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- [发明专利]全自动曝光系统-CN202310480838.4有效
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王华;陈志特;何增灿;黄海浩
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广东科视光学技术股份有限公司
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2023-04-28
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2023-10-17
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G03F7/20
- 本申请涉及自动装载台曝光系统技术领域，尤其涉及一种全自动曝光系统，包括工作台、第一移载机构、第二移载机构、第一开合框装置、第二开合框装置以及曝光装置。工作台设置有第一上下料区、第二上下料区、第一曝光区和第二曝光区。通过一个曝光装置依次对不同位置曝光区处的待曝光件进行曝光，降低成本，保证产品的一致性。通过第一移载机构与第二移载机构分别对待曝光件进行移载，并且设置多个曝光区分别进行曝光，实现对待曝光件的高效移载、曝光，提高生产效率。在对待曝光件的运载过程中，既完成对装载台的移动，又完成对装载台的开框与合框，无需引入额外的动力以及复杂的结构，无需占用额外的开合框时间，提高生产效率。
- 全自动曝光系统
- [发明专利]光刻镜头-CN202311053276.1在审
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陈志特;吴中海;王重桂;王华
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东莞锐视光电科技有限公司
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2023-08-21
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2023-09-19
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G02B13/00
- 本申请涉及光刻镜头技术领域，尤其涉及一种光刻镜头，包括：第一透镜组件和导光装置。第一透镜组件包括透镜座和至少一个光学透镜，光学透镜安装于透镜座。导光装置包括壳体和至少一个反射组件，反射组件安装于壳体。在光束的传播过程中通过第一透镜组件改变光束的出射光角，以使光束的出射光角符合预期要求。光束从入光口进入壳体，再经反射组件反射，使光束的路径呈折线形，从而在不减小光束的传播距离的情况下减小设备尺寸长度。由于光束的传播距离未减小，因此光束有足够的传播距离，以使从光刻镜头的照射区域的面积扩大至预期范围。如此，减小光刻镜头的尺寸，并且使光刻镜头的出射光的准直性以及照射区域面积在预期范围内。
- 光刻镜头
- [发明专利]一种用于光刻机的压紧装置-CN202310078554.2有效
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陈志特;王华;龚海峰
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广东科视光学技术股份有限公司
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2023-02-02
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2023-09-15
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G03F7/20
- 本发明公开了一种用于光刻机的压紧装置，包括:工作台，工作台的水平部设置有上下升降的支撑板，工作台两侧的竖直部设置有上下移动的压板；驱动机构包括：转轴，转轴转动安装在工作台内，转轴上设置有第一连杆组件和第二连杆组件；第一连杆组件和第二连杆组件均包括曲杆和活动杆，曲杆安装在转轴对应的位置上，曲杆与连杆的底端活动连接，连杆的顶端分别与对应对应的支撑板与升降板活动连接；升降板沿着工作台的竖直部上下移动，升降板与压板连接；支撑板沿着工作台的竖直部外壁上下移动，本发明的压紧装置，使得压板对PCB板进行压紧固定，同时在压紧时，对PCB板进行支撑，使得PCB板平整地置于工作台上，从而保证压紧的质量。
- 一种用于光刻压紧装置
- [实用新型]全自动曝光设备-CN202321023177.4有效
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王华;陈志特;何增灿;黄海浩
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广东科视光学技术股份有限公司
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2023-04-28
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2023-09-15
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G03F7/20
- 本申请涉及自动装载台曝光机技术领域，尤其涉及一种全自动曝光设备，工作台、第一移载机构、第二移载机构以及曝光装置。工作台设置有第一曝光区和第二曝光区。第一移载机构用于将第一待曝光件运载至第一曝光区。第二移载机构用于将第二待曝光件运载至第二曝光区的。曝光装置在第一曝光区与第二曝光区之间移动。通过一个曝光装置依次对不同位置曝光区处的待曝光件进行曝光，降低设备成本，保证产品的一致性。通过第一移载机构与第二移载机构分别对待曝光件进行移载，并且设置多个曝光区分别对待曝光件进行曝光，提高对物料的高效移载，提高生产效率。如此，降低设备成本，保证产品的一致性，实现对物料高效移载以及提高生产效率。
- 全自动曝光设备
- [发明专利]一种全自动双装载台曝光机系统-CN202310618665.8有效
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王华;陈志特;何增灿;黄海浩
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广东科视光学技术股份有限公司
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2023-05-30
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2023-08-15
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G03F7/20
- 本发明公开了一种全自动双装载台曝光机系统，包括底座，对称设置的两个装载台机构组成一双PCB板装载子系统，装载台机构为正方形框架结构，装载台机构内设置有两双PCB板装载子系统；装载台机构包括：底板，底板通过支撑柱与顶板连接，支撑柱的十字形槽体内滑动连接有连接块；装载台机构包括：固定框，固定框为方形框架结构，固定框的底部转动设置有活动框，活动框用于承载待曝光的PCB板；活动杆，活动杆的底端与活动框之间活动连接，活动杆的顶端与移动块活动连接，移动块与固定框滑动连接；本发明开合旋转式的装载框机构，其活动框方便对PCB板进行上下料，以及活动框与固定框配合，实现对PCB板竖直固定，便于进行曝光处理。
- 一种全自动装载曝光系统
- [发明专利]自动开合框的方法-CN202310480822.3在审
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陈志特;王华;冯明瑞
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广东科视光学技术股份有限公司
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2023-04-28
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2023-08-11
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G03F7/20
- 本申请涉及曝光机开合框技术领域，尤其涉及一种自动开合框的方法，驱动装置带动装载台离开曝光区向上下料区移动，由驱动装置提供动力，装载台在移动过程中开合框装置对装载台进行开框。驱动装置带动装载台离开上下料区向曝光区移动，由驱动装置提供动力，装载台在移动过程中开合框装置对装载台进行合框。通过驱动装置提供动力，既完成对下载物台的搬运，又完成对装载台的开框与合框，而无需引入额外的动力以及复杂的结构，并且无需占用额外的开合框时间，下载物台在移动过程中即完成装载台的开合框。如此，降低设备成本，降低设备能耗，优化控制系统，减少设备运转时的时间损耗、提高生产效率。
- 自动开合框方法
- [发明专利]全自动曝光方法-CN202310480833.1在审
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王华;陈志特;何增灿;黄海浩
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广东科视光学技术股份有限公司
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2023-04-28
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2023-07-14
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G03F7/20
- 本申请涉及自动装载台电路板曝光技术领域，尤其涉及一种全自动曝光方法。通过一个检测机构对不同位置曝光区处的待曝光件进行对位检测，通过一个曝光装置对不同位置曝光区处的待曝光件进行曝光，降低设备成本，保证产品的一致性。通过第一移载机构与第二移载机构分别对待曝光件进行移载，实现对待曝光件的高效移载、曝光，提高生产效率。通过第一开合框装置对第一装载台进行开合框，通过第二开合框装置对第二装载台进行开合框，在对待曝光件的运载过程中，既完成对装载台的移动，又完成对装载台的开框与合框，而无需引入额外的动力以及复杂的结构，并且无需占用额外的开合框时间，装载台在移动过程中即完成开合框动作，提高生产效率。
- 全自动曝光方法
- [发明专利]一种用于直写光刻的LED光源-CN202310067658.3在审
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王华;陈志特;吴中海
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东莞锐视光电科技有限公司
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2023-01-30
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2023-06-23
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G03F7/20
- 本发明公开了一种用于直写光刻的LED光源，属于LED光源技术领域，本方案通过多个LED灯珠作为高能量的光源，配合第一透镜组和第二透镜组组成的几何光学系统，完成LED发射光线的收集、平行准直、汇聚，使其输出高密度光线，且水溶液吸收LED灯珠的热量，散热降温，绽开搅动机构则借助热量使活动莲座绽开，带动搅动杆搅动水溶液进行冷热交替，便于散热，气胀降温机构通过氯化铵粉末的受热分解，吸热降温，并使水蒸气冷凝成水，实现多次利用，减少蒸发量，且疏导换热机构传导冷气至浮动带囊内，吸收水溶液的热量，并通过柔性延伸囊体的延伸，使浮动带囊在磁铁块吸引下，模拟水草向上浮动，增大吸热接触面积，有效的增强了散热降温效果。
- 一种用于光刻led光源
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