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- [发明专利]反射镜驱动装置以及反射镜驱动方法-CN201210091750.5有效
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直野崇幸
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富士胶片株式会社
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2012-03-30
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2012-10-17
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G02B26/10
- 本发明公开了一种反射镜驱动装置以及反射镜驱动方法。反射镜驱动装置的方面包括：反射镜部分、一对内部致动器部分、一对外部致动器部分、固定及支撑部分、内部致动器驱动电压供给部分以及外部致动器驱动电压供给部分。从内部致动器驱动电压供给部分和外部致动器驱动电压供给部分中的一个驱动电压供给部分向与这一个驱动电压供给部分相对应的内部致动器部分或外部致动器提供驱动电压，该驱动电压的频率用于引起反射镜部分在与相应致动器部分的谐振驱动相关的反射镜部分的旋转方向上振荡与谐振驱动同时，从另一个驱动电压供给部分向对应的致动器部分提供用于在不激发谐振驱动的情况下使反射镜部分倾斜的驱动电压。
- 反射驱动装置以及方法
- [发明专利]一种变形镜-CN201310054856.2有效
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黄磊;巩马理;闫平;薛峤;李腾浩;柳强;冯泽心;康少男;孙冶;闫海波
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清华大学
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2013-02-20
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2013-05-08
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G02B26/06
- 本发明提出一种变形镜，包括：镜体、包括至少一个致动通道的基座和至少一个致动装置，致动装置一一对应地安装与致动通道中，用于控制镜体变形，其中致动装置包括：推进器，该推进器用于对镜体施加作用力；致动器，当致动器伸展时推动推进器产生正向位移；碟簧，该碟簧位于推进器与致动器之间，当致动器收缩时推动推进器产生负向位移；锥形顶杆，该锥形顶杆的大直径面开有和致动器尾端相配合的定位孔，定位孔用于固定致动器，以防止致动器受到径向剪切力；以及微调旋钮，通过旋转微调按钮来调节致动通道内的预紧力。根据本发明的变形镜，保护了内部压电陶瓷部件，具有耐用可靠、易于安装的优点。
- 一种变形
- [发明专利]微镜器件及光扫描装置-CN202180054199.4在审
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直野崇幸;青岛圭佑
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富士胶片株式会社
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2021-07-30
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2023-04-25
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G02B26/08
- 微镜器件具备：反射镜部；第1支承部，将反射镜部支承为能够围绕第1轴摆动；可动框，与第1支承部连接；第2支承部，将反射镜部、第1支承部及可动框支承为能够围绕第2轴摆动；一对第1致动器，与第2支承部连接，并且隔着第2轴对置；第2致动器，配置成包围第1致动器；第1连接部，连接第1致动器与第2致动器；固定框，配置成包围第2致动器；及第2连接部，连接第2致动器与固定框。第2致动器使围绕第1轴的转矩作用于反射镜部。第1致动器使围绕第2轴的转矩作用于可动框。
- 器件扫描装置
- [发明专利]相机模组-CN200810301319.2有效
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柯朝元
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鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
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2008-04-25
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2009-10-28
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G02B7/04
- 一种相机模组，其包括：至少二组镜片、一镜筒、一镜座、一个影像感测器及一基板。所述镜座包括一镜座顶部与镜座底部，所述镜座底部与所述影像感测器承载于所述基板上。所述镜筒设置于镜座顶部。所述相机模组进一步包括一个致动器组，该致动器组包括第一致动器与第二致动器。所述至少二组镜片分别设置于所述二个致动器内。该二个致动器分别固定设置于所述镜筒内。所述第一致动器用于变焦，所述第二致动器用于微调对焦。本发明的相机模组通过所述二个致动器直接驱动所述设置于致动器内的二组镜片做轴向直线移动从而实现变焦与对焦。
- 相机模组
- [发明专利]MEMS光学偏转器件-CN202210112102.7有效
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武震宇;王栎皓;刘艺晨;汪洋;余子昊
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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2022-01-29
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2023-04-28
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G02B26/10
- 本发明提供一种MEMS光学偏转器件，包括：基座、2N个悬臂梁致动器、2N个耦合结构及反射微镜，其中N≥1；每个悬臂梁致动器包括：致动器衬底、致动结构、第一柔性结构；基座与致动器衬底固定连接；致动结构与致动器衬底连接；第一柔性结构与致动器衬底固定连接；第一柔性结构与一个耦合结构固定连接；2N个耦合结构固定连接于反射微镜的下方；2N个悬臂梁致动器沿周向分布于反射微镜的下方周围，且每两个悬臂梁致动器沿直线分布。通过在每一个第一柔性结构的一端均设置一个耦合结构，当沿直线分布的两个悬臂梁致动器同时产生致动力使反射微镜旋转时，两个悬臂梁致动器的旋转轴与反射微镜共轴，光的入射点在偏转过程中不会发生偏移。
- mems光学偏转器件
- [发明专利]光学系统和光刻设备-CN202180024578.9在审
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M.曼格;M.拉布
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卡尔蔡司SMT有限责任公司
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2021-02-08
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2022-11-25
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G03F7/20
- 一种光学系统(200)包括至少一个反射镜(210)以及至少一个致动器装置(220)，该反射镜(210)具有反射镜主体(212)和反射镜表面(214)，该至少一个致动器装置(220)耦合到反射镜主体(212)且用于使反射镜表面(214)变形。致动器装置(220)包括：至少一个电致伸缩致动器元件(222)，用于在反射镜主体(212)中生成用于取决于电驱动电压(VS)使反射镜表面(214)变形的机械应力；至少一个电致伸缩传感器元件(224)，用于取决于传感器元件(224)的变形输出传感器信号(SS)，其中至少一个传感器元件(224)布置成直接相邻于致动器元件(222)，和/或布置成使得至少一个传感器元件(224)至少部分地配置用于将致动器元件(222)生成的机械应力转移到反射镜主体
- 光学系统光刻设备
- [发明专利]大口径非球面镜的制造方法-CN200810201789.1无效
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曾春梅;余景池
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苏州大学
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2008-10-27
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2009-03-18
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G02B3/02
- 本发明公开了一种大口径非球面镜的制造方法，包括下列步骤：(1)按非球面度梯度法计算出最接近球面，并按最接近球面半径，加工完成超薄球面镜；(2)按非球面度梯度变化率法得到致动器排布初始方案，经过优化得到致动器排布的最终解和每个致动器的强制位移量；(3)加工完成致动器组件；(4)将加工完成的超薄球面镜安放到致动器组件上，通过调节致动器位移量，使超薄球面镜达到设计的最接近球面半径值和面形精度；(5)根据步骤(2)得到的每个致动器的强制位移量，调节位移致动器，使球面镜变形成所需的非球面面形，即获得所需的大口径非球面。本发明避开了大口径非球面镜加工和检测难题，极大地降低了加工和检测的难度，缩短了制造周期，降低了制造成本。
- 口径球面镜制造方法
- [发明专利]微镜器件及微镜器件的驱动方法-CN201980069459.8有效
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直野崇幸
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富士胶片株式会社
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2019-10-07
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2022-11-11
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G02B26/10
- 本发明的基于压电驱动方式的微镜器件以低电力化为目的，微镜器件具备：反射镜部(12)；环状的第1致动器(14)；环状的第2致动器(16)；第1连接部(21)，在第1轴上连接反射镜部(12)和第1致动器(14)，并且将反射镜部(12)支承为能够绕第1轴转动；第2连接部(22)，在与第1轴正交的第2轴上连接第1致动器(14)和第2致动器(16)，并且将第1致动器(14)支承为能够绕第2轴转动；第3连接部(23)，在第2轴上连接于第2致动器(16)的外周；及固定部(20)，连接有第3连接部(23)，并经由第3连接部(23)支承第2致动器(16)。
- 器件驱动方法
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