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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]薄膜气相沉积装置-CN202223124635.1有效
发明人：齐鹏飞;梅芳;陈金良;王大鹏 -专利权人：宸亚（兰考县）科技有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种薄膜气相沉积装置，包括：加热装置，加热装置内具有容纳原料的空腔，加热装置的底部设置有出口；过滤器，封堵于出口处，过滤器由多孔材料制成；传送装置，设置于出口的下方，传送装置具有支撑基板的支撑结构
薄膜沉积装置

[实用新型]化学气相沉积炉-CN202320097104.3有效
发明人：赵立川;展长振;康辉;陈娟;杨硕;李诚 -专利权人：北京蒙京石墨新材料科技研究院有限公司;内蒙古石墨烯科技有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种化学气相沉积炉，包括：炉体，具有反应腔，反应腔具有弧形内壁；进气装置，包括进气管路和进气部，进气管路的一端具有出气口，出气口和反应腔的底部连通，进气部和进气管路的另一端连通，出气口的方向朝向弧形内壁；进料装置，进料装置和进气管路连通，进气部用于将粉体材料吹入反应腔的底部；排气装置，包括气固分离器和排气部，排气部和反应腔的顶部连通，气固分离器位于排气部的进气口处，排气部用于排出气固分离器分离完成后的气体通过本方案，能够解决现有技术中的化学气相沉积炉对于粉体材料沉积效果差的问题。
化学沉积

[实用新型]化学气相沉积设备-CN202321318607.5有效
发明人：徐振宇 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型提供一种化学气相沉积设备，包括沉积腔室、喷淋头及用于承载基板的载台，所述载台内设置有加热装置，载台边缘设置有若干缺口，在所述载台的缺口下方设置有用于对所述缺口处进行补偿加热的补偿加热器。使用本申请提供的化学气相沉积设备进行薄膜沉积时，可以根据需要，利用补偿加热器对缺口上方的基板区域进行温度补偿，可以提高基板表面的温度均匀性，由此有助于提高薄膜沉积均匀性。
化学沉积设备

[实用新型]化学气相沉积设备-CN200520022499.2无效
发明人：胡昌义;雷春明;毛勇;郭锦新;李靖华;周世平;徐云;王云;欧阳远良 -专利权人：贵研铂业股份有限公司
申请日： 2005-06-06 - 公布日： 2006-12-27 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及高熔点金属(难熔金属及贵金属)化学气相沉积制备所用的专用设备。设备由3部分组成：(一)主体结构；(二)动力传动装置；(三)气体调配系统。主体部分结构由5个功能部件组成，分别为：沉积室(I)，密封室(II)，蜗轮箱(III)，升降操纵箱(IV)，热电势信号接转装置(V)。本实用新型在于实现基体沉积件在高温、高真空或多种气氛(氩气、氧气、氯气、一氧化碳以及甲烷等)条件下，按设定参数进行材料的沉积，基体可进行轴向圆周、螺旋以及自动循环运动。
化学沉积设备

[外观设计]化学气相沉积设备-CN201930333024.2有效
发明人：李丙科 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：化学气相沉积设备。2.本外观设计产品的用途：石墨烯薄膜的制备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
化学沉积设备

[外观设计]化学气相沉积设备-CN202030683770.7有效
发明人：赵仰政 -专利权人：赵仰政
申请日： 2020-11-12 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： 19-07 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：化学气相沉积设备。2.本外观设计产品的用途：用于教学中做等离子体增强化学气相沉积等实验。3.本外观设计产品的设计要点：在于图案与色彩的结合。
化学沉积设备

[外观设计]化学气相沉积设备-CN202230697222.9有效
发明人：徐丰;邓铁夫 -专利权人：佛山市海光智能科技有限公司
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：化学气相沉积设备。2.本外观设计产品的用途：用于利用微波等离子体化学气相沉积的技术培育钻石。3.本外观设计产品的设计要点：在于化学气相沉积设备的形状。
化学沉积设备

[发明专利]化学气相沉积装置-CN201480015908.8有效
发明人： P·娜尔;C·波瑞恩;J·维蒂耶洛 -专利权人：阿尔塔科技半导体公司
申请日： 2014-02-21 - 公布日： 2017-12-08 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于化学气相沉积的反应器装置(1)，包括具有侧壁(19)的反应腔室(4)，和具有周边表面(5b)及面对反应气体喷射器(30)的主面(5a)的基板支撑件(5)，在所述喷射器(30)和所述主面
化学沉积装置

[发明专利]化学气相沉积装置-CN201480015882.7有效
发明人： P·娜尔;C·波瑞恩;J·维蒂耶洛 -专利权人：阿尔塔科技半导体公司
申请日： 2014-02-21 - 公布日： 2017-09-29 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种用于化学气相沉积的反应器装置(1)，包括‑具有净化气体入口(106)的反应腔室(4)。
化学沉积装置

[发明专利]化学气相沉积设备-CN201080063854.4有效
发明人：洪性在;韩锡万;陈周;郑镇烈 -专利权人：丽佳达普株式会社
申请日： 2010-07-16 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：在衬底上形成薄膜的过程中，需要一种化学气相沉积设备来提高过程效率并形成高品质的薄膜。为此，根据本发明的化学气相沉积设备包括：多个反应腔，衬底通过闸门进入所述反应腔中并且对层叠在所述反应腔中的衬底支撑件的上表面上的所述衬底进行处理；缓冲腔，连接所述多个反应腔，从所述多个反应腔中的一个中取出衬底
化学沉积设备

[发明专利]化学气相沉积方法-CN201580025756.4有效
发明人： G·本韦努蒂;E·瓦格纳;C·桑杜 -专利权人： 3D-奥克赛茨公司
申请日： 2015-03-18 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： C23C16/04 文献下载
摘要：一种化学气相沉积方法包括下列步骤：提供高真空室，并且在高真空室内：放置基板表面；平行于基板表面放置掩模，其中掩模包括一个或多个开口；调节基板表面和掩模之间的确定的尺寸的间隙；和利用视线传播使至少一种前体物种的多个化学前体束朝向掩模取向，所述多个化学前体束中的每一个都从独立的点状源发出，并且化学前体的分子穿过一个或多个掩模开口撞击到基板表面上以沉积在其上。
基于模板沉积方法制造载有多功能追溯代码标签应用

[发明专利]化学气相沉积设备-CN201080034696.X无效
发明人：布莱恩·H·布尔洛斯;罗纳德·史蒂文斯;雅各布·格雷森;约书亚·J·帕德斯塔;萨迪普·尼哈万;劳瑞·D·华盛顿;亚历山大·泰姆;苏玫德·阿凯亚 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2010-08-05 - 公布日： 2012-06-13 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的实施例一般地涉及在衬底上进行化学气相沉积(CVD)的方法和设备，且具体涉及在金属有机化学气相沉积中所使用的处理腔室和部件。该设备包括界定处理容积的腔室主体。
化学沉积设备

[发明专利]一种多孔材料气相沉积方法及装置-CN202210375994.X在审
发明人：张军彦;白枭;白翔;张桂芸;李媛 -专利权人：山西中电科新能源技术有限公司
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明属于新材料制备技术领域，涉及一种多孔材料气相沉积方法及装置；解决多孔材料在气相沉积的过程中材料内外沉积不均匀的问题；多孔材料气相沉积方法是从多孔预制体内部加热，使多孔预制体从内到外温度逐渐降低形成温度梯度；在所述的温度梯度下进行气相沉积，使多孔预制体从内到外逐层制备涂层或实现增密；装置包括气相沉积炉，炉内设置有反应热场结构，反应热场结构的工作区内放置有多孔预制材料，所述多孔预制材料的内部设置有发热元件；本发明用于在待处理材料表面制备高性能涂层、多孔预制体内部进行高温热解沉积等工艺环节。
一种多孔材料沉积方法装置

[实用新型]一种SiC纤维表面沉积BN界面层的设备-CN201820248950.X有效
发明人：阳海棠;黄小忠;陆子龙;彭立华;黎尧 -专利权人：中南大学
申请日： 2018-02-12 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种在SiC纤维表面沉积BN界面层的设备，所述设备包括放丝装置、气相沉积装置、含有收丝装置的热处理装置，所述放丝装置与热处理装置位于气相沉积装置两侧，并与气相沉积装置贯通连接；所述气相沉积装置带有第一进气口在保护气氛下，单束SiC纤维从放丝装置出来经气相沉积装置进行气体沉积形成无定型BN界面层后，再通过热处理装置退火处理形成晶态BN界面层，最终由收丝装置收丝。
气相沉积装置界面层进气口热处理装置放丝装置本实用新型表面沉积收丝装置晶态保护气体贯通连接气体沉积退火处理出气口无定型收丝制备

[发明专利]一种锂硫电池复合正极材料制备方法-CN201110269592.3有效
发明人：张治安;邓兆丰;刘晋;赖延清;李劼;刘业翔 -专利权人：中南大学
申请日： 2011-09-10 - 公布日： 2012-01-18 - 主分类号： H01M4/38 文献下载
摘要：制备方法包括以下步骤：(1)用固体碱化学活化气相沉积碳纤维；(2)活化后的气相沉积碳纤维与硫混合均匀；(3)在惰性气氛中加热保温，使硫通过毛细管作用进入气相沉积碳纤维孔洞中，即可得硫-气相沉积碳纤维复合材料本发明采用的气相沉积碳纤维具有优秀的导电性、良好的机械性能和大的长径比，有利于形成天然的三维导电网络，提高硫电极的导电性，改善锂硫电池的循环性能。
一种电池复合正极材料制备方法

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