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[发明专利]硅片清洗机-CN202010425906.3在审
发明人：胡睿凡;王笑非;王锐廷 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-05-19 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种硅片清洗机。该硅片清洗机包括：机架，其包括相对间隔设置的两个悬臂，清洗篮，其两端分别设置在所述两个悬臂上，以及驱动机构，所述驱动机构包括两个凸轮和分别与相应的所述凸轮配合的两个随动器，所述两个悬臂与相应的随动器相连，以驱动所述两个悬臂运动同步上下往复运动，并带动所述清洗篮上下往复运动。根据本申请的硅片清洗机，在清洗硅片时，承载篮的振动稳定好，可实现对硅片的良好清洗。
硅片清洗

[外观设计]硅片清洗机-CN202230322561.9有效
发明人：马玉水 -专利权人：山东联盛电子设备有限公司
申请日： 2022-05-29 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： 15-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：硅片清洗机。2.本外观设计产品的用途：用于清洗半导体硅片。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
硅片清洗

[实用新型]硅片清洗机-CN201120252499.7有效
发明人：陈春晖 -专利权人：扬州善鸿新能源发展有限公司
申请日： 2011-07-18 - 公布日： 2012-03-28 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：硅片清洗机，涉及一种硅片清洗装置，包括机架，机架内设置第一移动架，机架的上方连接两根支撑轴，每根支撑轴上分别连接两个链轮，每个链轮上分别设置链条，每根链条的一端连接活动板，活动板连接第一气缸；第一移动架的下方设置第二移动架，第一移动架的上方固定连接第二气缸，第二移动架的下方连接至少五组挂钩，每组挂钩的下方分别设置清洗篮，每个清洗篮分别包括把手；第二移动架的下方设置第三移动架，第三移动架的下方连接第四移动架，机架的底部支撑两根转轴，每根转轴上分别连接两个偏心轮，每个偏心轮的上端分别铰连接一连接片，每块连接片的上端分别与第四移动架连接，机架内固定连接清洗槽。本实用新型工作效率高且硅片质量高。
硅片清洗

[外观设计]硅片清洗机-CN202230121516.7有效
发明人：孙刘竹;李冰 -专利权人：苏州库睿斯自动化设备有限公司
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： 15-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：硅片清洗机。2.本外观设计产品的用途：对太阳能多晶硅片进行化学腐蚀、清洗、干燥处理。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
硅片清洗

[实用新型]一种硅片清洗系统-CN201320010915.1有效
发明人：龙峰;杨银博;黄杰;汪飞;陈熙 -专利权人：英利集团有限公司
申请日： 2013-01-09 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：一种硅片清洗系统，其特征在于，包括硅片预清洗机，储水装置，硅片清洗机，第一输水管路，第二输水管路，其中，所述硅片预清洗机至少具有进水口和输水口，所述硅片清洗机至少具有出水口，所述储水装置至少具有进水口；所述硅片清洗机出水口的水平位置高于所述硅片预清洗机的进水口，硅片预清洗机进水口与硅片清洗机出水口通过第一输水管路相连，硅片预清洗机的输水口与储水装置的进水口通过第二输水管路相连。由于本实用新型提供的硅片清洗系统设计简单，施工成本低，维修维护频率低，且相比于现有技术的复杂系统，能源消耗也大大减少，降低了生产成本。
一种硅片清洗系统

[实用新型]一种硅片清洗设备-CN201520251385.9有效
发明人：洪育林;张震;安冠宇;李文文;刘凯 -专利权人：武汉宜田科技发展有限公司
申请日： 2015-04-23 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种硅片清洗设备，该硅片清洗设备包括清洗机；放置硅片的水槽，与清洗机连接；将硅片由水槽转移至清洗机的机械手臂，机械手臂设置于清洗机或水槽上，或与清洗机以及水槽间隔设置。实施本实用新型实施例，具有如下有益效果：本实用新型的硅片清洗设备将水槽与清洗机连接，使其与清洗机成为一体，让机械手臂直接从水槽中将硅片移动至清洗机中，免去了人工操作，节约了人力；并且，还可以防止硅片在清洗之前接触空气，从而使清洗效果更好。
一种硅片清洗设备

[实用新型]一种有机太阳能电池生产用硅片清洗装置-CN201922419301.9有效
发明人：李琳 -专利权人：南京如一光电有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种有机太阳能电池生产用硅片清洗装置，涉及太阳能电池生产技术领域，为解决现有太阳能电池生产过程中需要用到清洗装置来对硅片进行清洗，但一般的清洗装置不能很好的除去硅片上的污垢，对此我们需要加强清洗装置清洗效果的问题所述硅片清洗机本体的上表面设置有硅片放置篮，所述硅片放置篮两侧的外壁上均设置有放置篮提手，所述硅片清洗机本体前端面的外壁上设置有控制面板，所述硅片清洗机本体的下表面设置有清洗机固定脚，所述硅片清洗机本体一侧的外壁上设置有清洗机入水口，所述硅片清洗机本体另一侧的外壁上设置有清洗机排水口，所述硅片清洗机本体的一侧设置有支撑杆，所述支撑杆的一端设置有电导轨杆。
一种有机太阳能电池生产硅片清洗装置

[实用新型]一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置-CN201621408746.7有效
发明人：王晓丽;景欢旺;吕海军;高超;项望 -专利权人：江苏晶鼎电子材料有限公司
申请日： 2016-12-21 - 公布日： 2017-07-07 - 主分类号： B08B3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置，包括硅片清洗机机顶前板，所述硅片清洗机机顶前板的上方设置有硅片清洗机排风管分管，所述硅片清洗机机顶前板与硅片清洗机排风管分管的连接处设置有排风管安装垫片，所述排风管安装垫片上设置有排风管分管固定螺栓，所述硅片清洗机排风管分管的上方中间位置处设置有硅片清洗机排风管汇流管，所述硅片清洗机机顶前板的两侧设置有冷凝回流器滑板，所述两个冷凝回流器滑板之间设置有冷凝回流器安装板
一种硅片清洗风口冷凝回流装置

[实用新型]一种硅片清洗机用过滤器单元-CN202321191045.2有效
发明人：殷杰毅;许程超;沈飞 -专利权人：浙江艾科半导体设备有限公司
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B01D29/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片清洗机用过滤器单元，包括侧容盒，还包括L形支板、排水阀、底接板、筛网框、提框和水泵，所述侧容盒焊接在硅片清洗机本体下方固定的支腿外，且支腿上方的硅片清洗机本体外旋接安有排水阀，所述排水阀与硅片清洗机本体的腔室互通，本实用新型通过在硅片清洗机本体外设置有过滤器单元的排水阀，而过滤器单元的侧容盒在支腿外焊接，本实用新型的过滤器单元在硅片清洗机本体与其配套的过滤装置之间形成初次大杂质过滤结构，使得硅片清洗机本体排向配套过滤装置的清洗液可以被初次过滤大杂质，避免硅片清洗机本体将带有大杂质颗粒的清洗液直接排入硅片清洗机本体的配套过滤装置内损伤过滤材料。
一种硅片清洗过滤器单元

[发明专利]多面超声波清洗机及硅片清洗方法-CN201711366233.3在审
发明人：魏超锋;邓浩;张济蕾;高攀红;刘晓东;李瑛;张超;辛丽 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2017-12-18 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明的多面超声清洗机，用于超声清洗硅片，具有清洗槽以及设置于清洗槽的多个超声震板，清洗槽用于放置硅片，多个超声震板包括至少一个底超声震板和多个侧超声震板，底超声震板位于硅片的底部，多个侧超声震板相对设置于所述硅片的两侧本发明的硅片超声清洗方法，包括：提供硅片和如上所述的多面超声清洗机；将硅片放入多面超声清洗机的清洗槽内，使底超声震板位于硅片的底部，多个侧超声震板相对设置于硅片的两侧；利用多个超声震板的超声振动作用清洗硅片本发明的多面超声清洗机超声功率密度更高、超声场更为均匀，有利于超声清洗硅片。利用本发明的硅片超声清洗方法，使硅片表面清洗效果好、清洗效率高，并且清洗硅片数量多。
硅片超声震板多面超声清洗机超声清洗清洗槽相对设置清洗超声波清洗机超声振动作用超声功率硅片表面硅片清洗清洗效果清洗效率超声场放入

[实用新型]一种硅片清洗机的除泡沫机构-CN202222950581.8有效
发明人：严循成 -专利权人：江苏福旭科技有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片清洗技术领域，尤其涉及一种硅片清洗机的除泡沫机构，解决了现有技术中的硅片清洗机在进行清理时会产生大量的清洗泡沫，这些泡沫残留在硅片上会在硅片的四周产生浮灰脏污，不加以进行清理将会影响硅片的生产质量，使得硅片上的残留污渍在使用中产生影响，大大降低硅片的使用效果的问题。一种硅片清洗机的除泡沫机构，包括底座，底座的顶部一侧通过螺栓固定连接有硅片清洗机，且硅片清洗机的上部一侧安装有出料框。本实用新型中提出的方式，通过喷管对硅片上的泡沫进行清洗，避免了传统中硅片上的泡沫不加以进行清理将会影响硅片的生产质量，使得硅片上的残留污渍在使用中产生影响，大大降低硅片的使用效果的问题。
一种硅片清洗泡沫机构

[实用新型]一种硅片清洗机用硅片清洗结构-CN202220209123.6有效
发明人：程玉学;杨雪梅 -专利权人：北京市京徽龙江科技有限公司
申请日： 2022-01-21 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： B08B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种硅片清洗机用硅片清洗结构，涉及硅片清洗领域。该硅片清洗机用硅片清洗结构包括清洗槽和清洗篮，清洗篮的正面和背面均设有震动清洗机构，震动清洗机构包括电机，电机上固定连接有凸轮，凸轮的上方设有悬挂臂，悬挂臂上固定连接有连接板，悬挂臂上设有伸缩杆，伸缩杆上固定连接有第一弹簧，清洗篮的底部固定连接有多个固定杆，多个固定杆的顶部固定连接有多个U形过滤框。该硅片清洗机用硅片清洗结构在需要对清洗篮内部的硅片进行清洗时，首先启动电机，电机工作带动凸轮转动，滚轮与凸轮相抵，凸轮转动带动清洗篮上下运动，能够增加对硅片清洗效果，同时也能够使得清洗篮的震动更加平稳，防止在清洗过程中硅片掉落。
一种硅片清洗结构

[实用新型]一种硅片清洗机用废液收集装置-CN201821627206.7有效
发明人：周尤;韦树喜;韦海玉 -专利权人：河北万维克林精密设备有限公司
申请日： 2018-10-08 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： B65F1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片清洗机用废液收集装置，包括硅片清洗机和收集罐，所述硅片清洗机一侧设有出水口，出水口通过连接水管连接有水泵，所述收集罐上设有密封盖，密封盖与水泵之间连接有连接水管，所述收集罐上设有固定块该硅片清洗机用废液收集装置设有收集罐，将收集罐放置在硅片清洗机出水口处，可通过水泵将硅片清洗机清洗硅片产生的废水抽吸到收集罐内，从而可完成废水的收集，且收集罐设在移动推车上，可方便收集罐的移动。
收集罐硅片清洗机固定块废液收集装置定位挡板水泵连接水管出水口密封盖废水本实用新型出水口处弹簧连接对称分布内侧壁抽吸硅片移动清洗

[实用新型]硅片清洗机纯水再利用系统-CN201922365154.1有效
发明人：裴乐扬;王进哲;张占勇 -专利权人：晶澳太阳能越南有限公司;晶海洋半导体材料（东海）有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： B08B3/14 文献下载
摘要：本实用新型公开一种硅片清洗机纯水再利用系统，包括插片机，用以将待清洗硅片插入清洗花篮中；清洗机，用以对清洗花篮中的待清洗硅片进行清洗；其中，所述清洗机的排液口与所述插片机的进液口之间设有连通管，所述连通管与所述清洗机的进液管之间设有热交换器该清洗系统可以有效降低清洗机的电能消耗，同时提高纯水的利用率和插片机的清洗能力，降低插片机的清理频率。
硅片清洗纯水再利用系统

[发明专利]一种单晶硅片的清洗设备-CN202210054210.3在审
发明人：朱仁德;章祥静 -专利权人：无锡京运通科技有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明涉及单晶硅片技术领域，具体的说是一种单晶硅片的清洗设备，包括清洗机本体，所述清洗机本体上连接有主体机构；所述清洗机本体上配合滑动有调节机构；所述调节机构上安装有存放机构；所述存放机构上滑动有抖动机构；所述清洗机本体上配合转动有抵触机构；打开调节机构，进而使其在清洗机本体中滑动，进而便于通过调节机构对单晶硅片进行多次清洗；存放机构从调节机构滑动到主体机构内，进而便于清洗机本体启动时清洗存放机构内的单晶硅片；操作人员打开抵触机构的控制开关，进而使抵触机构在转动时对主体机构内的存放机构进行抵触，进而使存放机构受到抵触时带动抖动机构滑动，进而使硅片在存放机构内抖动时便于提高单晶硅片的清洗效果。
一种单晶硅清洗设备

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