舟输送装置，包括固定架，固定架的两侧分别安装有第一伸缩动力装置和第二伸缩动力装置，第一伸缩动力装置的伸缩端和第二伸缩动力装置的伸缩端分别连接有移动架，移动架上设置有两个可滑动的支撑组件，每个支撑组件与一个第三伸缩动力装置的伸缩端连接；在实际使用时，将本实用新型设置在输送线和硅片装卸工位之间，让石墨舟挪到本实用新型伤后，再通过三轴搬运装置将石墨舟搬运到硅片装卸工位上，因此可以减少三轴搬运装置的搬运路程，从而可以提高石墨舟的搬运效率。
一种石墨输送装置

[实用新型]一种硅片侧吹风刀-CN202320293371.8有效
发明人： 董晓清 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片生产技术领域，具体涉及一种硅片侧吹风刀。包括基座，所述基座表面开设有腔体，所述腔体表面底部处设置有出风槽；嵌块间隔设置于所述腔体的内部，将所述腔体分隔成若干的风腔；所述基座的顶部间隔设置有若干的连接口，所述连接口与所述风腔连通，气体能够通过连接口通入至所述风腔内部；每个所述风腔内部均水平设置有阻隔杆，所述阻隔杆的两端与所述嵌块存在间隙；盖板设置于所述基座上，与所述腔体进行密封连接，气体能够从所述腔体底部的所述出风槽排出。外界的气源分别与连接口进行连接，气体通过两次的加速，能够极大地提高气体从出风槽喷出速度，使得气体对硅片施加的力更大，能够提高对硅片分片的效果。
一种硅片吹风

[实用新型]一种花篮翻转工装-CN202320018087.X有效
发明人： 董晓清;王献飞;周煜杰;陆文轩;朱前亮;周新;黎魏;王沿斌 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片生产技术领域，具体涉及一种花篮翻转工装。包括框架、气缸、连杆和转轴，所述气缸设置于所述框架的内侧面上，所述转轴贯穿设置于所述框架上，且位于所述气缸的上方；所述连杆的一端与所述气缸的活塞杆进行铰接连接，其另一端与所述转轴位于所述气缸一侧的一端进行连接；传感器设置于所述框架的内侧面上，且位于所述转轴的四周，所述转轴上对应所述传感器设置有感应片；夹爪机构与所述转轴的另一端进行连接。通过气缸上活塞杆的伸缩，来控制转轴的转动，实现夹爪机构的转动，进而能够对花篮进行翻转合适的角度。
一种花篮翻转工装

[实用新型]一种便于硅片移载的顶升装置-CN202320303874.9有效
发明人： 董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于硅片移载的顶升装置，其可提高加工效率，可有效防止顶升过程中硅片滑落，可确保硅片质量，该顶升装置包括工作台、设置于工作台的移载机构、硅片下料位、顶升机构，硅片下料位用于传输、承载载板，载板中承载有若干以阵列结构排布的硅片，移载机构位于硅片下料位的上方，用于将硅片移载至下一工序，移载机构包括若干吸盘，吸盘与硅片正面对应，顶升机构位于硅片下料位的下方，用于将载板中的硅片同时顶起，顶升机构包括第三安装板、顶升板、顶升吸盘、驱动第三安装板、顶升板及顶升吸盘同步升降的升降单元，承载槽的底端均开有第二通孔，顶升吸盘的吸附端与第二通孔及相应承载槽中的硅片背面对应。
一种便于硅片装置

[实用新型]一种吸盘搬运装置-CN202320203341.3有效
发明人： 董晓清;王加龙;金磊;申俊宇;朱烽;李楠;王帅;吴耀 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片生产技术领域，具体涉及一种吸盘搬运装置。包括移动机构和吸盘组件，吸盘组件对称移动设置于移动机构的底部上；移动机构包括外壳，轨道和滑块设置于外壳内部，对称设置的滑块移动设置于轨道上的两端；齿轮设置于外壳内部的两端，两端齿轮上缠绕设置有皮带，两端的滑块分别与皮带的上端和下端进行连接；电机设置于外壳的外部，驱动其中一个齿轮进行旋转；吸盘组件包括对称设置的安装块，安装块的顶部分别与滑块进行连接，安装块的底部设置有气缸，气缸的活塞杆连接设置有吸盘机构。即可实现对两侧的硅片向中间搬运的工作，直至将两侧的硅片全部放置在中间的跑道上。
一种吸盘搬运装置

[发明专利]一种半片硅片规整装置、规整设备和搬运设备-CN202310152615.5有效
发明人： 董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及硅片输送技术领域,公开了一种半片硅片规整装置、规整设备和搬运设备，规整装置包括固定部；固定部上设有偶数个移动部，所有移动部依次可移动的设置在固定部上；移动部中的奇数位置的移动部与第一驱动装置的移动端连接；移动部中的偶数位置的移动部与第二驱动装置的移动端连接；在实际使用时由于一对移动组件中的两个移动部分别由第一驱动装置和第二驱动装置驱动，因此可以根据半片硅片的位置调整两个侧齿安装板的位置，从而能够实现多排半片硅片的位置规整，这样在能确保夹取装置在夹取硅片前和夹取装置放置硅片后，半片硅片的位置都是符合要求的，不会出现错乱情况。
一种硅片规整装置设备搬运

[实用新型]一种石墨舟硅片吸盘-CN202320199544.X有效
发明人： 董晓清;高刘;顾庆龙;王加龙;唐炼蓉;沈强强;陆海军;左于棒 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片吸盘技术领域，具体涉及一种石墨舟硅片吸盘。包括安装盘，第一管槽和第二管槽贯穿设置于安装盘的表面，第二管槽对称设置于第一管槽的两侧，且第二管槽呈弧状；第一安装槽和第一吸盘槽设置于安装盘上，且与第一管槽的两端连通设置；第二安装槽和倾斜的第二吸盘槽设置于安装盘上，且与第二管槽的两端连通设置；快接头分别设置于安装盘上位于第一安装槽和第二安装槽内，吸盘分别设置于安装盘上位于第一吸盘槽和第二吸盘槽内；软管设置于第一管槽和第二管槽内，用于连接快接头和吸盘。将快接头与外界的气源进行连接，气源提供吸力，使得吸盘上的吸孔能够产生吸力，对硅片进行吸取，能够避免对硅片表面的划伤，提高硅片的质量。
一种石墨硅片吸盘

[发明专利]硅片缓存装置及其支架初始位置修正装置及修正方法-CN202310154315.0有效
发明人： 董晓清;顾庆龙;王加龙;高刘;唐炼蓉;沈强强;左于棒;陆海军;安迪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B65G15/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅片缓存装置及其支架初始位置修正装置及修正方法，硅片缓存装置包括n形缓存架、若干条形隔板、两组同步带轮组件、驱动两组同步带轮组件同步传动的第一电机，各同步带轮组件均包括两条平行的同步带，两条同步带沿所述H形支架竖向传动，条形隔板均匀间隔排列于各同步带，四个同步带上的同层条形隔板呈矩形分布形成水平的支架，支架用于撑托、缓存硅片，修正装置包括光纤传感器，采用修正装置及修正方法对缓存装置中当前层支架的初始位置进行修正，使当前层支架上表面与传送带上表面之间的高度差在高度差阈值范围内。
硅片缓存装置及其支架初始位置修正方法

[发明专利]一种硅片上料系统及硅片上料定位方法-CN202310145592.5有效
发明人： 董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片上料系统及硅片上料定位方法，其可确保将硅片准确放置于载板的承载槽中，可防止硅片质量受损，可保证后续加工的顺利进行以及加工精度，硅片上料系统包括硅片传输台、机械手、载板传输台、硅片定位单元、载板定位单元，载板传输台用于载板上料传输，硅片传输台用于硅片上料传输，机械手用于将硅片传输台上的硅片移载至承载槽中，硅片上料定位方法基于硅片上料系统实现，通过硅片定位单元对机械手抓取的硅片位置定位，通过载板定位单元对载板中的承载槽位置进行定位，机械手根据硅片位置、承载槽位置调整硅片至新放料位置后，基于新放料位置将硅片放置于承载槽中。
一种硅片系统料定方法

[发明专利]一种硅片转运设备和方法-CN202310144428.2有效
发明人： 董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及硅片输送技术领域,公开了一种硅片转运设备和方法，对于本发明的硅片转运设备，通过让一条输送线输送从镀膜设备中出来的装有镀完膜的硅片的石墨舟、让另一条输送线接受舟升降装置上装配好未镀完膜的硅片的石墨舟，并将该石墨舟输送到镀膜设备中，实现镀膜设备的石墨舟输送；而通过在舟升降装置上的每个移动架上设置用于支撑石墨舟的支撑组件，这样搬舟装置能依次将两个移动架上的石墨舟抓到固定装置上进行硅片装卸，从而确保当从镀膜设备中出来的石墨舟在进行观察时依然有石墨舟在固定装置处进行硅片装卸，能在保证给镀完膜的硅片提供足够多的观察时间的同时不会影响镀膜设备的下一次的石墨舟输送，从而不会增加硅片镀膜时间。
一种硅片转运设备方法

[发明专利]一种硅片自动撕膜机及硅片下料系统-CN202310154330.5有效
发明人： 董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B65B69/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片自动撕膜机及硅片下料系统，其可实现硅片快速自动撕膜，可提高加工效率，可确保膜片与硅片分离，提高撕膜效果，硅片自动撕膜机包括：用于吸附并移载附膜硅片的移载机构、用于膜片卷绕的卷膜机构，卷膜机构包括卷轴、驱动卷轴转动的卷轴驱动装置，卷轴包括两个半轴，移载机构与附膜机构配合，将保护膜绕卷至卷轴上；硅片下料系统包括依次分布的载板升降台、附膜硅片下料位、硅片自动撕膜机中的卷膜机构、硅片下料传输台、花篮升降机构，通过移载机构将载板上的附膜硅片移载至卷膜机构，通过卷膜机构将膜片撕除后，再通过硅片下料传输台将硅片传输至花篮升降机构中的空花篮中，实现硅片自动下料。
一种硅片自动撕膜机系统

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