专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]快门及拍照设备-CN202020963420.0有效
  • 白龍吉;黄通尧 - 深圳市大疆创新科技有限公司
  • 2020-05-29 - 2021-04-06 - G03B9/22
  • 本实用新型提供一种快门及拍照设备,属于拍照设备技术领域,其旨在解决快门机构在关闭曝光口时受到较大冲击力,容易导致快门机构破损的问题。所述快门包括快门底座、快门机构及刹车件;快门底座设置有曝光口,快门机构包括叶片组件和用于驱动叶片组件的同步环,同步环在第一位置和第二位置之间可移动,且当同步环在第一位置时曝光口是打开的,当同步环在第二位置时曝光口是闭合的,刹车件用于使快门机构减速。本实用新型提供的快门及拍照设备,在叶片组件关闭相机的曝光口时,其能够对快门机构提供缓冲,避免快门机构损坏。
  • 快门拍照设备
  • [实用新型]一种用于曝光机的双LED平行光源机构-CN202122074848.7有效
  • 曾俊琰;杨艳波;邹红露;游毕扬 - 深圳市世豪机电设备有限公司
  • 2021-08-30 - 2022-03-22 - G03F7/20
  • 本实用新型公开了一种用于曝光机的双LED平行光源机构,涉及曝光机光源机构技术领域。包括机架,所述机架上固定有反光镜A、反光镜B和光源固定板,所述机架上固定有曝光台面,所述光源固定板铰接在机架内,所述光源板上固定有LED光源模组,所述机架内设置有用于调节LED光源模组角度的调节装置,所述调节装置包括调节机构、限位机构和遮光机构,所述调节机构包括伸缩杆、固定板、支架、活动板、齿轮A和齿条A,所述伸缩杆贯穿机架且转动安装在机架内,所述伸缩杆上固定有活动板。该装置设置的调节机构能够对LED光源模组的光源进行调节,提高光源的照射范围,从而提高曝光机的曝光效果,帮助调节光线照射方向,同时调节简单,调节效率高。
  • 一种用于曝光led平行光源机构
  • [发明专利]双面卷对卷激光直写曝光-CN202310007548.8在审
  • 叶飞;项宗齐 - 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
  • 2023-01-04 - 2023-04-14 - G03F7/20
  • 本发明提供一种双面卷对卷激光直写曝光机,包括用于对基材进行输送的放卷装置和收卷装置,以及用于对基材进行涨紧悬空的涨紧装置,所述涨紧装置包括支撑机构,该支撑机构通过设置在曝光区域中的多个支撑杆对基材悬空的中间部位进行支撑;通过设置在非曝光区域的吸附装置对基材进行吸附固定;以及设置在侧边对基材进行夹紧的侧面夹紧机构;在支撑杆两端的放料端和收料端分别设置有端部夹紧机构,使得在曝光过程中基材始终被夹紧,避免在曝光过程中卷式基材由于精密运动平台的运动而产生振动和位移,从而影响曝光精度。
  • 双面激光曝光
  • [实用新型]双面卷对卷激光直写曝光-CN202320017951.4有效
  • 叶飞;项宗齐 - 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
  • 2023-01-04 - 2023-07-14 - G03F7/20
  • 本实用新型提供一种双面卷对卷激光直写曝光机,包括用于对基材进行输送的放卷装置和收卷装置,以及用于对基材进行涨紧悬空的涨紧装置,所述涨紧装置包括支撑机构,该支撑机构通过设置在曝光区域中的多个支撑杆对基材悬空的中间部位进行支撑;通过设置在非曝光区域的吸附装置对基材进行吸附固定;以及设置在侧边对基材进行夹紧的侧面夹紧机构;在支撑杆两端的放料端和收料端分别设置有端部夹紧机构,使得在曝光过程中基材始终被夹紧,避免在曝光过程中卷式基材由于精密运动平台的运动而产生振动和位移,从而影响曝光精度。
  • 双面激光曝光
  • [发明专利]光刻机双光源曝光系统-CN202211031003.2有效
  • 钟敏 - 上海图双精密装备有限公司
  • 2022-08-26 - 2023-03-14 - G03F7/20
  • 本发明公开了光刻机双光源曝光系统,包括曝光机架和设置在曝光机架内底部凹槽处的调节组件以及螺栓安装在曝光机架右端的控制面板,所述曝光机架内侧壁螺栓安装有导轨组件,所述调节组件右端位移块螺栓安装有曝光平台,所述调节组件与控制面板电连接,通过设置了导流机构曝光机架顶部,通过风机板带动外部气流进入过滤棉层内部进行过滤,并通过离子发生器发射出的负离子使该气流形成清洁气流,并通过换向阀和吹扫管的导流对工件表面进行吹扫动作,有利于提高对曝光工件的清洁效果,通过设置了曝光机构在导轨组件前端,通过安装侧板带动曝光器和调平推杆进行水平位移调节,此时通过对齐传感器对其进行位移对齐动作。
  • 光刻光源曝光系统
  • [实用新型]一种多工位曝光装置-CN201921609674.6有效
  • 马迪;吴景舟;陈亮;陈国军;王群;朱鹏飞;孙行;冯梦飞;潘钰;林全海 - 钧迪智能装备科技(苏州)有限公司
  • 2019-09-25 - 2020-04-17 - G03F7/20
  • 本实用新型公开了一种多工位曝光装置,包括机座,所述机座上设置有工作平台,所述工作平台上设置有上下料工位、定位检测工位和曝光工位,所述工作平台上转动安装有载物转盘,所述载物转盘的板面覆盖所述上下料工位、定位检测工位和曝光工位,所述载物转盘由旋转动力装置驱动旋转,所述工作平台上位于定位检测工位处安装有对定位检测工位上的工件进行定位检测的定位检测装置,所述工作平台上位于曝光工位安装有对曝光工位上的工件进行曝光曝光机构,所述机座上安装有在上下料工位进行上下料操作的上下料机构该多工位曝光装置在曝光的过程中同步完成工件的定位和上下料,节省了定位检测和上下料的时间,提高了曝光效率。
  • 一种多工位曝光装置
  • [实用新型]一种用于数码立体照片激光冲印操作的移动镜头机构-CN201320624562.4有效
  • 杨浩 - 深圳市中印印刷制品有限公司
  • 2013-09-30 - 2014-05-07 - G03B27/52
  • 本实用新型公开了一种用于数码立体照片激光冲印操作的移动镜头机构。该机构包括:安装移动镜头机构的激光片夹平台;置于激光片夹平台下用于引导镜头平台横向移动的导轨;平行于横向移动导轨的丝杆和步进马达机构;安装在横向导轨和丝杆上的移动镜头平台;置于镜头移动平台和镜头卡口之间用于遮光的伸缩皮囊;垂直安装在镜头移动平台上用于引导镜头卡口升降移动的垂直导轨柱;平行于垂直导轨柱的丝杆和步进马达机构;本实用新型的移动镜头机构适用于激光曝光的数码立体照片冲印设备。该移动镜头机构可以最大限度的微调激光曝光精度,并保证曝光时激光束相对于柱镜光栅的曝光角度精确。解决了数码立体照片激光冲印时精确调整曝光精度和曝光角度的问题。
  • 一种用于数码立体照片激光冲印操作移动镜头机构
  • [实用新型]一种太阳能电池片的全自动高速曝光装置-CN202222098980.6有效
  • 罗骞;周琳;魏雅丽 - 罗骞
  • 2022-08-10 - 2022-12-20 - G03F7/20
  • 本实用新型涉及太阳能电池片制造技术领域,提供了一种太阳能电池片的全自动高速曝光装置,其包括:依次设置的上料输送组件、循环输送组件和下料输送组件以及设置在循环输送组件上方的至少一个第一曝光组件;循环输送组件包括:多个承载台;循环驱动机构,多个承载台均设置在循环驱动机构上,承载台在循环驱动机构的驱动作用下在上料输送组件出料端一侧、第一曝光组件下方及下料输送组件入料端一侧循环移动;纠偏机构,承载台通过纠偏机构安装在循环驱动机构上,用于调节承载台在循环驱动机构的位置,以使承载台移动至第一曝光组件下方时,承载台上的太阳能电池片正对第一曝光组件;该装置能有效地提高太阳能电池片的曝光精度和良率。
  • 一种太阳能电池全自动高速曝光装置
  • [实用新型]曝光装置以及图像形成设备-CN201520308167.4有效
  • 今木大辅;蒋维 - 株式会社理光
  • 2015-05-13 - 2015-09-30 - G03G15/04
  • 本实用新型提供了一种曝光装置以及包含该曝光装置的图像形成设备,图像形成设备具有:框体;安装在框体上,相对于框体可旋转地进行打开或闭合的上盖部;位于上盖部的下方的曝光机构;被容纳在框体内的图像形成机构;以及,用于将曝光机构安装于上盖部的至少三个安装构件,其中,曝光机构的承载盘底部设置有与至少三个安装构件分别相对应的至少三个定位构件,用于在上盖部闭合时,相对于框体对承载盘进行定位,此时,定位构件与对应的安装构件相比位于外侧
  • 曝光装置以及图像形成设备
  • [发明专利]光阻图案的形成方法以及刻蚀工艺、曝光设备-CN201711215944.0在审
  • 龚成波 - 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
  • 2017-11-28 - 2018-04-20 - G03F7/20
  • 本发明公开了一种光阻图案的形成方法,其包括在基板上涂布形成光阻层;在所述光阻层上设置光掩膜,从所述光掩膜上对所述光阻层进行第一曝光工艺,在所述光阻层中形成具有第一曝光深度的图案化的曝光图形;从所述光阻层上进行整面曝光的第二曝光工艺,在所述光阻层中形成具有第二曝光深度的曝光层;通过显影工艺去除所述曝光图形和所述曝光层,获得光阻图案;其中,所述第二曝光深度小于所述第一曝光深度。本发明还提供了一种曝光设备,用于对光阻层进行曝光工艺,所述曝光设备包括传送机构、第一曝光装置和第二曝光装置,所述第一曝光装置用于执行第一曝光工艺,所述第二曝光装置用于执行第二曝光工艺。
  • 图案形成方法以及刻蚀工艺曝光设备
  • [实用新型]曝光曝光基台的回位机构-CN200820003790.9有效
  • 张鸿明 - 川宝科技股份有限公司
  • 2008-02-19 - 2008-12-24 - G03F7/20
  • 本实用新型是有关于一种曝光曝光基台的回位机构,利用设置于曝光平台的上导引块的斜导引面、与组设于动力源的下导引块的另一斜导引面的互相对应嵌合,即可轻易地完成自动回位功能,如此可缩短曝光作业的时间与并提高产能此外,借由缓冲件的设计,可缓冲曝光平台回落的冲击力,亦即曝光平台不会因震动而产生位移误差,且可以避免曝光平台因震动而发生损害的问题。再者,利用上述的回位机构,亦可降低成本,相对可增加产品的竞争力。
  • 曝光机构
  • [实用新型]一种全自动双面数字光刻机-CN202220249967.3有效
  • 陈志特;王华;黄海浩;甘泉;何增灿;龚海峰 - 广东科视光学技术股份有限公司
  • 2022-02-07 - 2022-06-28 - G03F7/20
  • 本实用新型公开一种全自动双面数字光刻机,包括第一输送线、第二输送线和第三输送线,第二输送线和第三输送线分别位于第一输送线的两端并与其呈相交设置,第一输送线的一端设有第一分板机构,另一端设有第二分板机构;第二输送线与第三输送线之间设有曝光机,曝光机的相对两侧设有第一曝光平台和第二曝光平台,第一曝光平台位于第二输送线与曝光机之间,第二曝光平台位于第三输送线与曝光机之间,第一曝光平台与第二曝光平台均可移动至曝光机的下方;第一曝光平台的上方设有第一机械手,第二曝光平台的上方设有第二机械手;第一输送线上设有翻板机,翻板机用于将经第一机械手转从第一曝光平台转移至第一输送线上的工件翻转预设角度。
  • 一种全自动双面数字光刻

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