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[发明专利]多层极耳激光焊接控制系统及激光焊接设备-CN202210653876.0在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：无锡先导智能装备股份有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本申请涉及一种多层极耳激光焊接控制系统及激光焊接设备。多层极耳激光焊接控制系统包括振镜系统和控制装置，振镜系统连接控制装置；振镜系统将激光偏转至多层极耳焊接区域，控制装置按照预设目标控制振镜系统运动，预设目标为使偏转至多层极耳焊接区域的激光的焊接轨迹为螺旋图形采用本申请，可以提高多层极耳的焊接质量，降低气体问题和热裂纹问题对极耳焊接层数的限制，可以满足更多层数极耳的焊接需求。
多层激光焊接控制系统焊接设备

[发明专利]一种垂直腔面发射激光器芯片及制作方法-CN201910234625.7有效
发明人：刘凯;罗俊伟;位祺;黄永清;段晓峰;王琦;任晓敏;蔡世伟 -专利权人：北京邮电大学
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： H01S5/183 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种垂直腔面发射激光器芯片及制作方法，采用相应的第二多层材料膜反射镜层和金属反射镜层构成的组合反射镜作为VCSEL的非出光面(底面)反射镜，并且第二多层材料膜反射镜层的对数少于由第一多层材料膜反射镜层构成的VCSEL的(顶面)出光面反射镜的对数，第二多层材料膜反射镜层的反射率低于第一多层材料膜反射镜层的反射率。采用的上述组合反射镜代替了传统的垂直腔面发射激光器芯片第二包层下面的分布式布拉格反射镜构成的底面反射镜，可以在较少的材料膜反射镜层对数的情况下获得所需的高反射率，同时可以减少相应的材料应力和串联电阻，在减小器件制作工艺难度的情况下提升器件的性能
一种垂直发射激光器芯片制作方法

[发明专利]一种X射线多层膜反射镜及其制作方法-CN202211563024.9在审
发明人：温炜杰;杨苹;梁兆佳 -专利权人：广州阿尔法精密设备有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G21K1/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种X射线多层膜反射镜及其制作方法，属于反射镜制作技术领域，所述反射镜包括基片、多层膜和保护膜；所述反射镜的制备方法，包括如下步骤：(1)预处理；(2)镀多层膜；(3)制备反射镜。本发明选用硅基片做基片，由钼膜和硅化镁膜交替分布而成的多个周期膜多层层叠组成多层膜，选用碳膜作为保护膜，采用梯度镀膜方式，设置第一个周期膜厚度为1.75‑2.05nm，在硅基片上从内向外按0.1nm的值逐渐增大周期膜厚度；此外，还设置了合适的工作气压、镀膜层数和镀膜周期，制得了反射率较高的X射线多层膜反射镜。
一种射线多层反射及其制作方法

[发明专利]用于远紫外掩模的泄漏吸收体-CN200680009413.X无效
发明人： P－Y·严 -专利权人：英特尔公司
申请日： 2006-03-31 - 公布日： 2008-05-14 - 主分类号： G03F1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种形成掩模的方法，包括：提供一衬底；在衬底上形成用于EUV光的多层镜；在多层镜上形成用于EUV光的泄漏吸收体；以及将泄漏吸收体图案化成强反射的第一区和弱反射的第二区。本发明还公开了一种EUV掩模，包括：衬底；位于衬底上的多层镜，该多层镜具有第一区和第二区；以及位于多层镜的第二区上的泄漏吸收体，该泄漏吸收体将入射光移相180度。
用于紫外泄漏吸收体

[发明专利]Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法-CN201110250663.5无效
发明人：朱京涛;周斯卡;李浩川;王占山 -专利权人：同济大学
申请日： 2011-08-29 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：本发明涉及Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法，在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层，再交替镀制Mg、Mo和SiC膜层形成Mg/Mo/SiC周期多层膜，最后镀制SiC作为保护层即可。本发明采用熔点高、相态稳定的金属Mo加入到多层膜Mg/SiC中，制作出的三种材料的极紫外多层膜反射镜，克服了Mg/SiC等传统的Mg基多层膜带宽窄的缺点，同时，在极紫外波段Mo的光学常数合适，Mg/Mo/SiC多层膜反射镜保持了Mg基多层膜反射镜高的反射率。因此，Mg/Mo/SiC多层膜反射镜同时兼顾了反射率和工作带宽两方面的光学性能，特别适用于同步辐射光源、超快激光和空间观测等领域等极紫外波段应用。
mg mo sic 紫外多层反射及其制作方法

[发明专利]电压机压合铝镜板-CN201210072056.9无效
发明人：沈金明 -专利权人：苏州市嘉明机械制造有限公司
申请日： 2012-03-19 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： H05K1/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种电压机压合铝镜材板，包括：第一隔离板、第二隔离板、多层印刷板、多层铝镜板和铜箔，所述多层印刷板和所述多层铝镜板分别相互间隔设置，且所述多层铝镜板的顶端表面和底端表面分别设置有印刷板，所述第一隔离板和所述第二隔离板分别设置在所述多层印刷板的顶端表面和底端表面，所述铜箔夹设在所述多层印刷板和所述多层铝镜板之间，并分别与所述第一隔离板和第二隔离板接触。
电压机压合铝镜板

[发明专利]X射线产生装置和X射线分析装置-CN201910150250.6有效
发明人：表和彦;刑部刚;小泽哲也;姜立才;鲍里斯·韦尔曼 -专利权人：株式会社理学
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G21K1/00 文献下载
摘要：X射线产生装置具备：线状X射线源；多层膜镜；以及并排反射镜，其以2片凹面镜共用接合线的方式彼此接合，所述X射线产生装置的特征在于，多层膜镜的反射面的截面具有抛物线形状，并且该抛物线形状的焦点位于线状X射线源，并排反射镜的2片凹面镜的反射面的截面各自具有抛物线形状，并且该抛物线形状的焦点分别位于多层膜镜的相反侧，在俯视观察下，所述并排反射镜的接合线的延长线贯穿多层膜镜以及线状X射线源。
射线产生装置分析

[发明专利]光学显微镜的自动对焦装置及方法-CN202110544840.4在审
发明人：党博石;金思宇;刘建卓;刘英;马俊林;杜杰;周广鹏 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G02B21/24 文献下载
摘要：光学显微镜的自动对焦装置及方法涉及仪器仪表技术领域，解决了多层成像面样本的显微镜无法实现自动对焦的问题，包括：入射光机构、传感器、电机和控制处理器，电机运转能够带动显微镜的显微物镜或用于放置多层成像面样本的载物台移动；入射光机构发出的光束入射到显微物镜上，通过显微物镜光束聚焦到多层成像面样本上，束经多层成像面样本反射后成像到传感器焦面上使传感器得到图像信息，控制处理器根据图像信息判断显微镜的对焦情况，若显微镜未完成对焦则控制处理器根据图像信息控制电机运转本发明实现了多层成像面样本的显微镜自动对焦，而且具有多层成像面样本的远程、快速、清晰的在光学显微镜下的图像放大功能。
光学显微镜自动对焦装置方法

[发明专利]多层反射镜-CN201710699731.3有效
发明人： A·亚库宁;V·班尼恩;E·鲁普斯特拉;H·范德斯库特;L·史蒂文斯;M·范卡朋 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2011-03-17 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种多层反射镜，所述多层反射镜包括作为最外层的石墨烯。
多层反射

[发明专利]闪烁器面板、放射线图象传感器和它们的制造方法-CN01815482.4有效
发明人：本目卓也 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2001-09-11 - 公布日： 2003-11-12 - 主分类号： G01T1/20 文献下载
摘要：本发明提供一种闪烁器面板(1)，它包括：具有耐热性的放射线透射衬底(5)；形成在放射线透射衬底(5)上的作为光反射膜的电介质多层膜镜(6)；形成在电介质多层膜镜(6)上，把入射到放射线透射衬底(5)且通过电介质多层膜镜因为放射线透射衬底(5)具有耐热性，所以电介质多层膜镜(6)能进行高温蒸镀，其结果，能以光反射率高的状态形成。另外，电介质多层膜镜(6)不会象金属膜那样与闪烁器(10)反应而腐蚀。
闪烁面板放射线图象传感器它们制造方法

[发明专利]半导体激光器及其制造方法-CN201010130111.6有效
发明人：前田修;增井勇志;汐先政贵;佐藤进;荒木田孝博 -专利权人：索尼公司
申请日： 2010-03-03 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： H01S5/187 文献下载
摘要：该半导体激光器包括层叠结构，该层叠结构包括从衬底侧依次设置的下多层反射镜、有源层和上多层反射镜，其中，层叠结构包括柱形台面部，该柱形台面部包含下多层反射镜的上部、有源层和上多层反射镜，且下多层反射镜包括多对低折射率层和高折射率层以及多个氧化层
半导体激光器及其制造方法

[发明专利]一种带通滤波的X射线光学系统及其制备方法-CN202210099481.0在审
发明人：朱京涛;杨泽华;陈溢祺;金宇;朱忆雪;孙航 -专利权人：苏州闻道电子科技有限公司
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G21K1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种带通滤波的X射线光学系统及制备方法，该制备方法包括：根据设计目标能点确定滤片的材料和滤片的厚度；根据设计目标能点采用深度梯度法确定多层膜反射镜的膜层材料和各个膜层的初始膜层厚度；根据滤片的材料和滤片的厚度制备滤片；根据滤片的材料和滤片的厚度采用单纯形调优法优化多层膜反射镜的各个膜层的初始膜层厚度，得到各个膜层的实验优化膜层厚度；根据膜层材料和各个膜层的实验优化膜层厚度制备多层膜反射镜；对滤片和多层膜反射镜进行组装得到带通滤波的本发明通过滤片和多层膜反射镜使得滤片透射曲线与多层膜反射镜反射曲线的乘积在中心能点区域内保持恒定，实现无旁瓣、高通量、平坦响应的带通滤波。
一种滤波射线光学系统及其制备方法

[发明专利]VCSEL激光器及其制备方法-CN202211307526.5在审
发明人：赖威廷;杨国庆;李念宜;王立;郭铭浩 -专利权人：浙江睿熙科技有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H01S5/183 文献下载
摘要：公开了一种VCSEL激光器及其制备方法，其中，所述VCSEL激光器包括：第一布拉格反射镜、第二布拉格反射镜和被夹设于所述第一布拉格反射镜和所述第二布拉格反射镜之间的有源区，所述第一布拉格反射镜包括多层第一高铝层和多层第一低铝层，所述第二布拉格反射镜包括多层第二高铝层和多层第二低铝层，其中，至少一层所述第一低铝层的厚度大于λ/4，λ为所述VCSEL激光器的工作波长，这样，可延长谐振腔来加强衍射损耗和吸收损耗，进而抑制高阶横模，
vcsel 激光器及其制备方法

[发明专利]高力低电压压电微反射镜致动器-CN202180080481.X在审
发明人： L·R·S·哈斯帕拉夫;N·潘迪;T·W·范德伍德;哈利勒·戈凯·叶根;J·V·奥沃卡姆普;G·布瑞恩达尼托里;塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩;A·L·克莱因;E·A·奥索里奥欧利弗罗斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种微反射镜阵列，包括：衬底；用于反射入射光的多个反射镜；以及用于所述多个反射镜中的每个反射镜的至少一个多层压电致动器，所述至少一个多层压电致动器用于使所述反射镜移位，其中，所述至少一个多层压电致动器被连接至所述衬底，并且其中所述至少一个多层压电致动器包括多个压电材料压电层，所述多个压电材料压电层与多个电极层交错以形成叠置层。也披露一种形成这种微反射镜阵列的方法。所述微反射镜阵列可以用于可编程照射器中。所述可编程照射器可以用于光刻设备和/或用于检查和/或量测设备中。
高力低电压压电反射镜致动器

[发明专利]一种硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜及其制备方法-CN201210172142.7有效
发明人：张众;钟奇;王占山 -专利权人：同济大学
申请日： 2012-05-30 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：本发明属于精密光学元件制作技术领域，涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制备方法。该反射镜包括基底和硅铝合金/锆周期多层膜，其中硅铝合金/锆周期多层膜是硅铝合金薄膜层和锆薄膜层交替沉积于基底表面上。本发明与现有的Al基多层膜相比，硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜引入了化学性质和物理性质更为稳定的硅铝合金代替纯硅，在没有较大改变铝材料光学性能的基础上，抑制了Al膜层的结晶，改善了多层膜的界面，在保证较高的光谱分辨率的前提下，提升了反射镜的反射率。本发明提出的这种新型的硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜具有成膜质量好、易于制作、光学性能满足需求等优势，更适于对能谱分辨率和反射率要求均很高的极紫外光学系统。
一种铝合金紫外多层反射及其制备方法