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- [发明专利]化学气相沉积设备-CN201611188878.8有效
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左敏
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江苏微导纳米装备科技有限公司
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2016-12-21
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2019-02-19
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C23C16/455
- 本发明公开的化学气相沉积设备包括进气装置，所述进气装置包括：第一反应气体出气口，其用于向所述待处理衬底输送第一反应气体，和第二反应气体出气口用于向所述待处理衬底输送第二反应气体；隔离装置分布在第一反应气体出气口周围隔离装置使得第一反应气体与第二反应气体的混合反应在空间上实现局域化；两种气体出气口与分布在第一反应气体出气口周围的隔离装置一起组成最小周期结构单元，本设备包括一个周期结构单元或一个以上周期结构单元；驱动装置，其用于驱动所述待处理衬底或者驱动进气装置本发明通过隔离装置设计将两种反应气体的混合反应在空间上实现局域化，通过进气装置与衬底载具之间的相对运动，对衬底进行沉积处理。
- 化学沉积设备
- [发明专利]气相沉积腔室-CN202010631367.9有效
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周志文
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2020-07-03
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2022-02-22
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C30B25/08
- 本申请公开了一种气相沉积腔室，包括：上外壁、反应基座、支撑环、下外壁、第一导流环，支撑环设置在所述上外壁和下外壁之间且与上外壁和下外壁连接，第一导流环和反应基座依次设置在所述支撑环的内侧，且第一导流环承载在下外壁，下外壁、第一导流环和反应基座形成第一子腔，在上外壁和反应基座之间形成第二子腔；第一导流环上构造有径向贯穿的进气通孔和偏离进气通孔的径向非贯穿的进气切槽，进气通孔与所述第一子腔连通以向第一子腔的内部引入清洗气体，进气切槽与所述第二子腔连通以向第二子腔的内部引入工艺气体。根据本申请的气相沉积腔室，可方便地对其进行清洁。
- 沉积
- [发明专利]化学气相沉积炉-CN201710767019.2有效
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于金凤;朱刘
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安徽光智科技有限公司
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2017-08-31
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2023-09-01
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C23C16/30
- 本发明涉及一种化学气相沉积炉，其包括自下而上组装的用于盛放原料的一坩埚、配合坩埚使用的一坩埚盖、一沉积室、一收料盒、一导气管；所述坩埚盖上开设了连通坩埚和沉积室的若干第一通孔，所述收料盒上开设有连通沉积室和收料盒的一第二通孔，所述化学气相沉积炉还包括给坩埚加热的一第一加热器，所述收料盒内置一集尘室和盖设在集尘室上方的一集尘室盖板，所述集尘室盖板上开设连通集尘室和收料盒的一第三通孔。本发明化学气相沉积炉，结构合理，多级收集硫化锌产品，所制得的硫化锌不产生雾斑、雾层、花纹等缺陷，且硫化锌产品的整体厚度偏差小，产品转化率高。
- 化学沉积
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