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[实用新型]一种卷膜自动切割装置-CN202320339422.6有效
发明人：董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B26D11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种卷膜自动切割装置，其可实现卷轴上卷膜的自动切割，切割操作方便快捷，省时省力，可提高加工效率，同时可降低划伤风险，该卷膜自动切割装置包括：机架、安装于机架的纵向移动模组、安装于纵向移动模组的滑块的第一安装座、安装于第一安装座的风刀组件，风刀组件包括圆形刀片、驱动圆形刀片转动的电机、与圆形刀片相邻布置的风管，卷轴位于圆形刀片、风管出风口的正下方，圆形刀片的刀刃与卷轴的表面垂直，纵向移动模组中的导轨与卷轴平行，风管通过管道连接吹风机，电机、纵向移动模组中的伺服电机、吹风机均与控制器电连接。
一种自动切割装置

[实用新型]一种硅片自动移载装置-CN202320300914.4有效
发明人：董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片自动移载装置，其可实现多片硅片同时移载，可提高移载效率，该移载装置用于将载板上的硅片移载至下一工序，载板上设置有若干以阵列结构排布的承载槽，每个承载槽中承载有一片硅片，移载装置包括横向移动模组、安装于横向移动模组滑块的安装座、若干吸盘组件，吸盘组件通过若干平行间隔分布的第一安装板安装于安装座底部，每个第一安装板底端安装有至少两组吸盘组件，吸盘非吸附端通过气路组件连接真空机，气路组件包括安装于第一安装板顶端的集气排板、负压气路组件，集气排板底端开设有集气槽，集气槽通过第一通孔与相应吸盘连通，吸盘组件吸附硅片时，真空机通过负压气路组件、集气槽向吸盘中通入负压气体。
一种硅片自动装置

[实用新型]一种石墨舟输送装置-CN202320277476.4有效
发明人：董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型涉及石墨舟输送技术领域,公开了一种石墨舟输送装置，包括固定架，固定架的两侧分别安装有第一伸缩动力装置和第二伸缩动力装置，第一伸缩动力装置的伸缩端和第二伸缩动力装置的伸缩端分别连接有移动架，移动架上设置有两个可滑动的支撑组件，每个支撑组件与一个第三伸缩动力装置的伸缩端连接；在实际使用时，将本实用新型设置在输送线和硅片装卸工位之间，让石墨舟挪到本实用新型伤后，再通过三轴搬运装置将石墨舟搬运到硅片装卸工位上，因此可以减少三轴搬运装置的搬运路程，从而可以提高石墨舟的搬运效率。
一种石墨输送装置

[实用新型]一种便于硅片移载的顶升装置-CN202320303874.9有效
发明人：董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于硅片移载的顶升装置，其可提高加工效率，可有效防止顶升过程中硅片滑落，可确保硅片质量，该顶升装置包括工作台、设置于工作台的移载机构、硅片下料位、顶升机构，硅片下料位用于传输、承载载板，载板中承载有若干以阵列结构排布的硅片，移载机构位于硅片下料位的上方，用于将硅片移载至下一工序，移载机构包括若干吸盘，吸盘与硅片正面对应，顶升机构位于硅片下料位的下方，用于将载板中的硅片同时顶起，顶升机构包括第三安装板、顶升板、顶升吸盘、驱动第三安装板、顶升板及顶升吸盘同步升降的升降单元，承载槽的底端均开有第二通孔，顶升吸盘的吸附端与第二通孔及相应承载槽中的硅片背面对应。
一种便于硅片装置

[发明专利]一种半片硅片规整装置、规整设备和搬运设备-CN202310152615.5有效
发明人：董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及硅片输送技术领域,公开了一种半片硅片规整装置、规整设备和搬运设备，规整装置包括固定部；固定部上设有偶数个移动部，所有移动部依次可移动的设置在固定部上；移动部中的奇数位置的移动部与第一驱动装置的移动端连接；移动部中的偶数位置的移动部与第二驱动装置的移动端连接；在实际使用时由于一对移动组件中的两个移动部分别由第一驱动装置和第二驱动装置驱动，因此可以根据半片硅片的位置调整两个侧齿安装板的位置，从而能够实现多排半片硅片的位置规整，这样在能确保夹取装置在夹取硅片前和夹取装置放置硅片后，半片硅片的位置都是符合要求的，不会出现错乱情况。
一种硅片规整装置设备搬运

[发明专利]一种硅片上料系统及硅片上料定位方法-CN202310145592.5有效
发明人：董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片上料系统及硅片上料定位方法，其可确保将硅片准确放置于载板的承载槽中，可防止硅片质量受损，可保证后续加工的顺利进行以及加工精度，硅片上料系统包括硅片传输台、机械手、载板传输台、硅片定位单元、载板定位单元，载板传输台用于载板上料传输，硅片传输台用于硅片上料传输，机械手用于将硅片传输台上的硅片移载至承载槽中，硅片上料定位方法基于硅片上料系统实现，通过硅片定位单元对机械手抓取的硅片位置定位，通过载板定位单元对载板中的承载槽位置进行定位，机械手根据硅片位置、承载槽位置调整硅片至新放料位置后，基于新放料位置将硅片放置于承载槽中。
一种硅片系统料定方法

[发明专利]一种硅片转运设备和方法-CN202310144428.2有效
发明人：董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及硅片输送技术领域,公开了一种硅片转运设备和方法，对于本发明的硅片转运设备，通过让一条输送线输送从镀膜设备中出来的装有镀完膜的硅片的石墨舟、让另一条输送线接受舟升降装置上装配好未镀完膜的硅片的石墨舟，并将该石墨舟输送到镀膜设备中，实现镀膜设备的石墨舟输送；而通过在舟升降装置上的每个移动架上设置用于支撑石墨舟的支撑组件，这样搬舟装置能依次将两个移动架上的石墨舟抓到固定装置上进行硅片装卸，从而确保当从镀膜设备中出来的石墨舟在进行观察时依然有石墨舟在固定装置处进行硅片装卸，能在保证给镀完膜的硅片提供足够多的观察时间的同时不会影响镀膜设备的下一次的石墨舟输送，从而不会增加硅片镀膜时间。
一种硅片转运设备方法

[发明专利]一种硅片自动撕膜机及硅片下料系统-CN202310154330.5有效
发明人：董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B65B69/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片自动撕膜机及硅片下料系统，其可实现硅片快速自动撕膜，可提高加工效率，可确保膜片与硅片分离，提高撕膜效果，硅片自动撕膜机包括：用于吸附并移载附膜硅片的移载机构、用于膜片卷绕的卷膜机构，卷膜机构包括卷轴、驱动卷轴转动的卷轴驱动装置，卷轴包括两个半轴，移载机构与附膜机构配合，将保护膜绕卷至卷轴上；硅片下料系统包括依次分布的载板升降台、附膜硅片下料位、硅片自动撕膜机中的卷膜机构、硅片下料传输台、花篮升降机构，通过移载机构将载板上的附膜硅片移载至卷膜机构，通过卷膜机构将膜片撕除后，再通过硅片下料传输台将硅片传输至花篮升降机构中的空花篮中，实现硅片自动下料。
一种硅片自动撕膜机系统

[发明专利]一种硅片搬运设备和方法-CN202310144435.2有效
发明人：董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及硅片输送技术领域,公开了一种硅片搬运设备和方法，对于本发明的硅片搬运设备，通过让一条输送线输送从镀膜设备中出来的装有镀完膜的硅片的石墨舟、让另一条输送线接受缓存架上装配好未镀完膜的硅片的石墨舟，并将该石墨舟输送到镀膜设备中，实现镀膜设备的石墨舟输送；而通过设置六个中转石墨舟，这样在两个中转石墨舟进行检测时，有两个中转石墨舟在镀膜设备中镀膜、有两个石墨舟在进行硅片装卸，这样在保证给镀完膜的硅片提供足够多的观察时间的同时不会影响镀膜设备的下一次的石墨舟输送，从而不会增加硅片镀膜时间。
一种硅片搬运设备方法

[实用新型]一种硅片吸盘-CN202320025703.4有效
发明人：董晓清;安迪;郑琦;杨义;华晨;程院生;薛房超;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片夹具技术领域，具体涉及一种硅片吸盘。包括吸盘主体，所述吸盘主体侧面延伸设置有副板；气路设置于所述吸盘主体的内部，所述气路的一端贯通至吸盘主体的外部；吸孔设置于所述吸盘主体上，且贯穿至所述气路的内部；第一吸槽设置于所述吸盘主体的表面上，且吸孔位于所述第一吸槽的内部；第二吸槽设置于所述副板上，且与所述第一吸槽连通。通过将原始的点吸取转变成面吸取，提高了硅片的吸附面积，进而有效提高了对硅片吸取的效果。同时还在吸盘主体的一侧设置有若干的副板，若干的副板增加了与硅片的接触面积，因此，吸附面积也得到极大的提升，进一步地提高了对硅片吸取的效果。
一种硅片吸盘

[实用新型]一种用于石英舟的硅片分片集装组件-CN202220933646.5有效
发明人：董晓清;安迪;杨义;程院生;郑琦;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种用于石英舟的硅片分片集装组件，包括固定座、多个顶齿；多个顶齿等间距分布，且位于同一高度；每个顶齿包括第一顶齿、第二顶齿、连接条、第一连接件；连接条的顶面设有凸块，第一顶齿和第二顶齿围绕凸块对称分布，且第一顶齿和第二顶齿的底面设置安装于连接条的顶面上，第一顶齿、第二顶齿、凸块之间通过第一连接件贯穿连接；固定座顶面开设有多个连接槽，且固定座侧臂开设有第一凹槽条和第二凹槽条，连接条底端插入连接槽内，通过第二连接件贯穿插入第一凹槽条内，第三连接件贯穿插入第二凹槽条内，将连接条与固定座固定连接。该装置在硅片分片整合过程中减少硅片被划伤的风险，并且具有较高的硅片分片集装的稳定性。
一种用于石英硅片分片集装组件

[发明专利]一种用于石英舟的硅片分片集装组件-CN202210421127.5在审
发明人：董晓清;安迪;杨义;程院生;郑琦;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种用于石英舟的硅片分片集装组件，包括固定座、多个顶齿；多个顶齿等间距分布，且位于同一高度；每个顶齿包括第一顶齿、第二顶齿、连接条、第一连接件；连接条的顶面设有凸块，第一顶齿和第二顶齿围绕凸块对称分布，且第一顶齿和第二顶齿的底面设置安装于连接条的顶面上，第一顶齿、第二顶齿、凸块之间通过第一连接件贯穿连接；固定座顶面开设有多个连接槽，且固定座侧臂开设有第一凹槽条和第二凹槽条，连接条底端插入连接槽内，通过第二连接件贯穿插入第一凹槽条内，第三连接件贯穿插入第二凹槽条内，将连接条与固定座固定连接。该装置在硅片分片整合过程中减少硅片被划伤的风险，并且具有较高的硅片分片集装的稳定性。
一种用于石英硅片分片集装组件

[实用新型]一种石英舟翻转平台-CN202220936068.0有效
发明人：董晓清;安迪;杨义;程院生;郑琦;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片输送技术领域，具体涉及一种石英舟翻转平台。包括底板，底板上设置有安装架，安装架上设置有旋转驱动装置，旋转驱动装置输出端设置有放置板，放置板上设置有相互垂直的挡板，挡板上设置有若干规整条，规整条上间隔设置有放置槽。将装有硅片的石英舟放置在放置板上，通过放置板和挡板的共同限位，能够对石英舟进行有效的定位和固定，之后旋转驱动装置驱动放置板进行旋转，进而带动石英舟进行旋转，旋转后的石英舟，由于惯性和重力的作用，会使得石英舟上的每一片硅片插在放置槽上，还能够对硅片进行规整，避免翻转后的石英舟出现硅片错乱的情况发生，进一步地提高石英舟翻转的质量，进而便于后续工序的处理。
一种石英翻转平台

[实用新型]应用于注射器保护帽自动压装设备的辅助送料装置-CN201921541816.X有效
发明人：王路;詹尔豪 -专利权人：江苏天奇氢电装备有限公司
申请日： 2019-09-17 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： B23P19/02 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种应用于注射器保护帽自动压装设备的辅助送料装置，包括进料管、固定架、第一移动装置和若干个第一通孔；进料管在竖直方向上可移动地设置于固定架上；进料管的管壁上开设有若干个第一通孔，若干个第一通孔的孔心连线设置在竖直方向上；第一移动装置在竖直方向上可移动地设置于固定架上；第一移动装置的伸缩部可在水平方向上往复运动；第一移动装置的伸缩部可在第一通孔内做往复运动。本实用新型实现了有秩序地不断落料，有效地解决了现有技术中存在的振动盘将物料输送至传送平台的过程中，多个物料容易堆叠在输送管道口与传送平台的间隙处的问题，避免了无法正常输送物料的情况发生。
应用于注射器保护自动装设辅助装置

[实用新型]应用于注射器保护帽入盒设备的拨料装置-CN201921542667.9有效
发明人：王路;詹尔豪 -专利权人：江苏天奇氢电装备有限公司
申请日： 2019-09-17 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： B65B35/20 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种应用于注射器保护帽入盒设备的拨料装置，包括第一移动装置和拨料板；第一移动装置水平设置；第一移动装置的伸缩部可沿着水平方向左右往返运动；拨料板的板面向下延伸；拨料板上设有若干个断口，若干个断口断开拨料板的底部边缘；若干个断口间隔等距分布；拨料板可拆卸地固定于第一移动装置的伸缩部的一端；拨料板通过第一移动装置可沿着水平方向左右往返运动。该装置结构简单，操作简便，适用范围广，降低了工人的劳动强度，减少了人工成本，提高了物料的包装处理效率。
应用于注射器保护帽入盒设备装置

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